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    • 51. 发明专利
    • KALIBRIERVORRICHTUNG, SENSOR UND VERFAHREN
    • DE102012212093A1
    • 2014-06-05
    • DE102012212093
    • 2012-07-11
    • BOSCH GMBH ROBERT
    • FEYH ANDOBUHMANN ALEXANDERHENRICI FABIAN
    • G01P21/00G01P15/08G01P15/12
    • Die vorliegende Erfindung offenbart eine Kalibriervorrichtung für einen Sensor, insbesondere einen Beschleunigungssensor mit beweglicher Gate-Elektrode, mit mindestens einer Strommesseinrichtung, mit einer regelbaren Spannungsquelle, welche elektrisch mit einem Sensorelement des Sensors gekoppelt ist, mit einer Steuereinrichtung, welche dazu ausgebildet ist, die Spannungsquelle derart zu regeln, dass eine Spannung an dem Sensorelement mindestens drei unterschiedliche Spannungswerte aufweist, wobei die Strommesseinrichtung dazu ausgebildet ist, den durch das Sensorelement fließenden Messstrom und/oder den Grundstrom des jeweiligen Sensorelements bei jeder der mittels der regelbaren Spannungsquelle eingeregelten Spannungen zu messen, und mit einer Abgleicheinrichtung, welche dazu ausgebildet ist, basierend auf den gemessenen Strömen und den entsprechenden eingeregelten Spannungen die Sensitivität und/oder den Offset des Sensors zu bestimmen und das Ausgangssignal des Sensors entsprechend der bestimmten Sensitivität und/oder des bestimmten Offsets anzupassen. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung einen Sensor und ein Verfahren.