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    • 31. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VIELZAHL VON OPTOELEKTRONISCHEN HALBLEITERCHIPS UND OPTOELEKTRONISCHER HALBLEITERCHIP
    • 方法制造光电子半导体芯片和光电子半导体芯片,各种
    • WO2005013379A2
    • 2005-02-10
    • PCT/DE2004/001593
    • 2004-07-22
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHHÄRLE, Volker
    • HÄRLE, Volker
    • H01L33/00
    • H01L33/005H01L21/02532H01L21/0262H01L21/02639H01L21/02642H01L2924/0002H01L2924/00
    • Die Erfindung betrifft ein Verfaren zur Herstellung einer Vielzahl von optoelektronischen Halbleiterchips, die jeweils eine Vielzahl von Strukturelementen mit jeweils mindestens einer Halbleiterschicht aufweisen. Bei dem Verfahren wird eine Chipverbund-Basis bereitgestellt, die ein Substrat sowie eine Aufwachsoberfläche aufweist. Auf der Aufwachsoberfläche wird eine Maskenmaterialschicht ausgebildet, die eine Vielzahl von Fenstern aufweist, von denen die meisten eine mittlere Ausdehnung von kleiner als oder gleich 1 µm aufweisen. Dabei wird ein Maskenmaterial derart gewählt, dass sich ein in einem späteren Verfahrensschritt aufzuwachsendes Halbleitermaterial der Halbleiterschicht auf diesem im Wesentlichen nicht oder im Vergleich zur Aufwachsoberfläche wesentlich schlechter aufwachsen lässt. Nachfolgend werden Halbleiterschichten im Wesentlichen gleichzeitig auf innerhalb der Fenster liegende Bereiche der Aufwachsoberfläche abgeschieden. Ein weiterer Verfahrensschritt ist das Vereinzeln der Chipverbund-Basis mit aufgebrachtem Material zu Halbleiterchips. Die Erfindung betrifft zudem ein nach dem Verfahren hergestelltes optoelektronisches Halbleiterbauelement.
    • 本发明涉及一种Verfaren用于生产具有多个结构构件的每一个具有至少一个半导体层的光电子半导体芯片每一个的多个。 在该方法中,提供了一种复合体基板芯片,其包括衬底和生长的表面。 在生长表面上,形成掩模材料层具有小于或等于1微米最的平均尺寸的多个的窗口。 在这种情况下,掩模材料被选择为使得在稍后的处理的步骤aufzuwachsendes所述半导体层的所述半导体材料上基本上都不说,或相比于生长表面可以长差得多。 随后,将生长面的半导体层同时处于基本上位于沉积在窗口区域内。 另一步骤是用材料的芯片复合体基板施加到半导体芯片的分离。 本发明还涉及根据该方法光电子半导体器件所产生的材料。
    • 34. 发明申请
    • OPTOELEKTRONISCHES BAUELEMENT UND GEHÄUSE FÜR EIN OPTOELEKTRONISCHES BAUELEMENT
    • 光电元件和住房的光电子器件
    • WO2006034703A1
    • 2006-04-06
    • PCT/DE2005/001735
    • 2005-09-28
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHHÄRLE, Volker
    • HÄRLE, Volker
    • H01L33/00
    • H01L33/507H01L2224/48091H01L2224/48247H01L2224/73265H01L2924/00014
    • Optoelektronisches Bauelement mit einem Halbleiterchip (1), der geeignet ist, elektromagnetische Primärstrahlung zu emittieren, einem Gehäusegrundkörper (3), der eine Ausnehmung (31) zur Aufnahme des Halbleiterchips (1) und elektrische Anschlussleitungen (32, 33) zum elektrischen Anschließen des Halbleiterchips (1) aufweist, die jeweils einerseits mit elektrischen Kontakten (11,12) des Halbleiterchips (1) elektrisch leitend verbunden sind und jeweils andererseits eine von außen kontaktierbare Anschlussfläche (34,35) aufweisen, und einem Chipverkapselungselement (4), das den Halbleiterchip (1) in der Ausnehmung umschließt. Der Gehäusegrundkörper (3) ist zumindest für einen Teil der Primärstrahlung zumindest teilweise durchlässig und eine optische Achse (13) des Halbleiterchips (1) verläuft durch den Gehäusegrundkörper (3), so dass ein Großteil der vom Halbleiterchip (1) ausgesandten Primärstrahlung in den Gehäusegrundkörper (3) eingestrahlt wird. Der Gehäusegrundkörper (3) umfasst ein Lumineszenzkonversionsmaterial (5), das geeignet ist, zumindest einen Teil der Primärstrahlung in Sekundärstrahlung (6) mit gegenüber der Primärstrahlung zumindest teilweise geänderten Wellenlängen zu konvertieren, und emittiert im Betrieb des Bauelements Mischstrahlung, die durch den Gehäusegrundkörper (3) hindurchtretende Primärstrahlung und vom Lumineszenzkonversionsmaterial (5) emittierte Sekundärstrahlung (6) umfasst.
    • 具有半导体芯片(1),其适合用于发射电磁初级辐射光电子器件,壳体基体(3)具有用于接收半导体芯片的凹部(31)(1)和电连接线(32,33),用于将半导体芯片电连接 (1)每一个都具有一个侧面与半导体芯片(1)的电触头(11,12)被导电地连接在另一方面每种情况下具有一个外部接触垫(34,35),和一个Chipverkapselungselement(4)连接所述半导体芯片 (1)在所述凹部包围。 基础壳体主体(3)是至少部分透明的至少为初级辐射(13)的半导体芯片(1)通过壳体基体(3)穿过的一部分和光轴,使得半导体芯片的一大部分(1)所发射的初级辐射到壳体主体 (3)照射。 基础壳体主体(3)包括一发光转换材料(5),其能够至少一个相对于所述初级辐射的初级辐射的部分为次级辐射(6)中的至少部分改性的波长转换,并在组件的操作发出发射混合辐射,其(通过基本外壳主体 包括3)使由发光发射的初级辐射和(5)的二次辐射(6)。
    • 37. 发明申请
    • STRAHLUNGSEMITTIERENDER HALBLEITERKÖRPER MIT TRÄGERSUBSTRAT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SOLCHEN
    • 发射辐射的带载体SUBSTRATE AND METHOD半导体本体制造该
    • WO2007124737A1
    • 2007-11-08
    • PCT/DE2007/000793
    • 2007-05-03
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHHÄRLE, VolkerSPIKA, Zeljko
    • HÄRLE, VolkerSPIKA, Zeljko
    • H01L33/00
    • H01L33/0095H01L21/78H01L33/42H01L33/62H01L2924/0002H01L2924/00
    • Die Erfindung betrifft einen strahlungsemittierenden Halbleiterkörper mit Trägersubstrat und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen. Bei dem Verfahren wird eine strukturierte Verbindung einer Halbleiterschichtenfolge (2) mit einem Trägersubstratwafer (1) hergestellt. Die Halbleiterschichtenfolge wird in eine Mehrzahl von Halbleiterschichtstapeln (200) mittels Schnitten (6) durch die Halbleiterschichtenfolge unterteilt und der Trägersubstratwafer (1) wird in eine Mehrzahl von Trägersubstraten (100) mit Schnitten (7) durch den Trägersubstratwafer (1) unterteilt. Dabei wird die strukturierte Verbindung derart ausgeführt, dass mindestens ein Halbleiterschichtstapel (200) mit genau einem zugehörigen Trägersubstrat (100) verbunden ist. Außerdem wird mindestens ein Schnitt (7) durch den Trägersubstratwafer von keinem der Schnitte (6) durch die Halbleiterschichtenfolge derart verlängert, dass sich ein geradliniger Schnitt durch den Trägersubstratwafer und die Halbleiterschichtenfolge ergibt.
    • 本发明涉及一种发射辐射的半导体体支撑衬底和用于制造这样的方法。 在该方法的半导体层序列(2)的与载体衬底晶片(1)的结构化连接被产生。 半导体层序列是在由切口的装置的多个半导体层堆叠(200)(6)通过在半导体层序列和支撑衬底晶片分割(1)与切割分成多个载体基板(100)的(7)通过支撑衬底晶片(1)。 结构化化合物进行,使得至少一个半导体层堆叠仅具有一个相关联的支承衬底(100)(200)连接。 另外,通过半导体层序列的部分(7)通过支撑衬底晶片由任何段(6)的以这样的方式,一个直线部分通过支撑衬底晶片获得的,并且所述半导体层序列至少延长。
    • 39. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VIELZAHL VON OPTOELEKTRONISCHEN HALBLEITERCHIPS UND OPTOELEKTRONISCHER HALBLEITERCHIP
    • 方法制造光电子半导体芯片和光电子半导体芯片,各种
    • WO2005013316A2
    • 2005-02-10
    • PCT/DE2004/001594
    • 2004-07-22
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHHÄRLE, Volker
    • HÄRLE, Volker
    • H01L
    • H01L21/02395H01L21/02532H01L21/0262H01L21/02642H01L33/005H01L2924/0002H01L2924/00
    • Die Erfindung betrifft ein Verfaren zur Herstellung einer Vielzahl von optoelektronischen Halbleiterchips, die jeweils eine Vielzahl von Strukturelementen mit jeweils mindestens einer Halbleiterschicht aufweisen. Bei dem Verfahren wird eine Chipverbund-Basis bereitgestellt, die ein Substrat sowie eine Aufwachsoberfläche aufweist. Auf die Aufwachsoberfläche wird eine nicht geschlossene Maskenmaterialschicht derart aufgewachsen, dass die Maskenmaterialschicht eine Vielzahl statistisch verteilter Fenster mit variierenden Formen und/oder Öffnungsflächen aufweist, wobei ein Maskenmaterial derart gewählt ist, dass sich ein in einem späteren Verfahrensschritt aufzuwachsendes Halbleitermaterial der Halbleiterschicht auf diesem im Wesentlichen nicht oder im Vergleich zur Aufwachsoberfläche wesentlich schlechter aufwachsen lässt. Nachfolgend werden Halbleiterschichten im Wesentlichen gleichzeitig auf innerhalb der Fenster liegende Bereiche der Aufwachsoberfläche abgeschieden. Ein weiterer Verfahrensschritt ist das Vereinzeln der Chipverbund-Basis mit aufgebrachtem Material zu Halbleiterchips. Die Erfindung betrifft zudem ein nach dem Verfahren hergestelltes optoelektronisches Halbleiterbauelement.
    • 本发明涉及一种Verfaren用于生产具有多个结构构件的每一个具有至少一个半导体层的光电子半导体芯片每一个的多个。 在该方法中,提供了一种复合体基板芯片,其包括衬底和生长的表面。 未封闭的掩模材料层以这样的方式来生长表面生长,掩模材料层具有多个不同的形状和/或开口区,统计分布的窗口,从而选择掩模材料,使得在稍后的处理一个aufzuwachsendes步骤中,半导体层的半导体材料上,所述大致 可相较于生长表面或不增长显著恶化。 随后,将生长面的半导体层同时处于基本上位于沉积在窗口区域内。 另一步骤是用材料的芯片复合体基板施加到半导体芯片的分离。 本发明还涉及根据该方法光电子半导体器件所产生的材料。