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41. 发明专利

JP2016143794A 処理システム、処理方法、及び、プログラム审中-公开
标题翻译：处理系统，处理方法和程序
公开(公告)号：JP2016143794A
公开(公告)日：2016-08-08
申请号：JP2015019319
申请日：2015-02-03
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：竹永裕一
IPC分类号： H01L21/316 , H01L21/318 , H01L21/324 , C23C16/52 , H01L21/02 , H01L21/31
摘要：【課題】精度良く、使いやすい処理システム、処理方法、及び、プログラムを提供する。【解決手段】熱処理装置1の制御部50は、処理条件の変化と、処理結果の変化との関係を示す処理変化モデルを記憶する処理変化モデル記憶部と、処理内容に応じた処理条件を記憶するレシピ記憶部と、処理結果に関する情報を受信する処理情報受信部と、目標とする処理結果となる処理条件を算出する処理条件算出部と、算出された処理条件に関する学習履歴ファイルを記憶する学習履歴ファイル記憶部と、算出された処理条件更新する処理条件更新部とを備えている。処理条件算出手段は、学習履歴ファイルから更新された処理条件と少なくとも一部の処理条件が記憶された学習履歴ファイルと、更新された処理条件と、処理変化モデルとに基づいて、目標とする処理結果に近い処理条件を算出する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种精确且易于使用的处理系统，处理方法和程序。热处理装置1的控制部分50包括：处理变化模型存储部分，其存储处理变化显示处理条件变化与处理结果变化之间关系的模型; 存储与处理细节对应的处理条件的配方存储部; 处理信息接收部分，其接收与处理结果相关联的信息; 处理条件计算部，其计算作为目标处理结果的处理条件; 学习历史文件存储部，其存储与计算出的处理条件相关联的学习历史文件; 以及更新所计算的处理条件的处理条件更新部。处理条件计算装置基于存储从学习历史文件和至少一些处理条件，更新的处理条件和处理改变模型更新的处理条件的学习历史文件来计算接近目标处理结果的处理条件。选择图：图1

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