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41. 发明公开

CN102313755A 电子衍射断层照相的方法无效
公开(公告)号：CN102313755A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110180956.0
申请日：2011-06-30
申请人： FEI公司
发明人： H.何 , A.福伊格特
IPC分类号： G01N23/20 , G01N23/205
CPC分类号： H01J37/295 , G01N23/20058 , G01N2223/102 , G01N2223/309 , G01N2223/32 , G01N2223/3306 , G01N2223/418 , G01N2223/419 , G01N2223/612 , H01J37/265 , H01J2237/20207 , H01J2237/26 , H01J2237/2611
摘要：本发明涉及电子衍射断层照相的方法。本发明描述了一种用于透射电子显微镜中的电子衍射断层照相的方法。已知的方法涉及使用扫描透射电子显微镜，且使用用于STEM衍射的扫描束。本发明提出使用具有比晶体稍大的直径的固定束（200）形成衍射图案，其结果是可以使用没有STEM单元的TEM。在TEM模式中完成发现晶体。根据本发明的方法的优点是：可以使用没有扫描单元的TEM，且衍射体积不取决于晶体的取向，因为在获得衍射图案时整个晶体被照射。

42. 发明授权

CN101512717B 使用具有永磁体的磁透镜层的电子柱失效
公开(公告)号：CN101512717B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200780033271.5
申请日：2007-10-09
申请人：电子线技术院株式会社
发明人：金浩燮
IPC分类号： H01J37/14
CPC分类号： H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
摘要：在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。

43. 发明公开

CN101996839A 粒子束装置、光阑组件及在粒子束装置中改变束流的方法有权转让
公开(公告)号：CN101996839A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010510825.X
申请日：2010-07-26
申请人：卡尔蔡司NTS有限责任公司
发明人：德克·普雷克扎斯 , 迈克尔·阿尔比兹
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/141
CPC分类号： H01J37/09 , H01J37/15 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/14 , H01J2237/2002 , H01J2237/26 , H01J2237/31749
摘要：本发明涉及一种粒子束装置(1)，其具有光阑孔可调的第一光阑组件(8)。本发明还涉及一种用于粒子束装置(1)的光阑组件(8)。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置(1)中调整束流的方法。粒子束装置(1)包括具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)的第一聚束透镜(6)。可以相对于第二光阑组件(9)相互独立地调整第一极靴(6a)与第二极靴(6b)两者。第二光阑组件(9)被设计为压力级光阑，其将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互隔开。根据本发明的方法涉及调整该粒子束装置(1)中的束流。

44. 发明公开

CN101681751A 使用CNT针尖的电子柱及用于对准CNT针尖的方法有权
公开(公告)号：CN101681751A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880017294.1
申请日：2008-05-28
申请人：电子线技术院株式会社
发明人：金浩燮
IPC分类号： H01J1/30
CPC分类号： H01J37/073 , H01J1/14 , H01J1/304 , H01J9/025 , H01J2201/30469 , H01J2237/06341 , H01J2237/26
摘要：本发明涉及在包括电子发射源和透镜的电子柱结构中使用附着有一个或多个碳纳米管(CNT)的电子发射源的电子柱。更具体地，本发明涉及容易地对准碳纳米管(CNT)针尖的方法以及能够使用该方法的电子柱。

45. 发明公开

CN101361154A 金刚石电子源及制造其的方法失效
公开(公告)号：CN101361154A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200780001460.4
申请日：2007-09-18
申请人：住友电气工业株式会社
发明人：植田晓彦 , 山本喜之 , 西林良树 , 今井贵浩
IPC分类号： H01J9/02 , H01J1/304
CPC分类号： H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J37/065 , H01J37/073 , H01J2201/30407 , H01J2201/30411 , H01J2201/30419 , H01J2201/30457 , H01J2237/06341 , H01J2237/26 , H01J2237/3137 , H01J2237/3146 , H01J2237/31749 , H01J2237/3175
摘要：一种金刚石电子源和制造该金刚石电子源的方法，在该金刚石电子源中，作为在电子显微镜或其他电子束装置中使用的电子发射点，单个尖锐末端形成在其尺寸使在微加工工序中难以进行抗蚀剂涂布的柱状金刚石单晶的一端。研磨柱状金刚石单晶(10)的一端，以形成光滑平面(11)，并且在光滑平面(11)上形成陶瓷层(12)。使用聚焦离子束装置，在陶瓷层(12)上沉积具有指定形状的薄膜层(14)，并在此之后使用薄膜层(14)作为掩模通过蚀刻来图案化陶瓷层(12)。使用得到的陶瓷掩模以通过干法蚀刻在柱状金刚石单晶(10)的一端处形成单个尖锐末端。

46. 发明公开

KR1020130077884A 이온 밀링 장치 有权
标题翻译：离子切割装置
公开(公告)号：KR1020130077884A
公开(公告)日：2013-07-09
申请号：KR1020137011419
申请日：2011-11-02
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 이와야,도루 , 무또,히로부미 , 다까스,히사유끼 , 가미노,아쯔시 , 가네꼬,아사꼬
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/30 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/3053 , H01J37/20 , H01J37/3005 , H01J37/3007 , H01J37/304 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/26
摘要： 본 발명의 이온 밀링 장치는, 진공 챔버(15) 내에 배치되며 이온 빔에 직교하는 제1 축에 평행한 경사 축을 갖는 경사 스테이지(8)와, 상기 제1 축에 직교하는 제2 축에 평행한 회전 축 및 경사 축을 갖고 시료(3)를 회전 또는 경사지게 하는 구동 기구(9, 51)와, 상기 경사 스테이지를 경사지게 하면서 시료를 회전 또는 왕복 경사지게 하여 이온 빔을 조사하는 상태와, 상기 경사 스테이지를 비경사 상태로 함과 함께 상기 시료를 왕복 경사지게 하여 이온 빔을 조사하는 상태를 전환하는 것을 가능하게 하는 전환부를 구비하고 있다. 이에 의해, 동일한 진공 챔버 내에서 시료의 단면 가공과 평면 가공을 행하는 것이 가능한 이온 밀링 장치가 실현되었다.

47. 发明公开

KR1020050102688A 복수 개의 빔렛 발생 장치 有权
标题翻译：用于产生大量光束的装置
公开(公告)号：KR1020050102688A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：KR1020057016959
申请日：2004-03-10
申请人： 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
发明人： 크루이트피터
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J3/07 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/063 , H01J37/12 , H01J37/153 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/1205 , H01J2237/151 , H01J2237/1536 , H01J2237/26 , H01J2237/31774
摘要： The invention relates to an apparatus for generating a plurality of charged particle beamlets, comprising a charged particle source for generating a diverging charged particle beam, a converging means for refracting said diverging charged particle beam and a lens array comprising a plurality of lenses, wherein said lens array is located between said charged particle source and said converging means. In this way, it is possible to reduce aberrations of the converging means.
摘要翻译：本发明涉及一种用于产生多个带电粒子束的装置，包括用于产生发散带电粒子束的带电粒子源，用于折射所述发散带电粒子束的会聚装置和包括多个透镜的透镜阵列，其中所述透镜阵列位于所述带电粒子源和所述会聚装置之间。以这种方式，可以减小会聚装置的像差。

48. 发明授权

EP1916695B1 Charged particle beam apparatus and method for operating it 有权
公开(公告)号：EP1916695B1
公开(公告)日：2018-12-05
申请号：EP06022329.4
申请日：2006-10-25
申请人： ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH
发明人： Frosien, Jürgen , Banzhof, Helmut , Levin, Jacob , Shemesh, Dror
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/1478 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/1506 , H01J2237/2448 , H01J2237/26 , H01J2237/2806 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： A charged particle beam apparatus is provided, which comprises a charged particle beam column (2) for generating a primary charged particle beam (10); a focussing assembly, such as a charged particle lens, e.g. an electrostatic lens, for focussing the primary charged particle beam on a specimen (4); a detector (40) for detecting charged signal particles (18) which are emerging from the specimen (4); and a deflector arrangement (32) for deflecting the primary charged particle beam (10). The deflector arrangement (32) is arranged downstream of the focussing assembly and is adapted for allowing the charged signal particles (18) passing therethrough. The detector is laterally displaced with respect to the optical axis in a deflection direction defined by the post-focussing deflector arrangement.

49. 发明公开

EP3069367A1 WORKPIECE TRANSPORT AND POSITIONING APPARATUS 审中-公开
标题翻译：工件运输和定位设备
公开(公告)号：EP3069367A1
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：EP14859522.6
申请日：2014-11-11
申请人： Howard Hughes Medical Institute
发明人： PRICE, John, H. , BOCK, Dravida
IPC分类号： H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , G01N1/32 , G01N35/00732 , H01J37/023 , H01J37/185 , H01J37/261 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/20278 , H01J2237/20285 , H01J2237/20292 , H01J2237/204 , H01J2237/26 , H01J2237/2602
摘要： An automated workpiece processing apparatus including a processing section including a processing module configured for processing a workpiece at a process location, a transport module including a first shuttle stage, a second shuttle stage independent of the first stage, and an end effector connected to at least one of the first and second stages, the end effector being configured to hold and transport the workpiece into and out of the processing module, and having a range of motion, defined by a combination of the first and second stage, extending from a workpiece holding station outside the processing module to the processing location inside the processing module so the end effector defines a processing stage of the processing module, and an automated loading and transport section including a load port module through which workpieces are loaded into the automated loading and transport section, and being communicably connected to the transport module.
摘要翻译：一种自动化工件处理设备，包括：处理部分，其包括处理模块，该处理模块被配置用于在处理位置处处理工件;运送模块，其包括第一梭步骤，独立于第一步骤的第二梭步骤，以及末端执行器，第一和第二阶段中的一个，末端执行器构造成保持和运输工件进出处理模块，并且具有由第一和第二阶段的组合限定的运动范围，该运动范围从工件保持件将处理模块外部的工作站移动到处理模块内部的处理位置，使得末端执行器限定处理模块的处理阶段，以及包括装载端口模块的自动装载和运输部分，工件通过所述装载端口模块被装载到自动装载和运输部分中并且可通信地连接到运输模块。

50. 发明公开

EP2827357A1 Magnetic lens for focusing a beam of charged particles 审中-公开
标题翻译： Magnetische Linse zum Fokussieren eines Strahls geladener Teilchen
公开(公告)号：EP2827357A1
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：EP13176980.4
申请日：2013-07-18
申请人： FEI COMPANY
发明人： Shanel, Ondrej
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/14
CPC分类号： G21K1/093 , H01F2003/106 , H01J37/141 , H01J37/26 , H01J2237/1415 , H01J2237/26 , Y10T29/4978
摘要： Prior art magnetic charged particle lens show a yoke and an air gap. The air gap defines the position where a magnetic field is present on the optical axis of the lens. A lens (10) according to the invention has no air gap, but uses a part (15) of the yoke (13 + 16) that is saturated. This results in a lens with lower spherical aberration due to a more gradual break-out of the magnetic field. This also eliminates the alignment problems that prior art lenses show between upper and lower pole pieces. Preferably the part of the yoke that is saturated is an insert (16), resulting in better tolerances, better machinability and lower cost due to smaller size. Also, the insert (16) may show magnetic properties different from the rest of the yoke (13).
摘要翻译：现有技术的磁性带电粒子透镜显示轭和气隙。气隙限定了在透镜的光轴上存在磁场的位置。根据本发明的透镜（10）没有气隙，而是使用饱和的轭（13 + 16）的一部分（15）。这导致由于磁场的逐渐断开而具有较低球面像差的透镜。这也消除了现有技术透镜在上和下极片之间显示的对准问题。优选地，饱和的轭的部分是插入件（16），由于较小的尺寸，导致更好的公差，更好的机加工性和更低的成本。此外，插入件（16）可以显示与磁轭（13）的其余部分不同的磁性。

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