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    • 48. 发明公开
    • 기체상의 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법
    • 使用蒸汽相金属催化剂制造石墨的无转移制造方法
    • KR1020150099903A
    • 2015-09-02
    • KR1020140021035
    • 2014-02-24
    • 한국과학기술원
    • 전석우백진욱이진섭
    • C01B31/02C01B31/04
    • C01B32/184C01B32/186
    • 본 발명은 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법으로서, 기판상부 위치한 금속선을 가열하여 챔버 내에 기체상 금속 촉매를 형성하는 단계, 챔버 내에 탄소 소스 기체를 주입하는 단계, 가열된 금속선을 이용하여 기판상의 제1 부분을 가열함으로써 기판상의 제1 부분에 그래핀층을 형성하는 단계 및 가열된 금속선을 이동시켜 기판상의 제1 부분과는 상이한 기판상의 제2 부분을 가열함으로써 기판상의 제2 부분에 그래핀층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법에 관한 것이다.
      본 발명에 따른 그래핀의 제조 방법은 전사 공정이 없어 그래핀 품질의 저하를 막을 수 있고, 금속선에 가하는 전류를 조절함으로써 금속선의 가열 온도에 따른 기체상 촉매의 증기압을 제어하여 고품질의 그래핀을 성장시킬 수 있으며, 금속선의 이동 속도를 조절하여 그래핀 성장을 제어하여 다양한 품질의 그래핀을 제조 가능한 장점이 있다.
    • 本发明涉及一种用于制造石墨烯的方法,其中省略了使用气态金属催化剂的转移方法。 该方法包括以下步骤:通过加热位于衬底上部的金属线在腔室中形成气态金属催化剂; 将碳源气体注入室内; 通过使用加热的金属线加热基板的第一部分,并在基板的第一部分上形成石墨烯层; 以及通过移动加热的金属线来加热与基板的第一部分不同的基板的第二部分,以及在基板的第二部分上形成石墨烯层。 根据本发明的制造石墨烯的方法可以:防止石墨烯的质量不受转移过程的影响; 通过控制施加到金属线的电流,根据金属线的加热温度来控制气态催化剂的蒸汽压力生长高质量的图形; 并且通过调整金属线的移动速度来调节石墨烯的生长来制造各种质量的石墨烯。