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    • 32. 发明申请
    • ペダル装置
    • WO2022181330A1
    • 2022-09-01
    • PCT/JP2022/005056
    • 2022-02-09
    • 株式会社デンソー
    • 山本 高生北斗 大輔柳田 悦豪福田 泰久
    • G05G23/00G05G1/30G05G5/04
    • ペダル装置は、オルガン式である。ハウジング(10)は、車体に取り付けられる。ペダルパッド(40)は、ハウジング(10)に対して所定の回転軸(CL)周りに回転可能に設けられ、運転者に踏まれる部位が回転軸(CL)に対して車両搭載時の天地方向における上方に配置される。ペダルパッド(40)は、運転者の踏力の増加により正方向に回転し、運転者の踏力の減少により逆方向に回転する。センサユニット(50)は、ペダルパッド(40)の回転角度に応じた電気信号を出力する。全閉ストッパ(71)は、ハウジング(10)の外壁のうち回転軸(CL)に対して運転者に近い部位に設けられる。全閉ストッパ(71)は、ペダルパッド(40)に対して運転者の踏力が印加されていないときにペダルパッド(40)のうち回転軸(CL)に対して車両搭載時の天地方向における下方の部位に接触し、ペダルパッド(40)の逆方向の回転を制止する。
    • 38. 发明授权
    • Hybrid cascade model-based predictive control system
    • 基于混合级联模型的预测控制系统
    • US07006900B2
    • 2006-02-28
    • US10619383
    • 2003-07-14
    • Liu ZhenduoFrank Huussen
    • Liu ZhenduoFrank Huussen
    • G05G23/00
    • G05B13/0275G05B11/42G05B13/04
    • A hybrid cascade Model-Based Predictive control (MBPC) and conventional control system for thermal processing equipment of semiconductor substrates, and more in particular for vertical thermal reactors is described. In one embodiment, the conventional control system is based on a PID controller. In one embodiment, the MBPC algorithm is based on both multiple linear dynamic mathematical models and non-linear static mathematical models, which are derived from the closed-loop modeling control data by using the closed-loop identification method. In order to achieve effective dynamic linear models, the desired temperature control range is divided into several temperature sub-ranges. For each temperature sub-range, and for each heating zone, a corresponding dynamic model is identified. During temperature ramp up/down, the control system is provided with a fuzzy control logic and inference engine that switches the dynamic models automatically according to the actual temperature. When a thermocouple (TC) temperature measurement is in failure, a software soft sensor based on dynamic model computing is used to replace the real TC sampling in its place as a control system input. Consequently, when a TC failure occurs during a process, the process can be completed without the loss of the semiconductor substrate(s) being processed.
    • 描述了用于半导体衬底的热处理设备的混合级联基于模型的预测控制(MBPC)和用于热处理设备的常规控制系统,并且更特别地用于垂直热反应器。 在一个实施例中,传统的控制系统基于PID控制器。 在一个实施例中,MBPC算法基于通过使用闭环识别方法从闭环建模控制数据导出的多线性动态数学模型和非线性静态数学模型。 为了实现有效的动态线性模型,期望的温度控制范围被分为几个温度子范围。 对于每个温度子范围,并且对于每个加热区,识别相应的动态模型。 在温度上升/下降期间,控制系统提供了一个模糊控制逻辑和推理机,可根据实际温度自动切换动态模型。 当热电偶(TC)温度测量失败时,使用基于动态模型计算的软件软传感器代替其作为控制系统输入的实际TC采样。 因此,当在处理期间发生TC故障时,可以完成该过程而不会损坏被处理的半导体衬底。
    • 40. 发明授权
    • Resilient control link assembly
    • 弹性控制连杆总成
    • US4375771A
    • 1983-03-08
    • US228764
    • 1981-01-27
    • Jacob Kobelt
    • Jacob Kobelt
    • F16H35/10G05G23/00G05G1/04
    • G05G23/00F16H35/10Y10T403/11Y10T403/32393Y10T74/20006Y10T74/20582
    • A resilient control link assembly for a control system for transmitting a mechanical signal from a transmitter to a receiver so as to prevent component damage resulting from force overload situations due to response differences of components, fluid pressure failure, etc. The assembly includes two link elements which cooperate with the receiver and transmitter and are hinged together at a main hinge for relative swinging thereabouts from a datum relationship. Two following members are hinged to the first link element for rotation about a follower hinge spaced from the main hinge and are adapted to contact the second link element. A resilient member interconnects the two following members to force the members to cooperate with the second link element to maintain the link element in the datum relationship. When the datum relationship is disturbed, the following members are moved apart and the resilient means opposes this movement tending to draw the link elements back into the datum relationship.
    • 一种用于控制系统的弹性控制链路组件,用于将机械信号从发射器发送到接收器,以便防止由于部件的响应差异,流体压力故障等而由于力过载状况而导致的部件损坏。该组件包括两个连接元件 其与接收器和发射器配合,并且在主铰链处铰接在一起,以从基准关系相对摆动。 两个跟随构件铰接到第一连杆元件上,用于围绕与主铰链间隔开的从动铰链旋转并且适于接触第二连杆元件。 弹性构件将两个随后的构件互连,以迫使构件与第二连杆构件协作以将连杆构件保持在基准关系中。 当基准关系受到干扰时,以下构件被移开并且弹性装置反对这种移动趋向于将连接元件拉回到基准关系中。