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    • 48. 发明公开
    • Optisch korrigierende Mikrosonde zur Weißlicht-Interferometrie
    • Optisch korrigierende Mikrosonde zurWeißlicht-Interferometrie
    • EP2600099A2
    • 2013-06-05
    • EP12195005.9
    • 2012-11-30
    • GRINTECH GmbH
    • Messerschmidt, Dr. Bernhard
    • G01B9/02G02B5/28G02B5/20G02B5/26G02B17/00
    • G01B9/02049G01B9/02007G01B9/0205G01B9/02057G01B9/02058G01B9/0209G01B9/02091G02B3/0087G02B6/26G02B6/262G02B6/29364G02B23/2423G02B27/005G02B27/1006G02B27/141
    • Die Erfindung betrifft eine optisch korrigierende Mikrosonde zur Weißlicht-Interferometrie.
      Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit für die Weißlicht-Interferometrie zu finden, die bei Verwendung verschiedener Spektralbereiche eine Kompensation der dispersionsbedingten Abhängigkeit der optischen Wegdifferenzen von der Wellenlänge zwischen Mess- und Referenzlichtbündel mittels effizienter und einfach miniaturisierbarer Mittel gestattet, wird erfindungsgemäß gelöst, indem ein Referenzstrahlteiler mit mindestens in zwei unterschiedlichen Spektralbereichen teilreflektierenden Filtern zur Erzeugung mindestens zweier transmittierter Messlichtbündel und zugehöriger reflektierter Referenzlichtbündel aus jeweils einander nicht überlappenden Spektralbereichen zwischen der Lichtaustrittsfläche der Lichtleitfaser und der Fokussieroptik angeordnet ist, wobei ein axialer Abstand zwischen jeweils zwei teilreflektierenden Filtern so eingestellt ist, dass eine spektral bedingte optische Wegdifferenz, welche die jeweiligen Messlichtbündel beim Durchlaufen dispersiver Elemente im Lichtweg zur Objektoberfläche und zurück erleiden, in gleicher Größe zwischen den jeweiligen Referenzlichtbündeln vorhanden ist.
    • 探针具有参考光束分割器(20),该参考光束分割器(20)包括在短波和长波光谱区域中部分反射的干涉滤光器(21,22),并且用于产生透射的测量光束(M1,M2)和相关联的反射参考光束(R1,R2 )。 调整滤光器之间的轴向距离,使得光谱相关的光程差在参考光束之间具有相等的尺寸。 聚焦透镜(40)具有减小的色差,使得测量光束的聚焦在物体表面的期望测量范围内部分重叠。 独立权利要求也包括以下内容:(1)白光干涉测量装置(2)制造用于光束的两个光谱区域的色散补偿参考光束分割器的方法。
    • 49. 发明公开
    • LENS SYSTEM
    • LINSENSYSTEM
    • EP2406668A1
    • 2012-01-18
    • EP10713147.6
    • 2010-03-10
    • Optotune Ag
    • BUELER, MichaelGRATZEL,ChanceyNIEDERER, DavidASCHWANDEN, Manuel
    • G02B3/14H04N5/232G02B9/24G02B15/00
    • G02B27/005G02B3/0081G02B3/14G02B7/04G02B27/0025H04N5/2254H04N5/23212
    • An optical system includes a first deformable lens having a membrane with a deformable portion. A sensor is configured to receive the light focused by the first deformable lens. An optical path extends through the first deformable lens and to the sensor. The first deformable lens is tuned according to an applied electrical signal in order to directly focus light traversing the optical path onto the sensor. A first volume of a first optical media and a second volume of a second optical media are defined at least in part by the deformable portion of the membrane. The first volume and the second volume are completely enclosed by the housing. The first volume and the second volume remain substantially constant for all configurations of the first deformable lens.
    • 光学系统包括具有带有可变形部分的膜的第一可变形透镜。 传感器被配置为接收由第一可变形透镜聚焦的光。 光路延伸穿过第一可变形透镜和传感器。 根据所施加的电信号来调整第一可变形透镜,以便将穿过光路的光直接聚焦到传感器上。 至少部分地由膜的可变形部分限定第一体积的第一光学介质和第二体积的第二光学介质。 第一容积和第二容积被壳体完全包围。 第一容积和第二容积对于第一可变形透镜的所有构造保持基本恒定。