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    • 39. 发明专利
    • 半導体装置の製造方法
    • 制造半导体器件的方法
    • JP2015216230A
    • 2015-12-03
    • JP2014098074
    • 2014-05-09
    • 日東電工株式会社
    • 志賀 豪士石坂 剛盛田 浩介飯野 智絵石井 淳
    • H01L21/56
    • 【課題】 ボイドが少ない半導体装置を製造できる半導体装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 チップ実装基板、チップ実装基板上に配置された熱硬化性樹脂シート、並びに熱硬化性樹脂シートと接する中央部及び中央部の周辺に配置された周辺部を備えるフィルムを備える積層体の周辺部をチップ実装基板と接するステージに押し付けることにより、ステージ及びフィルムを備える密閉容器を形成する工程と、 密閉容器の外部の圧力を密閉容器の内部の圧力より高めることにより、半導体チップを熱硬化性樹脂シートで覆いつつ、基板と半導体チップのギャップに熱硬化性樹脂シートを充填する工程と を含む半導体装置の製造方法に関する。 【選択図】 図1
    • 要解决的问题:提供一种用于制造半导体器件的方法,通过该方法可以制造具有较少空隙的半导体器件。解决方案:一种制造半导体器件的方法包括以下步骤:将包括 芯片安装板,设置在芯片安装板上的热固性树脂片,以及包括与热固性树脂片接触的中心部分的膜和围绕中心部分设置的周边部分,以抵抗与芯片安装板接触的台阶,由此 形成包括该台和该膜的密封容器; 使密封容器外部的压力高于密封容器内的压力,由此在热固性树脂片覆盖半导体芯片的同时,将热固性树脂片填充到板和半导体芯片之间的间隙中。