专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

31. 发明公开

EP4237897A1 DEFLECTION DEVICE FOR LISSAJOUS SCANNING 审中-实审
公开(公告)号：EP4237897A1
公开(公告)日：2023-09-06
申请号：EP20807359.3
申请日：2020-11-13
申请人： Huawei Technologies Co., Ltd. , Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , SCHWARZ, Fabian , PETRAK, Oleg , JOY, Aloshious, Thottappattu , GU-STOPPEL, Shanshan , SENGER, Frank , SÖRENSEN, Frerk , CAO, Yong
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10

33. 发明公开

EP3312136A1 VORRICHTUNG MIT EINER FEDER UND EINEM DARAN AUFGEHÄNGTEN ELEMENT UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN 有权
标题翻译：具有弹簧和悬挂在其上的元件的装置及其制造方法
公开(公告)号：EP3312136A1
公开(公告)日：2018-04-25
申请号：EP17205899.2
申请日：2014-05-16
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： GU-STOPPEL, Shanshan , QUENZER, Hans-Joachim , HOFMANN, Ulrich
IPC分类号： B81C1/00
摘要： Eine MEMS-Struktur umfasst einen Stapel mit einem Substrat, einer ersten Ätzstoppschicht, einer ersten Halbleiterschicht, einer zweiten Ätzstoppschicht, einer zweiten Halbleiterschicht, die in der genannten Reihenfolge auf einander angeordnet sind. Die MEMS-Struktur umfasst ein in dem Stapel gebildetes Feder-Masse-System mit zumindest einer Feder und einem über die Feder aufgehängten Element. Das Feder-Masse-System variiert in einer Dicke, indem von einer ersten Ätzstoppschicht abgewandten Rückseite des Substrates aus an einer ersten Stelle das Substrat unter Verbleib der ersten Halbleiterschicht; und an einer zweiten, lateral von der ersten Stelle verschiedenen Stelle das Substrat, die erste Ätzstoppschicht und die erste Halbleiterschicht, entfernt sind. Die zumindest eine Feder variiert in der Dicke, um eine Versteifungsfeder in einem ersten Abschnitt der Feder und einen mechanisch aktiven Bereich der Feder in einem zweiten Abschnitt der Feder zu bilden, wobei der erste Abschnitt dicker als der zweite Abschnitt ist, so dass der mechanisch aktive Bereich eine gegenüber der Versteifungsfeder kleinere Steifigkeit aufweist.
摘要翻译： MEMS结构包括叠层，该叠层包括以所述顺序相互布置的衬底，第一蚀刻停止层，第一半导体层，第二蚀刻停止层，第二半导体层。 MEMS结构包括弹簧 - 质量系统，该弹簧 - 质量系统在堆叠中形成有至少一个弹簧和由弹簧悬挂的元件。弹簧 - 质量系统的厚度变化，其中基板保留在距离基板背面的第一蚀刻停止层的第一位置处，同时留下第一半导体层; 并且在与所述第一位置横向不同的第二位置处，去除所述衬底，所述第一蚀刻停止层和所述第一半导体层。所述至少一个弹簧的厚度变化以在弹簧的第一部分中形成加强弹簧并且在弹簧的第二部分中形成弹簧的机械活动部分，第一部分比第二部分厚，使得机械活性部分面积与刚性较小的刚性有关系。

34. 发明公开

EP2171515A1 MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM PROJIZIEREN ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG 审中-公开
标题翻译：微机械装置和方法用于投影无线电波
公开(公告)号：EP2171515A1
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：EP08785024.4
申请日：2008-07-10
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： QUENZER, Hans-Joachim , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B7/00 , G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B7/008 , G02B26/0833 , G02B26/105
摘要： The present invention relates to a micromechanical apparatus having a moving element which comprises a controllable heating apparatus for introduction of a defined amount of heat into the moving element, wherein the apparatus furthermore has a control unit (5) which is designed to control the heating apparatus as a function of an instantaneous temperature and/or of an instantaneous amount of heat that is introduced. By way of example, the apparatus can be designed to project electromagnetic radiation when the moving element is in the form of a beam deflection unit (2) for deflection of radiation, which originates from a radiation source (1), onto a projection surface (3). Finally, the invention also relates to a corresponding method for projection of electromagnetic radiation.

37. 发明授权

EP2828701B1 MIKROSPIEGELANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROSPIEGELANORDNUNG 有权
标题翻译：微镜片布置及其制造方法的排列微镜
公开(公告)号：EP2828701B1
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：EP13712197.6
申请日：2013-03-20
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , QUENZER, Hans-Joachim , JANES, Joachim , JENSEN, Björn
IPC分类号： G02B7/18 , G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0833 , B32B37/16 , B32B38/0008 , B32B38/10 , B32B2307/416 , B32B2310/0875 , B32B2551/08 , G02B1/12 , G02B7/1815 , G02B7/1821

38. 发明授权

EP2102096B1 GEHÄUSE FÜR IN MOBILEN ANWENDUNGEN EINGESETZTE MIKROMECHANISCHE UND MIKROOPTISCHE BAUELEMENTE 有权
标题翻译： HOUSING移动应用中使用的微观力学和微光学元件
公开(公告)号：EP2102096B1
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：EP08707087.6
申请日：2008-01-17
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00 , G02B26/08 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0051 , B81B7/0067 , B81B2201/042 , B81B2201/047 , B81C1/00317 , B81C2203/0109 , B81C2203/0154 , G02B26/0833 , Y10T29/49826

39. 发明公开

EP2828701A1 MIKROSPIEGELANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROSPIEGELANORDNUNG 有权
标题翻译：微镜片布置及其制造方法的排列微镜
公开(公告)号：EP2828701A1
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：EP13712197.6
申请日：2013-03-20
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , QUENZER, Hans-Joachim , JANES, Joachim , JENSEN, Björn
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0833 , B32B37/16 , B32B38/0008 , B32B38/10 , B32B2307/416 , B32B2310/0875 , B32B2551/08 , G02B1/12 , G02B7/1815 , G02B7/1821
摘要： The invention relates to a micromirror arrangement with at least one mirror plate which is suspended in a chip frame by means of one or more spring elements so as to be able to vibrate. At least one microchannel provided with an inlet and outlet opening for conducting a coolant is provided in the chip frame and in the one or more spring elements, or said at least one microchannel is provided in the chip frame, in the one or more spring elements, and in the at least one mirror plate.

40. 发明授权

EP2514211B1 ABLENKEINRICHTUNG FÜR EINE PROJEKTIONSVORRICHTUNG, PROJEKTIONSVORRICHTUNG ZUM PROJIZIEREN EINES BILDES UND VERFAHREN ZUM ANSTEUERN EINER ABLENKEINRICHTUNG FÜR EINE PROJEKTIONSVORRICHTUNG 有权
标题翻译：偏转方向的投影设备，投影设备投影图像及其控制方法的偏转方向的投影设备
公开(公告)号：EP2514211B1
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：EP10809269.3
申请日：2010-12-13
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , RATZMANN, Lars , JANES, Joachim , WEISS, Manfred , MÜHLMANN, Sascha
IPC分类号： G02B26/10 , H04N9/31
CPC分类号： G02B26/101 , G09G3/02 , G09G3/025 , H04N9/3129 , H04N9/3132 , H04N9/3135

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式