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    • 52. 发明授权
    • MEMS 소자 패키지 및 그 제조방법
    • MEMS器件封装及其制造方法
    • KR100620810B1
    • 2006-09-07
    • KR1020050018682
    • 2005-03-07
    • 삼성전자주식회사
    • 좌성훈송인상김덕환윤석출남광우박윤권김종석
    • B81B7/02
    • 개시된 본 발명에 따른 MEMS 소자 패키지는, MEMS 활성소자가 일면에 형성되어 있는 소자 기판, MEMS 활성소자의 전기적 경로를 제공하고 또한, MEMS 활성소자를 외부로부터 보호하도록 MEMS 활성소자의 주위에 여러 겹으로 배치되는 다중 실링패드, 다중 실링패드를 통하여 소자 기판과 결합하며 MEMS 활성소자가 위치하는 트렌치와 다중 실링패드가 위치하는 부분에 비아홀이 형성되는 캡 기판 및 비아홀을 통하여 다중 실링패드와 전기적인 연결을 이루도록 캡 기판의 일면에 형성된 외부전극패드를 포함한다. 이에 의하면, 소자 기판과 캡 기판의 본딩 및 실링 영역을 다중으로 함으로써, 실링의 강도가 강해짐으로 인해 동작이 안정적이고 고신뢰성의 패키지를 제공할 수 있다.
      MEMS 소자, 패키지, 다중, 실링, 본딩, 기판
    • 根据本公开的发明的MEMS器件封装,提供给MEMS有源元件的电路径被元件基板,MEMS活性,其形成一个元件上,并且,以保护MEMS有源元件从外侧与MEMS有源器件周围若干层 多个密封垫,设置在基板基板上;多个密封垫,通过多个密封垫联接到基板,并且通过盖基板和过孔将密封垫电连接到多个密封垫; 并且在盖基板的一个表面上形成外部电极焊盘。 据此,由于元件基板和盖基板的接合和密封区域被多路复用,所以密封强度变强,使得封装件可以稳定地操作并且高度可靠。
    • 55. 发明授权
    • RF 듀플렉서
    • 射频双工器
    • KR100552482B1
    • 2006-02-15
    • KR1020030085687
    • 2003-11-28
    • 삼성전자주식회사
    • 박윤권김종석송인상김덕환
    • H01P1/20
    • H03H9/706H03H9/0571
    • 컴팩트하며 고성능의 RF 듀플렉서가 개시된다. 본 발명에 의한 RF 듀플렉서는 직병렬로 연결된 복수개의 공진소자를 구비하며, 제1 주파수 대역의 신호를 통과시키는 제1 필터, 직병렬로 연결된 복수개의 공진소자를 구비하며, 제1 주파수 대역과 서로 다른 제2 주파수 대역의 신호를 통과시키는 제2 필터, 제1 및 제2 필터의 병렬 공진소자들과 각각 직렬 연결되며, 기판상에 형성되는 복수개의 인덕터, 기판상에 형성되며, 제1 및 제2 필터에서 신호 간섭을 방지하는 위상 변조기 및 제1 및 제2 필터를 지지하고, 제1 및 제2 필터의 단자들과 기판의 단자들을 전기적으로 연결하기 위해, 기판상의 소정 위치에 형성되는 복수개의 범프(Bump)로 구성되는 지지부를 포함하여 구성된다. 본 발명에 의하면, 튜닝 인덕터를 기판 패드의 범프 주변에 형성함으로써 듀플렉서의 면적을 줄일 수 있을 뿐만아니라, 와이어 본딩 공정이 없기 때문에 보다 안정성이 향상된 RF 듀플렉서를 구현할 수 있다.
      RF 듀플렉서, FBAR 밴드 패스 필터, 튜닝 인덕터, 범프(Bump)
    • 56. 发明公开
    • 에어갭형 박막 벌크 음향 공진기 및 그 제조방법, 이를이용한 필터 및 듀플렉서
    • AIR-GAP TYPE beta alpha ?? 使用FBAR的制造方法和FBAR制成的滤波器和双工器。
    • KR1020050033701A
    • 2005-04-13
    • KR1020030069543
    • 2003-10-07
    • 삼성전자주식회사
    • 송인상윤용섭최형김덕환하병주황준식박윤권
    • H03H9/24
    • H03H9/587H03H3/02H03H9/105H03H9/173Y10T29/42
    • A method for fabricating an air-gap type FBAR, an FBAR fabricated thereby, and a filter and a duplexer using an FBAR are provided to form simply an air gap without a CMP process, and a process for removing a sacrificial layer by laminating an LCP thin film on a silicon substrate having a cavity part. A first substrate(200) includes a cavity part formed on a predetermined region of an upper surface thereof. A dielectric layer(220) is formed on the first substrate(200) in order to form a first air gap(210) on the cavity part of the first substrate(200). A stacked resonance part(230) is formed by laminating a bottom electrode/piezoelectric layer/top electrode on the dielectric layer(220). A second substrate(240) includes a cavity part formed on a predetermined region of a bottom surface thereof.
    • 提供一种用于制造气隙型FBAR,由此制造的FBAR和使用FBAR的滤波器和双工器的方法,以简单地形成没有CMP工艺的气隙,以及通过层压LCP来去除牺牲层的工艺 在具有空腔部分的硅衬底上的薄膜。 第一基板(200)包括形成在其上表面的预定区域上的空腔部分。 在第一基板(200)上形成电介质层(220),以在第一基板(200)的空腔部分上形成第一气隙(210)。 通过在电介质层(220)上层叠底部电极/压电体层/顶部电极而形成层叠谐振部(230)。 第二基板(240)包括形成在其底面的预定区域上的空腔部分。
    • 58. 发明授权
    • 그룹별 음성 등록 및 인식이 가능한 휴대용전화기 및 그 제어방법
    • 便携式电话可用于各种声音注册和识别每个组,及其控制方法
    • KR100260752B1
    • 2000-07-01
    • KR1019980018609
    • 1998-05-22
    • 삼성전자주식회사
    • 김덕환
    • H04B7/26
    • PURPOSE: A cellular phone capable of registering and recognizing voices according to groups is provided to classify the voices as specific groups to register the voices, and to perform voice recognitions with specific group units, so as to reduce retrieval time and power consumption. CONSTITUTION: A cellular phone is converted into a voice recognition mode in a standby state. The cellular phone senses a registering operation selection. If packet data encoding predetermined input voices are inputted, the cellular phone transmits the packet data to a voice recognizer(85). The cellular phone receives feature data extracted from the packet data in the voice recognizer(85). The cellular phone inputs group selection data, and reads corresponding group start addresses in a group classification tabulation. The cellular phone directly accesses corresponding groups in a voice registration part by the group start addresses. The cellular phone searches an empty area in the groups, and stores the extracted feature data in the empty area.
    • 目的:提供能够根据组注册和识别语音的蜂窝电话,以将语音分类为特定组以登记语音,并且以特定组单元执行语音识别,以减少检索时间和功耗。 构成:手机在待机状态下转换为语音识别模式。 蜂窝电话感测登记操作选择。 如果输入了预定输入语音的分组数据,便携式电话将分组数据发送到语音识别器(85)。 蜂窝电话接收从语音识别器(85)中的分组数据提取的特征数据。 蜂窝电话输入组选择数据,并在组分类列表中读取相应的组起始地址。 蜂窝电话通过组起始地址直接访问语音登记部分中的相应组。 蜂窝电话搜索组中的空白区域,并将所提取的特征数据存储在空白区域中。