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    • 43. 发明专利
    • 靜電夾頭
    • 静电夹头
    • TW201347082A
    • 2013-11-16
    • TW102113700
    • 2013-04-18
    • 新光電氣工業股份有限公司SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
    • 白岩則雄SHIRAIWA, NORIO河合治郎KAWAI, JIRO
    • H01L21/683
    • H01L21/6833
    • 一種靜電夾頭包含基座,該基座具有延伸通過基座之第一貫孔。靜電夾頭吸引板黏合於基座,而吸引電極被包含於靜電夾頭吸引板中,以產生靜電荷並對受吸引對象進行靜電吸引。凹槽形成於靜電夾頭吸引板中,對齊第一貫孔,且部分地露出吸引電極。黏著層形成於靜電夾頭吸引板與基座之間,且覆蓋凹槽之內表面。管狀絕緣體包含第二貫孔,且被設置於凹槽中。電源端子包含電性連接至吸引電極之末端部,且被設置於第一貫孔及第二貫孔中。
    • 一种静电夹头包含基座,该基座具有延伸通过基座之第一贯孔。静电夹头吸引板黏合于基座,而吸引电极被包含于静电夹头吸引板中,以产生静电荷并对受吸引对象进行静电吸引。凹槽形成于静电夹头吸引板中,对齐第一贯孔,且部分地露出吸引电极。黏着层形成于静电夹头吸引板与基座之间,且覆盖凹槽之内表面。管状绝缘体包含第二贯孔,且被设置于凹槽中。电源端子包含电性连接至吸引电极之末端部,且被设置于第一贯孔及第二贯孔中。