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    • 36. 发明授权
    • 임피던스분석을 이용하는 화학물질 검출방법
    • 化学检测方法的阻抗分析
    • KR101734329B1
    • 2017-05-12
    • KR1020150174600
    • 2015-12-09
    • 한국생산기술연구원
    • 박재영김호형이흥렬이호년
    • G01N27/12G06F17/10
    • G01N27/127
    • 본발명은, 반도체식가스센서의감지부에대상가스(target gas)를흡착시키고대상가스(target gas)가흡착된감지부의임피던스를측정하였을때, 대상가스(target gas)의종류및 농도에따라대상가스(target gas)가흡착된감지부의복소유전율의실수부에대한주파수응답이달라지는것 및상기임피던스의실수부와허수부의관계가달라지는것 중하나이상을이용하여, 대상가스(target gas)의종류및 농도를판별하는방법에관한것으로, 상기반도체식가스센서를준비하는단계, 대상가스(target gas)를상기감지부에흡착시키는단계, 상기반도체식가스센서의전극부에전원을인가하는단계, 대상가스(target gas)가흡착된감지부의임피던스를측정하여상기임피던스의실수부및 허수부가도출되는단계, 수학식 1에의하여대상가스(target gas)가흡착된감지부의복소유전율의실수부에대한주파수응답이산출되는단계, 상기복소유전율의실수부에대한주파수응답을대상가스(target gas)의농도별로기록하고있는제1기준데이터와상기단계에서산출된복소유전율의실수부에대한주파수응답을대비하여대상가스(target gas)의종류및 농도를확정하는단계를포함하여이루어지고, 상기전원은교류전원인것을특징으로하는대상가스(target gas)의종류및 농도를판별하는방법을제공한다.
    • 本发明中,当半导体型hayeoteul在气体传感器的感测部分吸附目标气体(目标气体)与吸收器的阻抗测量检测到的负目标气体(目标气体),根据目标气体的类型和浓度(目标气体) 使用目标气体(目标气体)是吸附感测单元的复介电常数变化为实部和大于或重负载的频率响应会有所不同目标气体的阻抗的实部和虚部之间的关系(目标气体) 涉及一种方法,用于确定的类型和浓度的步骤中,目标气体(目标气体)吸附步骤至传感器,包括:一个电源向半导体式气体传感器的电极部施加到制备的半导体式气体传感器 中,目标气体(目标气体)是实部的实部和相位是虚数部分,通过测量阻抗吸附感测单元,方程导出的阻抗(1)的复数介电常数被吸附感测单元的目标气体(目标气体),并通过 对于频率响应 离步骤,在制备用于在步骤和第一基准数据确定在不同浓度的目标气体的复数介电常数的实部的频率响应的被记录在复介电常数的实部的频率响应的(目标气体) 通过用于决定的类型和气体(目标气体)的浓度的步骤制成,所述电源提供了用于确定目标气体(目标气体)的种类和浓度,其特征在于,展原因的方法。