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31. 发明公开

KR1020170027566A 다공성 탄성중합체 유전층을 구비하는 정전용량형 압력센서 有权
标题翻译：具有多孔介质层的电容型压力传感器
公开(公告)号：KR1020170027566A
公开(公告)日：2017-03-10
申请号：KR1020150124360
申请日：2015-09-02
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박인규 , 권동욱
IPC分类号： G01L1/14 , G01L9/00
CPC分类号： G01L1/142
摘要： 본발명에의하면, 제1 전극층; 상기제1 전극층과이격된제2 전극층; 및상기제1 전극층과상기제2 전극층사이에형성된유전층을포함하며, 상기유전층은다공성탄성중합체로이루어지는것을특징으로하는정전용량형압력센서가제공된다.
摘要翻译：根据本公开，提供一种压电式压力传感器，包括第一电极层，与第一电极层间隔开的第二电极层和形成在第一电极层和第二电极层之间的电介质层，其中，电介质层由多孔弹性体制成。

32. 发明授权

KR101710587B1 전기수력학 프린팅을 이용한 센서 소재 미세 패턴 어레이 제작방법 및 이를 기반으로 제작한 가스 센서 어레이 有权
标题翻译：一种使用电流体动力学印刷和由其制造的气体传感器阵列制造传感器图案微图案阵列的方法
公开(公告)号：KR101710587B1
公开(公告)日：2017-02-27
申请号：KR1020150094063
申请日：2015-07-01
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박인규 , 강경남
IPC分类号： G01N27/407 , B05B5/025 , B41J2/06
摘要： 본발명의일 관점에따른전기수력학프린팅을이용한다종금속산화물나노소재미세패턴어레이제작방법은센서플랫폼을준비하는단계; 감지물질로서기능하는하나이상의금속산화물나노섬유들을준비하는단계; 및상기다종의금속산화물나노섬유들을전기수력학프린팅을이용하여상기센서플랫폼상에도포하는단계;를포함하고, 상기도포단계는, 상기금속산화물나노섬유가분사되는노즐을상기센서플랫폼과소정간격을유지한상태로배치하는단계, 상기노즐상에전압을인가하는단계, 및수백㎛ 내지수 ㎜간격을두고상기노즐과상기센서플랫폼사이에수 ㎸의전압을인가하여상기금속산화물나노섬유가토출되도록하는단계를포함한다.
摘要翻译：它利用电动液压打印类型的根据本发明的包括的一个方面的金属氧化物纳米材料的精细图案阵列的制造方法，包括：制备一个传感器平台; 制备用作感测材料的一种或多种金属氧化物纳米纤维; 并且通过使用各种应用所述传感器平台上的金属氧化物纳米纤维电液压印刷步骤;包括，涂覆步骤，其中注射所述传感器平台的预定距离的金属氧化物纳米纤维的喷嘴 eulyu到极寒状态步骤中，施加电压，并与索引㎜内的数百㎛间隔，其通过在数量上施加电压㎸喷嘴和布置在所述喷嘴中的传感器平台之间的金属氧化物纳米纤维放电和的步骤。

33. 发明公开

KR1020120095073A 나노선 광센서, 플렉서블 나노선 광센서 및 그 제조방법 失效
标题翻译：纳米线光学传感器，柔性纳米线光学传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020120095073A
公开(公告)日：2012-08-28
申请号：KR1020110014498
申请日：2011-02-18
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박인규 , 양대종
IPC分类号： G01J1/42 , B82Y15/00
摘要： PURPOSE: A nano wire optical sensor, a flexible nano wire optical sensor, and a manufacturing method thereof are provided to improve the generality and the profitability of a substrate by manufacturing a nano wire optical sensor at relatively low temperature. CONSTITUTION: A nano wire optical sensor comprises two electrodes and a nano wire network. The two electrodes are formed on the substrate and spaced at a predetermined distance. The nano wire network connects the electrodes. Nano wires respectively grow in each one area of the electrodes facing each other, thereby forming a network.
摘要翻译：目的：提供纳米线光学传感器，柔性纳米线光学传感器及其制造方法，以通过在较低温度下制造纳米线光学传感器来提高基板的通用性和利润率。构成：纳米线光学传感器包括两个电极和纳米线网络。两个电极形成在基板上并以预定距离隔开。纳米线网络连接电极。纳米线分别在彼此面对的电极的每个区域中生长，从而形成网络。

34. 发明授权

KR102223066B1 팔라듐 기반 센서 제조 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102223066B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190092686
申请日：2019-07-30
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박인규 , 조민규 , 지안성주
IPC分类号： G01N27/407 , G01N33/00 , C23C14/58 , C23C14/02 , C23C14/20
摘要： 본발명의일 실시예에따른팔라듐기반센서제조방법은, 전기방사를이용하여제1 기판위에다공성을가지는집합체를형성하는단계와, 상기집합체에소정두께로팔라듐을증착하는단계와, 상기팔라듐이증착된상기집합체를제2 기판상에배치하는단계와, 유기용매제를이용하여상기제2 기판상에배치된집합체를녹임에기초하여, 상기집합체형상의공간을포함하는팔라듐튜브를형성하는단계와, 상기제2 기판및 상기팔라듐튜브를이용하여팔라듐기반센서를제조하는단계를포함할수 있다.

35. 发明授权

KR102208383B1 수소 센서 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102208383B1
公开(公告)日：2021-01-28
申请号：KR1020190081645
申请日：2019-07-05
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박인규 , 조민규 , 가오민
IPC分类号： G01N27/407 , G01N27/12 , G01N33/00 , B82Y15/00
摘要： 본발명의일 실시예에따른수소센서는, 도핑농도에따라복수의전극영역과하나의채널영역으로구획되는상부의반도체층이구비되는 SOI(Silicon-On-Insulator) 기판; 상기반도체층의상기복수의전극영역상에형성되는복수의전극; 및상기반도체층의상기채널영역을식각함으로써형성되는실리콘나노그물및 수소기체와반응하도록상기실리콘나노그물상에증착되는감지물질로구성되는감지부; 를포함한다.

36. 发明授权

KR102198765B1 이종접합 구조의 수직형 트랜지스터 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102198765B1
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：KR1020190011453
申请日：2019-01-29
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박인규 , 조민규
IPC分类号： H01L29/66 , H01L29/778 , H01L21/02 , H01L29/417
摘要： 본발명의일 실시예에따른이종접합구조의수직형트랜지스터제조방법은, 제1 전자이동도를가지는제1 물질로구성되는제1 레이어, 상기제1 전자이동도보다큰 제2 전자이동도를가지는제2 물질로구성되는제2 레이어및 상기제1 물질로구성되는제3 레이어를포함하는다층구조를생성하는단계와, 상기다층구조에대해수직으로소스(source), 드레인(drain), 게이트(gate)를형성하여수직형트랜지스터를제조하는단계를포함할수 있다.

37. 发明授权

KR101980894B1 태양 전지를 이용한 압력 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR101980894B1
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：KR1020170074812
申请日：2017-06-14
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박인규 , 이정용 , 권동욱 , 나광민
IPC分类号： G01L1/24 , H01L31/042 , C08L83/00

38. 发明授权

KR101976024B1 광학식 인장센서용 복합체, 이의 제조방법, 및 이를 포함하는 광학식 인장센서 有权
公开(公告)号：KR101976024B1
公开(公告)日：2019-05-08
申请号：KR1020170147907
申请日：2017-11-08
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박인규 , 권동욱 , 구지민
IPC分类号： C08J5/00 , C08K3/04 , C08L83/04

39. 发明授权

KR101927444B1 태양 전지를 이용한 자가발전 가스 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR101927444B1
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：KR1020170068881
申请日：2017-06-02
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박인규 , 강경남 , 이정용 , 나광민
IPC分类号： G01N21/78 , G01N33/00 , H01L31/042 , H02S40/38

40. 发明授权

KR101880176B1 직접 임프린팅용 탄성체 몰드 및 이를 이용한 와이어 구조물 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101880176B1
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：KR1020150167934
申请日：2015-11-27
申请人： 한국과학기술원
发明人： 성형진 , 박인규 , 오용석 , 최동윤
IPC分类号： B29C33/42 , B29C33/38 , H01L21/28
摘要： 본발명은직접임프린팅용탄성체몰드와이를이용한높은종횡비를가지는와이어구조물제조방법에관한것으로서, 직접임프린팅용탄성체몰드의탄성변형과함께탄성체몰드와기판사이의슬립모션을통해다양한기능성물질들에대한높은종횡비를가지는와이어구조물들을제작가능하도록함으로써, 높은종횡비를가지는기능성와이어구조물들의생산성을높이고이들의제조원가를절감할수 있어다양한산업계와학계연구개발에활용할수 있는효과를갖는다.

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