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41. 发明专利

JP2008224664A Improved displacement measuring system 审中-公开
标题翻译：改进的位移测量系统
公开(公告)号：JP2008224664A
公开(公告)日：2008-09-25
申请号：JP2008049551
申请日：2008-02-29
申请人： Agilent Technol Inc , アジレント・テクノロジーズ・インクAgilent Technologies, Inc.
发明人： SCHLUCHTER WILLIAM C , ZHU MIAO , OWEN GERAINT , RAY ALAN B , COURVILLE CAROL J
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/26 , G01D5/38
CPC分类号： G01D5/38 , G01D5/28 , G03F7/70775
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce an optical route length in interference displacement measurement.
SOLUTION: This system is equipped with a sensor head 105 and a measuring lattice 106. The sensor head is equipped with a light source 200 for providing a light beam, a splitter lattice for splitting the light beam into first and second measuring channels 400, 500, a first retroreflector and a second retroreflector 208 constituted so as to retroreflect the first and second measuring channels so as to be returned to the measuring lattice, a first detector array arranged so as to receive the first measuring channel, and a second detector array arranged so as to receive the second measuring channel. The measuring lattice is constituted so that each measuring channel is split into a first arm and a second arm on the first illumination path, and that the first arm and the second arm are recombined on the second illumination path.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：减少干涉位移测量中的光路长度。解决方案：该系统配备有传感器头105和测量格子106.传感器头配备有用于提供光束的光源200，用于将光束分成第一和第二测量通道的分离器格栅 400,500，第一后向反射器和第二后向反射器208，其被构造成回射第一和第二测量通道以便返回到测量点阵;布置成接收第一测量通道的第一检测器阵列;以及第二测量通道检测器阵列布置成接收第二测量通道。测量光栅被构造成使得每个测量通道在第一照明路径上被分割为第一臂和第二臂，并且第一臂和第二臂被重新组合在第二照明路径上。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

42. 发明授权

EP3309520B1 WINKELMESSSYSTEM ZUM BESTIMMEN EINES DREHWINKELS 有权转让
公开(公告)号：EP3309520B1
公开(公告)日：2018-08-29
申请号：EP16194205.7
申请日：2016-10-17
申请人： SICK STEGMANN GmbH
发明人： Hopp, David
IPC分类号： G01D5/28
CPC分类号： G01D5/28

43. 发明公开

EP1146312A4 HEAT SEAL POSITION MEASUREMENT DEVICE FOR PLASTIC FILM 有权
标题翻译： WÄRMEVERSCHLUSS-POSITIONSAPPARATFÜRPLASTIKSCHICHTEN
公开(公告)号：EP1146312A4
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：EP00970042
申请日：2000-10-24
申请人： TOTANI GIKEN KOGYO KK
发明人： TOTANI MIKIO
IPC分类号： B26D5/34 , B31B1/74 , B31B19/74 , B31B37/00 , G01D5/28 , G01B11/00 , B31B49/04
CPC分类号： G01D5/28 , B26D5/007 , B31B70/006 , B31B2155/00 , B31B2155/002 , B31B2160/20
摘要： A device for measuring the heat-seal position of a plastic film (4) being fed in a fixed direction and having a heat-seal part (18) where a mesh pattern of micro protrusions and recesses are provided on its surface. A light source (23) and an optical sensor (24) are opposed to the plastic film (4), and a shielding plate (26) is interposed between the optical sensor and the plastic film. The shielding plate (26) has a small hole or a narrow slit for passing light. Light is emitted from the light source (23), light reflected from or passing through the plastic film (4) is passed through the small hole or narrow slit of the shielding plate (26) and directed to the optical sensor (24), through which image recognition is performed using the reflected light. Micro protrusions and recesses on the surface of the heat-seal part (18) are detected from the variation of the image, and the heat-seal position of the plastic film (4) can be determined.
摘要翻译：一种用于测量在固定方向上进给的塑料薄膜（4）的热封位置的装置，并具有一个热密封部分（18），其中在其表面上设有微型凹凸的网状图形。光源（23）和光学传感器（24）与塑料膜（4）相对，并且在光学传感器和塑料膜之间插入屏蔽板（26）。屏蔽板（26）具有用于通过光的小孔或窄缝。光从光源（23）射出，从塑料薄膜（4）反射或穿过的光线穿过屏蔽板（26）的小孔或窄缝，并通过光传感器（24）通过使用反射光进行图像识别。根据图像的变化来检测热封部（18）的表面上的微小突起和凹部，并且可以确定塑料膜（4）的热封位置。

44. 发明公开

EP1486837A1 MACHINE-TOOL WITH CONTINUOUS POSITION ADJUSTMENT 审中-公开
标题翻译：麻醉师麻省理工学院
公开(公告)号：EP1486837A1
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：EP03704720.6
申请日：2003-02-13
申请人： FUNDACION FATRONIK , Consejo Superior de Investigaciones Cientificas , AIDO - Instituto Tecnologico de Optica, Color e Imagen
发明人： BUENO ZABALO, Ricardo , ARANA URQUIDI, Jesús Maria , LASA MORAN, Aitor , SAN MARTIN UGARTE, Yon , JIMENEZ RUIZ, Antonio , CALDERON ESTEVEZ, Leopoldo , CERES RUIZ, Ramon , MARTIN ABREU, José Miguel , PONS ROVIRA, José Luis , CABALLERO AROCA, José Francisco , MICO SERRANO, Vicente , MOLINA JIMENEZ, Maria Teresa , PEREZ PICAZO, Emilio , SIMON MARTIN, Santiago
IPC分类号： G05B19/21 , G01D5/26 , G01S5/28
CPC分类号： G01D5/26 , G01D5/28 , G01S7/481 , G01S17/46
摘要： The machine tool incorporates a continuous control system which allows to control the position of the machine head (3) throughout its entire motion, and with the deviation data obtained acts on the machine servomotors to take the head (3) to its correct position. The control system comprises a laser emitter (6), a first deflecting mirror (12), a second deflecting mirror (13) and a retro-reflecting mirror (5), mounted on the machine head (3) with the particular characteristic that each of the two deflecting mirrors (12) and (13) has its own motor (16), (17) that allows to change its orientation independently as a function of the deviations found of the head (3). The system is complemented by an interferometer (10), a positional detection system (14) and a data acquisition and processing system (15), with the characteristic that all system elements with the exception of the retro-reflecting mirror (5) are placed on a platform (4) which is attached to the structure or support (1) of the machine in order to reduce the mass suspended on the moving elements and therefore undesired inertia.
摘要翻译：机床结合了一个连续的控制系统，允许在其整个运动过程中控制机头（3）的位置，并且所获得的偏差数据作用在机器伺服电机上以使头部（3）处于正确的位置。控制系统包括安装在机头（3）上的激光发射器（6），第一偏转镜（12），第二偏转反射镜（13）和回射反射镜（5）两个偏转镜（12）和（13）具有自己的电动机（16），（17），其允许根据头部（3）的偏差的函数独立地改变其取向。该系统由干涉仪（10），位置检测系统（14）和数据采集和处理系统（15）所补充，其特征在于放置除了后向反射镜（5）之外的所有系统元件在连接到机器的结构或支撑件（1）的平台（4）上，以便减少悬挂在移动元件上的质量并因此减少不期望的惯性。

45. 发明公开

EP0966651A4 NON-CONTACT POSITION SENSOR 失效
标题翻译：非接触式位置传感器
公开(公告)号：EP0966651A4
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：EP97916026
申请日：1997-03-14
申请人： AGILENT TECHNOLOGIES INC
发明人： HERCHER MICHAEL
IPC分类号： G01B11/14 , G01D5/28 , G11B21/10 , G01D5/30 , G01N21/00 , G11B5/596
CPC分类号： G01D5/28
摘要： A device for measuring the displacement of a movable object includes a stationary light source (10) that produces an incident light beam. A target feature (17), attached to, or integral with, the object, reflects the incident light beam and forms a first image of the light source in close proximity of the target feature. An imaging lens (26) receives the reflected light beam and reforms the first image of the light source as a second image on the photodetector (20). The photodetector, spaced from the object, receives the reflected light beam and produces an electric signal having a characteristic which is proportional to a received location on the photodetector of the second image and which represents a position of the object. The target feature includes a curved surface that reflects the light beam such that a small, point-like or line-like first image of the light source is formed and reformed as a second image on the photodetector.

46. 发明授权

EP0758075B1 APPARATUS FOR DETECTING A ROTATION ANGLE OF A DIFFRACTION GRATING 失效
标题翻译：检测装置的衍射光栅的旋转角度
公开(公告)号：EP0758075B1
公开(公告)日：2003-05-14
申请号：EP95940420.3
申请日：1995-12-13
申请人： ANRITSU CORPORATION
发明人： KAKIMOTO, Tatsuki Guranju-ru Terasu 203
IPC分类号： G01B11/26 , G01J3/18 , H01S3/137 , G01J3/06 , G01D5/38
CPC分类号： G01J3/18 , G01D5/28 , G01D5/30 , G01D5/38 , G01J3/06

47. 发明公开

EP0853751A2 POSITION DETECTION SYSTEM FOR AN OBJECT WITH AT LEAST FIVE DEGREES OF FREEDOM 失效
标题翻译：至少有五个自由度位置检测系统
公开(公告)号：EP0853751A2
公开(公告)日：1998-07-22
申请号：EP97924204.0
申请日：1997-06-17
申请人： Philips Electronics N.V.
发明人： OPHEY, Willem, Gerard , VAN ROSMALEN, Gerard, Eduard
IPC分类号： G01B11 , G01D5
CPC分类号： G01D5/28
摘要： A position detection system (80) is described for detecting movements of an object (20) in at least five degrees of freedom, which system comprises a radiation source (33), a beam splitter (36) for forming a first measuring sub-beam (45) and a second measuring sub-beam (50), a reflector (38) arranged in the path of one of these measuring beams (45, 50) and a composite radiation-sensitive detection system (60). The first measuring sub-beam (45) is used for detecting displacements along three mutually perpendicular axes (X, Y, Z), and the second measuring sub-beam (50) is used for detecting rotations about at least two of these axes.

48. 发明公开

EP0758075A1 DEVICE FOR DETECTING ANGLE OF ROTATION OF DIFFRACTION GRATING 失效
标题翻译： EINRICHTUNG ZUM DETEKTIEREN DES ROTATIONSWINKELS EINES BEUGUNGSGITTERS
公开(公告)号：EP0758075A1
公开(公告)日：1997-02-12
申请号：EP95940420.3
申请日：1995-12-13
申请人： ANRITSU CORPORATION
发明人： KAKIMOTO, Tatsuki Guranju-ru Terasu 203
IPC分类号： G01B11/26 , G01J3/18 , H01S3/137
CPC分类号： G01J3/18 , G01D5/28 , G01D5/30 , G01D5/38 , G01J3/06
摘要： According to the present invention, in order to improve the accuracy of the absolute value of a wavelength of diffraction light in the diffraction grating, a gas absorption line resulting from an absorption cell 8 is used as a wavelength reference 8. When reference light is exited from a light source 7 in a wavelength reference light source 1, the reference light is transmitted to a diffraction grating 2 as transmitted light having a spectrum absorbing only light of a predetermined wavelength by the absorption cell 8 to allow it to be reciprocated in a predetermined angle range. The diffraction grating 2 produces a split light beam from the transmitted light from the absorption cell 8. The diffraction grating 2 splits the transmitted light from the absorption cell 8 to provide diffracted light and the diffracted light from the diffraction grating 2 is received by the reference light receiving unit 3. It is possible to, without being affected by a variation in the environmental condition, accurately know the rotation angle of the diffracting grating 2 from the diffracted light of the absorption line-existing waveform component received by the reference light receiving unit 3, that is, the rotation angle of the diffraction grating 2 at a wavelength at that time.
摘要翻译：根据本发明，为了提高衍射光栅中的衍射光的波长的绝对值的精度，使用由吸收单元8产生的气体吸收线作为波长参考8.当退出参考光时从波长参考光源1的光源7，参考光作为透射光透射到衍射光栅2，作为吸收单元8具有仅吸收预定波长的光的光谱的透射光，以允许其以预定的方式往复运动角度范围。衍射光栅2从来自吸收单元8的透射光产生分裂光束。衍射光栅2将来自吸收单元8的透射光分离以提供衍射光，衍射光栅2的衍射光被参考光接收单元3.可以在不受环境条件的变化的影响的情况下，从由参考光接收单元接收的吸收线存在的波形分量的衍射光精确地知道衍射光栅2的旋转角度 3，即衍射光栅2在此时的波长处的旋转角度。

49. 发明授权

EP0519167B1 Mikromanipulator 失效
标题翻译：显微
公开(公告)号：EP0519167B1
公开(公告)日：1996-01-03
申请号：EP92105405.2
申请日：1992-03-28
申请人： Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
发明人： Bley, Peter, Dr. , Mohr, Jürgen, Dr.
IPC分类号： G01B11/14 , G01D5/26 , G01B11/16
CPC分类号： H01J37/20 , G01D5/28 , G02B6/3512 , G02B6/3552 , G02B6/3576 , G02B6/3594 , H01J2237/20271

50. 发明公开

EP0562989A1 Procédé et dispositif de mesure du bruit de phase de générateurs d'oscillations sinusoidaux 失效
标题翻译：西班牙文化发展中心。
公开(公告)号：EP0562989A1
公开(公告)日：1993-09-29
申请号：EP93440028.4
申请日：1993-03-11
申请人： COMMUNAUTE ECONOMIQUE EUROPEENNE (CEE)
发明人： Miehe, Joseph-Albert , Cunin, Bernard , Geist, Paul , Grossetie, Jean-Claude , Heisel, Francine , Martz, Alphonse
IPC分类号： G01R29/26 , G01R25/00 , G04F13/02 , G01D5/28
CPC分类号： G01R29/26 , G01D5/28 , G01R15/24 , G01R19/0053 , G01R25/00 , G04F13/026
摘要： La présente invention a pour objet un procédé de mesure du bruit de phase de générateurs, notamment d'oscillateurs sinusoïdaux, et le dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé.
Procédé de mesure caractérisé en ce qu'il consiste essentiellement, d'une part, à générer, à partir du signal issu de l'oscillateur (1) à analyser, des trains d'impulsions laser (2) réguliers, pris en compte par une caméra à balayage de fente (3) à très haute résolution temporelle et, d'autre part, à commander simultanément le balayage de l'écran de visualisation de ladite caméra (3) au moyen du même signal issu de l'oscillateur (1) à analyser, à relever les traces lumineuses représentatives des impulsions laser (2) reçues sur l'écran de visualisation, soit individuellement, soit par série, au moyen d'une caméra vidéo (4) matricielle, à très haute résolution spatiale, reliée à une unité de traitement (5) et, enfin, à évaluer les décalages, dans la direction de balayage de l'écran de visualisation, des traces lumineuses enregistrées au cours de la mesure par rapport à une trace initiale servant de référence, en vue de déterminer, à un instant donné et pendant un intervalle de temps donné, la variation de la phase du signal dudit oscillateur (1).
摘要翻译：本发明的主题是用于测量发电机，特别是正弦振荡器的相位噪声的程序以及用于实现该过程的装置。测量方法的特征在于，其一方面基本上由从要分析的振荡器（1）的信号中产生由狭槽扫描照相机（2）考虑的激光脉冲（2）的常规列， 3）具有非常高的时域分辨率，另一方面，通过由待分析的振荡器（1）发出的相同信号同时启动所述摄像机（3）的视觉显示屏的扫描，在通过具有非常高的空间分辨率的矩阵摄像机（4）单独地或串联地接收代表在视觉显示屏幕上的激光脉冲（2）的光迹线，其被链接到处理单元（ 5），并且最后，为了评估在视觉显示屏幕的扫描方向上的相对于作为参考的初始轨迹的测量过程中记录的光迹的偏移，以便在一个给定的瞬间和一个给 n时间间隔，来自所述振荡器（1）的信号的相位变化。

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