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41. 发明申请

WO2005022577A3 SHAPED SPUTTER SHIELDS FOR IMPROVED ION COLUMN OPERATION 审中-公开
标题翻译：用于改进离子柱操作的形状的喷雾器
公开(公告)号：WO2005022577A3
公开(公告)日：2005-09-09
申请号：PCT/US2004026228
申请日：2004-08-13
申请人： FEI CO , MGGINN JAMES B , SCHWIND GREG
发明人： MGGINN JAMES B , SCHWIND GREG
IPC分类号： H01J20060101 , H01J27/00 , H01J27/02 , H01J37/09 , H01J37/317
CPC分类号： H01J27/022 , H01J37/09 , H01J37/317 , H01J2237/0213 , H01J2237/063 , H01J2237/0805 , H01J2237/31749
摘要： The invention adds one or more surface contour(s) (84) to the bombarded area(s) (84) within ion columns (22) to greatly reduce the back sputtered material (88) that will reach the ion source (24). A number of different surface contours (84) are disclosed including angled surfaces (58), surfaces (104) defining cups (114) to capture the back sputtered material (88), pre-textured and forested surfaces (126). The reduction in back sputtered material (88) reaching the ion source (24) reduces the time to stability, greatly increases the working stability, and increases the lifespan of the source (24).
摘要翻译：本发明将一个或多个表面轮廓（84）添加到离子柱（22）内的轰击区域（84）上，以大大减少将到达离子源（24）的反溅射材料（88）。公开了许多不同的表面轮廓（84），其包括成角度的表面（58），限定用于捕获反溅射材料（88），预纹理化和森林表面（126）的杯（114）的表面（104）。到达离子源（24）的反溅射材料（88）的减少减少了稳定时间，大大增加了工作稳定性，并且增加了源（24）的寿命。

42. 发明授权

EP2741310B1 Système de détection de cathodoluminescence optimisant la collection du signal, la résolution spectrale et la conservation de la brillance, et microscope mettant en oeuvre un tel système 有权转让
标题翻译：系统检测阴极发光Optimisant la collection du信号，分辨率光谱和等离子体光谱，以及显微镜mettant en oeuvre un tel系统
公开(公告)号：EP2741310B1
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：EP14156672.9
申请日：2011-04-29
申请人： Centre National de la Recherche Scientifique , Université Paris-Sud
发明人： Kociak, Mathieu , Zagonel, Luiz Fernando , Tence, Marcel , Mazzucco, Stefano
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/244 , H01J37/256
CPC分类号： G01N23/2254 , G01N2201/08 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/024 , H01J2237/063 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2602 , H01J2237/2802 , H01J2237/2808

43. 发明授权

EP2862196B1 PLASMA SOURCE APPARATUS AND METHODS FOR GENERATING CHARGED PARTICLE BEAMS 有权
标题翻译：等离子体源装置及其制造方法带电粒子束
公开(公告)号：EP2862196B1
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：EP13723940.6
申请日：2013-05-20
申请人： The Welding Institute
发明人： RIBTON, Colin , SANDERSON, Allan
IPC分类号： H01J27/18 , H01J37/077 , H01J37/30
CPC分类号： H01J37/077 , H01J27/18 , H01J37/3002 , H01J2237/061 , H01J2237/063 , H01J2237/0817 , H01J2237/083 , H01J2237/31 , H01J2237/3104

44. 发明公开

EP3005397A1 LENTILLE ELECTROSTATIQUE A MEMBRANE SEMICONDUCTRICE DIELECTRIQUE 审中-公开
标题翻译：介电半导电膜静电透镜
公开(公告)号：EP3005397A1
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：EP14726368.5
申请日：2014-05-26
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives , Constancias, Christophe
发明人： CONSTANCIAS, Christophe
IPC分类号： H01J37/12
CPC分类号： H01J37/12 , H01J2237/063 , H01J2237/12 , H01J2237/1534 , H01J2237/21
摘要： The invention relates to electrostatic lenses for focusing a beam (EB) of charged particles, and in particular an electron beam. Said lenses are used especially in the electron guns of electron microscopes or electron-beam lithography apparatuses. One aim of the invention is to improve the possibilities for focusing the particle beam, in particular an electron beam emitted by a cathode. The lens comprises at least one conducting electrode (EL2) having at least one through-opening for the passage of an electron beam. Different electric fields are set up upstream and downstream of the opening. The passage opening is at least partially closed by a planar or curved thin membrane (M) of semi-conducting material that is transparent to electrons and has a high dielectric permittivity. Structuring the membrane (holes or thickened portions or electrodes deposited on the membrane) makes it possible to correct lens aberration defects.

45. 发明授权

EP2104946B1 METHOD FOR CREATING S/TEM SAMPLE AND SAMPLE STRUCTURE 有权
标题翻译：制备方法技术探针干细胞和一个样本结构
公开(公告)号：EP2104946B1
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：EP07844522.8
申请日：2007-10-22
申请人： FEI Company
发明人： BLACKWOOD, Jeff , STONE, Stacey
IPC分类号： H01J37/305 , G01N1/32 , G06K9/46
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/32 , G01N23/04 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749

46. 发明授权

EP2106555B1 METHOD FOR S/TEM SAMPLE ANALYSIS 有权
标题翻译：法S / TEM样品分析
公开(公告)号：EP2106555B1
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：EP07868540.1
申请日：2007-10-22
申请人： FEI Company
发明人： ARJAVAC, Jason , ZOU, Pei , TASKER, David James , OTTEN, Maximus Theodorus , DANIEL, Gerhard
IPC分类号： G01N1/28 , H01J37/26 , G01N1/06 , G01N1/08 , H01J37/305 , G01N1/32 , G01N23/04
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/32 , G01N23/04 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749

47. 发明授权

EP2577707B1 SYSTEME DE DETECTION DE CATHODOLUMINESCENCE REGLABLE ET MICROSCOPE METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME 有权转让
标题翻译：定制KATHODOLUMINESZENZDETEKTIONSYSTEM和显微镜的这种系统
公开(公告)号：EP2577707B1
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：EP11723543.2
申请日：2011-04-29
申请人： Centre National de la Recherche Scientifique , Université Paris-Sud 11 (Paris XI)
发明人： KOCIAK, Mathieu , ZAGONEL, Luiz Fernando , TENCE, Marcel , MAZZUCCO, Stefano
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/02 , H01J37/256 , G01N23/02 , H01J37/22
CPC分类号： G01N23/2254 , G01N2201/08 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/024 , H01J2237/063 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2602 , H01J2237/2802 , H01J2237/2808

48. 发明公开

EP2104864A2 METHOD FOR CREATING S/TEM SAMPLE AND SAMPLE STRUCTURE 有权
标题翻译：法S / TEM样品样品生成和结构
公开(公告)号：EP2104864A2
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：EP07868539.3
申请日：2007-10-22
申请人： FEI Company
发明人： BLACKWOOD, Jeff , STONE, Stacey , ARJAVAC, Jason
IPC分类号： G01R31/305
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/32 , G01N23/04 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

49. 发明授权

EP1367609B1 HIGH-VOLTAGE ELECTRIC APPARATUS 有权
标题翻译：电气高压设备
公开(公告)号：EP1367609B1
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：EP02705086.3
申请日：2002-03-06
申请人： Hitachi, Ltd.
发明人： SATO, T., c/o Hitachi Ltd, Hitachi Res. Lab. , TAKEUCHI, R., c/o Hitachi Ltd, Hitachi Res. Lab. , KAGA, H., c/o Hitachi Ltd, Instruments
IPC分类号： H01B17/26 , H01B17/34 , H01J37/248
CPC分类号： H01J37/248 , H01J2237/063
摘要： It is necessary to secure a sufficient dielectric strength without increasing the size as a high-voltage apparatus in high-voltage connecting sections (13-11) of a high-voltage electric apparatus such as an ion beam processing observation pattern generator (1). An insulating liquid (13-113a) or a gas (13-113b) is encapsulated into a gap (13-113) between a power-feed side connection bushing (13-111) and a power-receiving side flange (13-112), and the connection bushing facing the gap (13-113) or the power-receiving side flange are treated by water repellent finishing (13-111c) in their surfaces. This constitution provides a small-sized electric apparatus of high dielectric strength for suppressing dew condensation or humidity absorption in the insulating surface in the gap in the high-voltage connecting section and for suppressing an increase in leakage current under a high-humidity environment.

50. 发明申请

WO2014191370A1 LENTILLE ELECTROSTATIQUE A MEMBRANE SEMICONDUCTRICE DIELECTRIQUE 审中-公开
标题翻译：具有电介质半导体膜的静电透镜
公开(公告)号：WO2014191370A1
公开(公告)日：2014-12-04
申请号：PCT/EP2014/060866
申请日：2014-05-26
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , CONSTANCIAS, Christophe
发明人： CONSTANCIAS, Christophe
IPC分类号： H01J37/12
CPC分类号： H01J37/12 , H01J2237/063 , H01J2237/12 , H01J2237/1534 , H01J2237/21
摘要： L'invention concerne les lentilles électrostatiques destinées à la focalisation d'un faisceau (EB) de particules chargées, et notamment d'un faisceau d'électrons. Ces lentilles sont utilisées notamment dans les canons à électrons de microscopes électroniques ou d'appareils de lithographie par faisceau d'électrons. Un but de l'invention est d'améliorer les possibilités de focalisation du faisceau de particules, et notamment d'un faisceau d'électrons émis par une cathode. La lentille comporte au moins une électrode conductrice (EL2) percée d'au moins une ouverture de passage d'un faisceau d'électrons. Des champs électriques différents sont établis en amont et en aval de l'ouverture. L'ouverture de passage est fermée au moins partiellement par une membrane mince (M) de matériau semiconducteur transparent aux électrons, plane ou bombée, à forte permittivité diélectrique. Une structuration de la membrane (trous ou surépaisseurs ou électrodes déposées sur la membrane) permet de corriger des défauts d'aberration de la lentille.
摘要翻译：本发明涉及用于聚焦带电粒子束（EB）的静电透镜，特别是电子束。所述透镜特别用于电子显微镜或电子束光刻设备的电子枪。本发明的一个目的是改进聚焦粒子束的可能性，特别是由阴极发射的电子束。透镜包括至少一个具有至少一个用于电子束通过的通孔的导电电极（EL2）。在开口的上游和下游设置不同的电场。通道开口至少部分地被对电子透明并具有高介电常数的半导体材料的平面或弯曲薄膜（M）部分封闭。结构化膜（沉积在膜上的孔或加厚部分或电极）使得可以校正透镜像差缺陷。

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