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    • 31. 发明申请
    • GASDICHTES VERBINDUNGSELEMENT MIT BAJONETTVERSCHLUSS
    • 卡口式气密连接元件
    • WO2006094824A1
    • 2006-09-14
    • PCT/EP2006/002232
    • 2006-03-10
    • CENTROTHERM ELEKTRISCHE ANLAGEN GMBH & CO. KGHARTUNG, Robert, MichaelKELLER, Andreas
    • HARTUNG, Robert, MichaelKELLER, Andreas
    • F16L37/248B01J4/00
    • B01J4/001B01J19/0053F16L37/248H01L21/67017
    • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Führung oder zum Transport gasförmiger Medien, umfassend mindestens ein zwei Verbindungsstücke aufweisendes Verbindungselement welches zum Verbinden gasführender Elemente geeignet ist, wobei eines der Verbindungsstücke des Verbindungselements einen Vorsprung, vorzugsweise einen Stift, aufweist und dass das andere Verbindungsstück des Verbindungselements entsprechend hierzu eine Aufnahme, vorzugsweise eine Führungsnut oder einen Schlitz, aufweist, beispielsweise eine gasdichte Durchführung (1) für ein Prozessrohr (2) in eine innerhalb des Prozessrohrs (2) befindliche Prozesskammer (5) zur Zu- oder Ableitung von Prozessgasen, umfassend eine damit verbundene, insbesondere sich zumindest teilweise längs des Prozessrohrs (2) innerhalb der Prozesskammer (5) erstreckende Gaslanze (3), ein Leitungsrohr (4) und ein Verbindungselement (7), welches an dem Leitungsrohr (4) und an der Gaslanze (3) befestigbar ist. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass eine gasdichte Durchführung von Prozessgasen in und aus einem Prozessrohr mit hoher Dichtigkeit selbst unter hohen thermischen Belastungen des Prozessrohrs realisiert werden kann.
    • 本发明涉及一种装置,用于导引或气体介质中,两个显示连接元件,其适用于连接引导气体的元件包括:在所述连接元件的连接器的突出部,优选的销,其中一个连接片的至少一个的传输,并且在于,所述另一连接件 根据该接合件,插座,优选的导向凹槽或狭槽具有,例如,在处理管的内部的气密通道(1)的处理管(2)(2)位于处理室(5),用于供给或工艺气体的排放,包括 相关联的,特别是至少部分地沿着所述工艺管道(2)的处理室(3)内,一个管道(4)和连接元件(7)附接到所述导管(4)(5)延伸的气体喷枪和(在气体喷枪 3)能够被紧固。 本发明的特征在于,处理气体的气密通道可以和移出处理管与即使在处理管的高的热负荷的高密度来实现。