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31. 发明公开

CN109952459A 阀装置、使用该阀装置的流量控制方法和半导体制造方法失效
公开(公告)号：CN109952459A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201780069196.1
申请日：2017-11-02
申请人：株式会社富士金
发明人：吉田俊英 , 中田知宏 , 篠原努 , 稻田敏之 , 船越高志
IPC分类号： F16K31/02 , F16K31/122
摘要：提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12)；阀芯(20)，其被设为能够开闭阀体的流路(12)；操作构件(40)，其用于操作阀芯，被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动；以及压电致动器(100)，其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。

32. 发明公开

CN105190142A 流量控制装置用的流量控制阀失效
公开(公告)号：CN105190142A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480004461.4
申请日：2014-03-17
申请人：株式会社富士金
发明人：广濑隆 , 山路道雄 , 吉田俊英 , 执行耕平
IPC分类号： F16K31/02 , F16K27/02
摘要：本发明通过实现在流量控制装置等中使用的压电元件驱动式金属隔膜控制阀的构造的简单化和小型化、组装及维护检修的容易化，不会造成半导体制造装置用集成化气体供给装置等的大型化，就可以应对供给气体种类、供给电路数量的增加的要求。本发明由下述部件构成：包括具有阀座(6)的上方敞口的阀室用孔部(1a)和与之连通的流体入口通路(7a)以及流体出口通路(7b)的阀主体(1)；在阀座(6)的上方相对状配设并且外周缘固定于阀室用孔部(1a)的底面的倒碟形的金属隔膜阀体(2)；螺纹旋插到阀室用孔部(1a)中并按压固定金属隔膜阀体(2)的外周缘的压紧螺钉(5)；通过压紧螺钉(5)内部并插入到阀室用孔部(1a)内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件(3)，并且在侧壁上相对且贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口(22a)的下部支承筒体(22)；螺接到下部支承筒体(22)的上端部而形成支承筒体(23)的圆筒状的上部支承筒体(21)；载置在下部支承筒体(22)的底壁上的具有保持部(8a)的碟簧承受台(8)；载置在碟簧承受台(8)上的碟簧(18)；插通下部支承筒体(22)的切口(22a)而水平配设，中央具有保持碟簧保持部(8a)的前端部的碟簧承受台引导孔(19)，并且在两端部设置有螺栓插入孔(20)的支承台架(16)；载置在支承台架(16)的碟簧承受台引导孔(19)的上方的下部承受台(9)；插入下部承受台(9)的上方的支承筒体(23)内的压电元件(10)；具备引导筒(24a)和从其下端部向两侧突出的凸缘部(24c)，使支承筒体(23)以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒(24a)内，并且使凸缘部(24c)与支承台架(16)的两端部相对，利用固定用螺栓(17)与所述支承台架(16)一并被固定于阀主体(1)的引导体(24)；和螺接在上部支承筒体(21)的上端部的定位螺母(12)，通过压电元件(10)的伸长将支承筒体(23)推向上方，利用金属隔膜阀体(2)的弹力使其从阀座(6)分离。

33. 发明授权

CN102812275B 流体控制器有权
公开(公告)号：CN102812275B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201080065200.5
申请日：2010-12-09
申请人：株式会社富士金
发明人：广濑隆 , 小川普 , 吉田俊英 , 执行耕平
IPC分类号： F16K31/122 , F16K37/00
CPC分类号： F16K7/14 , F16K31/1225 , F16K31/1226
摘要：本发明提供一种流体控制器，能够以简单结构对其开闭状态进行视觉确认。外壳(3)以在上方开口的方式形成，在阀杆(7)位于上方位置时，以使活塞上端部从外壳(3)的开口露出的方式在阀杆(7)上端部设置活塞(8)。

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