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    • 54. 发明专利
    • 相結合之真空泵與負荷固定組 COMBINED VACUUM PUMP LOAD-LOCK ASSEMBLY
    • 相结合之真空泵与负荷固定组 COMBINED VACUUM PUMP LOAD-LOCK ASSEMBLY
    • TW200538641A
    • 2005-12-01
    • TW094111200
    • 2005-04-08
    • BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
    • 葛拉梅 杭特利 HUNTLEY, GRAEME尼爾 潔佛瑞 貝列尼 BELLENIE, NEIL GEOFFREY
    • F04C
    • F04D23/008F04D17/168F04D19/044F04D29/601
    • 一種負荷固定件與乾式真空泵總成,其包括一具有一負荷固定件殼體的負荷固定件,該負荷固定件殼體包括一匹配系統,該匹配系統具有一突緣狀汽缸及一相對於該突緣狀汽缸而呈同心式定位之汽缸;一乾式真空泵,包括一軸、一轉子、自該轉子朝外延伸之一第一同心式汽缸及一第二同心式汽缸,且其一體地連接於該匹配系統,該第一及第二同心式汽缸、該突緣狀汽缸、及該相對於該突緣而呈同心式定位之汽缸係相關於該軸而沿軸向配置;及一分子拖曳式壓縮段,其係由複數個突緣構成,該等突緣具有複數個選擇性提供於該第一及第二同心式汽缸、該突緣狀汽缸、及該相對於該突緣而呈同心式定位之汽缸上之螺旋形結構。該第一及第二同心式汽缸係相對於該突緣狀汽缸及該相對於該突緣而呈同心式定位之汽缸而旋轉。
    • 一种负荷固定件与干式真空泵总成,其包括一具有一负荷固定件壳体的负荷固定件,该负荷固定件壳体包括一匹配系统,该匹配系统具有一突缘状汽缸及一相对于该突缘状汽缸而呈同心式定位之汽缸;一干式真空泵,包括一轴、一转子、自该转子朝外延伸之一第一同心式汽缸及一第二同心式汽缸,且其一体地连接于该匹配系统,该第一及第二同心式汽缸、该突缘状汽缸、及该相对于该突缘而呈同心式定位之汽缸系相关于该轴而沿轴向配置;及一分子拖曳式压缩段,其系由复数个突缘构成,该等突缘具有复数个选择性提供于该第一及第二同心式汽缸、该突缘状汽缸、及该相对于该突缘而呈同心式定位之汽缸上之螺旋形结构。该第一及第二同心式汽缸系相对于该突缘状汽缸及该相对于该突缘而呈同心式定位之汽缸而旋转。