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31. 发明专利

TWI442190B 載置台架及曝光裝置有权
简体标题：载置台架及曝光设备
公开(公告)号：TWI442190B
公开(公告)日：2014-06-21
申请号：TW100138324
申请日：2011-10-21
申请人：拓普康股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人：落合亮 , OCHIAI, RYO , 吉田茂 , YOSHIDA, SHIGERU
IPC分类号： G03F7/20

32. 发明专利

TWI303311B 外觀檢查方法及其裝置 INSPECTING METHOD AND APPARATUS THEREOF 失效
简体标题：外观检查方法及其设备 INSPECTING METHOD AND APPARATUS THEREOF
公开(公告)号：TWI303311B
公开(公告)日：2008-11-21
申请号：TW094145021
申请日：2005-12-19
申请人：拓普康股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人：秋元茂行 AKIMOTO, SHIGEYUKI
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/956 , G01R31/311
摘要：一種可更正確判定缺陷是否在容許內的外觀檢查方法及裝置。藉由與被檢查體11a的圖像21A的檢查區域與樣板(21A)相比較,以判定抽出的缺陷是否在容許內。把檢查區域區分成多個容許度為互不相同的a、b、c不同的區段28a、28b、28c。當檢查區域上抽出的一個缺陷部位27跨容許度互不相同的多個區段28a、28b、28c而存在時,根據缺陷部位27的各缺陷部位部份27a、27b、27c所在位置的該區段28a、28b、28c的容許度a、b、c中被付予最嚴格條件的閥値a,來判定缺陷部位27的缺陷是否在容許內。
简体摘要：一种可更正确判定缺陷是否在容许内的外观检查方法及设备。借由与被检查体11a的图像21A的检查区域与样板(21A)相比较,以判定抽出的缺陷是否在容许内。把检查区域区分成多个容许度为互不相同的a、b、c不同的区段28a、28b、28c。当检查区域上抽出的一个缺陷部位27跨容许度互不相同的多个区段28a、28b、28c而存在时,根据缺陷部位27的各缺陷部位部份27a、27b、27c所在位置的该区段28a、28b、28c的容许度a、b、c中被付予最严格条件的阀値a,来判定缺陷部位27的缺陷是否在容许内。

33. 发明专利

TWI291020B 粒子偵測方法及儲存實施粒子偵測方法之程式之儲存媒體 PARTICLE DETECTING METHOD AND STORAGE MEDIUM STORING PROGRAM FOR IMPLEMENTING THE METHOD 失效
简体标题：粒子侦测方法及存储实施粒子侦测方法之进程之存储媒体 PARTICLE DETECTING METHOD AND STORAGE MEDIUM STORING PROGRAM FOR IMPLEMENTING THE METHOD
公开(公告)号：TWI291020B
公开(公告)日：2007-12-11
申请号：TW094142123
申请日：2005-11-30
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED , 拓普康股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人：齊藤進 SAITO, SUSUMU , 磯崎久 ISOZAKI, HISASHI , 柿沼隆司 KAKINUMA, TAKASHI , 西岡範剛 NISHIOKA, NORITAKA , 野田啓 NODA, AKIRA
IPC分类号： G01N , H01L , G08B
摘要：一種粒子偵測方法，可正確地偵測低速粒子數目，以及一種儲存媒體，乃儲存執行此方法之程式。使用一光線接收感測器，於預設時間間隔，測量當發射至氣流之光線由粒子所散射時，產生之散射光線強度。用以測量散射光線強度之一測量時間週期，乃劃分為多個測量週期，每一測量週期乃定義為一預設時間週期，並於每一測量週期中，所測量之散射光線強度最大值，選擇一測量時間點。乃根據每一測量週期中選擇之測量時間點，計數通過光線接收感測器前方之粒子數目。
简体摘要：一种粒子侦测方法，可正确地侦测低速粒子数目，以及一种存储媒体，乃存储运行此方法之进程。使用一光线接收传感器，于默认时间间隔，测量当发射至气流之光线由粒子所散射时，产生之散射光线强度。用以测量散射光线强度之一测量时间周期，乃划分为多个测量周期，每一测量周期乃定义为一默认时间周期，并于每一测量周期中，所测量之散射光线强度最大值，选择一测量时间点。乃根据每一测量周期中选择之测量时间点，计数通过光线接收传感器前方之粒子数目。

34. 外观设计

TWD116237S 眼科用器械檯 TABLE FOR OPHTHALMIC INSTRUMENT 失效
简体标题：眼科用器械台 TABLE FOR OPHTHALMIC INSTRUMENT
公开(公告)号：TWD116237S
公开(公告)日：2007-04-01
申请号：TW095301853
申请日：2006-04-11
申请人：拓普康股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOPCON
设计人：山岡正司 YAMAOKA, MASASHI
摘要：【物品用途】
本創作的物品是一種眼科用器械檯，供眼科診療時放置器械材料所用的工具檯。
【創作特點】
由各圖觀之，本創作由上而下係分為：燈具、放置平台、及底座等三部分，其燈具乃由放置平台向上延伸且直立成一具弧度狀的L形體，而放置平台係為一不規則體，且在下方如前視圖所示，於右邊配置一操作盒，並由此往下延伸形成一支撐壁，且由此向底部延伸形成略呈三角形狀且帶有弧度的底座(如仰視圖所示)，此外如右側視圖所示，在其邊上另配置一排插接孔；綜上所述，本創作的整體造形在設計者的精心構思下，無論在套接或操控上均十分的理想，實為一能令其達到理想輔助效果的極佳工具，確為一理想創新之設計。
简体摘要：【物品用途】本创作的物品是一种眼科用器械台，供眼科诊疗时放置器械材料所用的工具台。【创作特点】由各图观之，本创作由上而下系分为：灯具、放置平台、及底座等三部分，其灯具乃由放置平台向上延伸且直立成一具弧度状的L形体，而放置平台系为一不守则体，且在下方如前视图所示，于右边配置一操作盒，并由此往下延伸形成一支撑壁，且由此向底部延伸形成略呈三角形状且带有弧度的底座(如仰视图所示)，此外如右侧视图所示，在其边上另配置一排插接孔；综上所述，本创作的整体造形在设计者的精心构思下，无论在套接或操控上均十分的理想，实为一能令其达到理想辅助效果的极佳工具，确为一理想创新之设计。

35. 发明专利

TW200623302A 外觀檢查方法及其裝置 INSPETING METHOD AND APPARATUS THEREOF 失效
简体标题：外观检查方法及其设备 INSPETING METHOD AND APPARATUS THEREOF
公开(公告)号：TW200623302A
公开(公告)日：2006-07-01
申请号：TW094142898
申请日：2005-12-06
申请人：拓普康股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人：秋元茂行 AKIMOTO, SHIGEYUKI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01R31/311 , G01N21/95607
摘要：一種可更正確判定缺陷是否在容許內的外觀檢查方法及裝置。藉由與被檢查體11a的圖像21A的檢查區域上而來的樣板(21A)相比較，以判定抽出的缺陷是否在容許內。把檢查區域區分成多個容許度為互不相同的a、b、c的區段28a、28b、28c。當檢查區域上抽出的至少一個缺陷部位27跨容許度互不相同的多個區段28a、28b、28c而存在時，對存在各區段28a、28b、28c上的各缺陷部位部份27a、27b、27c，根據該區段28a、28b、28c的容許度a、b、c，預備判定缺陷部位部份的缺陷是否在所在區段的容許內。根據此些預備判定的結果，來判定缺陷部位27的缺陷是否在容許內。
简体摘要：一种可更正确判定缺陷是否在容许内的外观检查方法及设备。借由与被检查体11a的图像21A的检查区域上而来的样板(21A)相比较，以判定抽出的缺陷是否在容许内。把检查区域区分成多个容许度为互不相同的a、b、c的区段28a、28b、28c。当检查区域上抽出的至少一个缺陷部位27跨容许度互不相同的多个区段28a、28b、28c而存在时，对存在各区段28a、28b、28c上的各缺陷部位部份27a、27b、27c，根据该区段28a、28b、28c的容许度a、b、c，预备判定缺陷部位部份的缺陷是否在所在区段的容许内。根据此些预备判定的结果，来判定缺陷部位27的缺陷是否在容许内。

36. 发明专利

TW200506348A 表面檢查方法及表面檢查裝置失效
简体标题：表面检查方法及表面检查设备
公开(公告)号：TW200506348A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：TW093115169
申请日：2004-05-27
申请人：拓普康股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人：宮川一宏 MIYAKAWA, KAZUHIRO , 岩陽一郎 IWA, YOICHIRO , 關根明彥 SEKINE, AKIHIKO
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/4738 , G01N21/94
摘要：本發明的課題是針對於在表面檢查裝置中，被檢查面的照射域內的缺陷，成為可容易地識別複數的小缺陷，或是單一的大缺陷。本發明用以解決手段是一種表面檢查裝置，其特徵為具備：出射雷射光L0的LD10，及對於晶圓200的被檢查面210以所定俯角α入射所出射的雷射光L0的照射光學系20，及變位晶圓200使得雷射光L0螺旋狀地掃描被檢查面210的掃描手段30，及檢測光強度的光強度檢測手段50，及將從雷射光L0所入射的照射域220出射的散射光L2，導光至光強度檢測手段50的散射光檢測光學系40；光強度檢測手段50是具備對於一維方向(Y軸方向)，將散射光L2分解成10個通道ch並予以檢測的多陽極PMT51。
简体摘要：本发明的课题是针对于在表面检查设备中，被检查面的照射域内的缺陷，成为可容易地识别复数的小缺陷，或是单一的大缺陷。本发明用以解决手段是一种表面检查设备，其特征为具备：出射激光光L0的LD10，及对于晶圆200的被检查面210以所定俯角α入射所出射的激光光L0的照射光学系20，及变位晶圆200使得激光光L0螺旋状地扫描被检查面210的扫描手段30，及检测光强度的光强度检测手段50，及将从激光光L0所入射的照射域220出射的散射光L2，导光至光强度检测手段50的散射光检测光学系40；光强度检测手段50是具备对于一维方向(Y轴方向)，将散射光L2分解成10个信道ch并予以检测的多阳极PMT51。

37. 发明专利

TW200426362A 外觀檢查方法,使用於該方法的母型及具備該母型的外觀檢查裝置失效
简体标题：外观检查方法,使用于该方法的母型及具备该母型的外观检查设备
公开(公告)号：TW200426362A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：TW093113808
申请日：2004-05-14
申请人：拓普康股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人：秋元茂行 AKIMOTO, SHIGEYUKI , 伊藤隆 ITOH, TAKASHI
IPC分类号： G01N , G06T
CPC分类号： G01N21/95607 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G06T7/001 , G06T2207/30148
摘要：本發明係以提供一種外觀檢查方法、母型及外觀檢查裝置，其係做成不需要母型的嚴密之位置吻合、不會將良品誤判定為不良品，並且可抑制必須準備做為母型用之基準圖型部分之種類的增大，做為技術課題。本發明在解決手段上，係根據具有重複圖型之檢查領域16a～16i的外觀與預定母型之比較的檢查方法及裝置。將檢查領域16a～16i區分成縱橫之複數個視野領域，母型17方面，在包含於被區分之各視野領域中所含有之上述檢查領域16a～16i之緣形狀的每個差異下，係使用含有各緣形狀而相互差異的基準圖型部分17a～17i。本發明適用於記憶體或CCD(電荷耦合裝置)之半導體晶片的外觀之檢查。
简体摘要：本发明系以提供一种外观检查方法、母型及外观检查设备，其系做成不需要母型的严密之位置吻合、不会将良品误判定为不良品，并且可抑制必须准备做为母型用之基准图型部分之种类的增大，做为技术课题。本发明在解决手段上，系根据具有重复图型之检查领域16a～16i的外观与预定母型之比较的检查方法及设备。将检查领域16a～16i区分成纵横之复数个视野领域，母型17方面，在包含于被区分之各视野领域中所含有之上述检查领域16a～16i之缘形状的每个差异下，系使用含有各缘形状而相互差异的基准图型部分17a～17i。本发明适用于内存或CCD(电荷耦合设备)之半导体芯片的外观之检查。

38. 发明专利

TW594586B 卡片真偽判斷裝置及卡片真偽判斷系統失效
简体标题：卡片真伪判断设备及卡片真伪判断系统
公开(公告)号：TW594586B
公开(公告)日：2004-06-21
申请号：TW090109589
申请日：2001-04-19
申请人：拓普康股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人：堀信男 , 永野繁憲
IPC分类号： G06K
摘要：一種卡片真偽判斷裝置，具備有：投光系統22，被設於卡片1之表面且根據格子模式3使畫像4′朝向被形成之雷射圖用以投光雷射測定光Q1；傅里葉(Fourier)變換透鏡27，由雷射圖根據被反射之反射回折光束將格子模式像形成於受光部38上；及判斷裝置30′，由受光部28根據光電輸出為了用以判斷卡片1之真偽；並根據反射回折光藉由格子模式像用以判斷卡片1之真偽。
简体摘要：一种卡片真伪判断设备，具备有：投光系统22，被设于卡片1之表面且根据格子模式3使画像4′朝向被形成之激光图用以投光激光测定光Q1；傅里叶(Fourier)变换透镜27，由激光图根据被反射之反射回折光束将格子模式像形成于受光部38上；及判断设备30′，由受光部28根据光电输出为了用以判断卡片1之真伪；并根据反射回折光借由格子模式像用以判断卡片1之真伪。

39. 发明专利

TW580639B 卡片之真偽判別裝置失效
简体标题：卡片之真伪判别设备
公开(公告)号：TW580639B
公开(公告)日：2004-03-21
申请号：TW091103194
申请日：2002-02-22
申请人：拓普康股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人：堀信男 , 永野繁憲
IPC分类号： G06K
CPC分类号： G07D7/12 , G03H1/0011 , G06K7/10861 , G06K7/12 , G06K19/16 , G07D7/0032
摘要：一種卡片真偽判別裝置，是用來對應卡片1的種類，將設有預定的全像的卡片1的真偽根據該全像來判別的卡片真偽判別裝置，其持徵為：具備：用來將測定光投影至全像的測定光投影系統(半導體雷射器25a、瞄準透鏡)；與用來接收受到測定光束P的全像所反射的反射衍射光的區域感知器28；與根據來自該區域感知器28的訊號，分別進行對應各種全像的運算而進行卡片1的真偽判別的複數個判別運算手段30～32；與選擇該複數個判別運算手段30～32中的一種的選擇手段(切換開關24、開關電路29)。
简体摘要：一种卡片真伪判别设备，是用来对应卡片1的种类，将设有预定的全像的卡片1的真伪根据该全像来判别的卡片真伪判别设备，其持征为：具备：用来将测定光投影至全像的测定光投影系统(半导体激光器25a、瞄准透镜)；与用来接收受到测定光束P的全像所反射的反射衍射光的区域感知器28；与根据来自该区域感知器28的信号，分别进行对应各种全像的运算而进行卡片1的真伪判别的复数个判别运算手段30～32；与选择该复数个判别运算手段30～32中的一种的选择手段(切换开关24、开关电路29)。

40. 发明专利

TW200919626A 晶圓保持器 WAFER HOLDER 审中-公开
简体标题：晶圆保持器 WAFER HOLDER
公开(公告)号：TW200919626A
公开(公告)日：2009-05-01
申请号：TW097140908
申请日：2008-10-24
申请人：拓普康股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人：板倉葉 ITAKURA, YO
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/68764 , H01L21/68721
摘要：提供一種晶圓保持器,其包含具有夾盤台之保持器主體,所述夾盤台具有:環狀晶圓座;以及多個固定部分,其將晶圓固定於所述晶圓座上以保持所述晶圓,且所述晶圓保持器包含載體,其在晶圓固定於所述晶圓座上之前自下方支撐所述晶圓。所述保持器主體包含載體支撐部分,其形成支撐面以支撐所述載體,且高度可自原始位置改變,且所述載體支撐部分將上面置放有晶圓之所述支撐面定位於傳遞位置。所述載體支撐部分藉由將所述支撐面自所述傳遞位置降低,來使晶圓與載體分離,使得所述固定部分固定所述晶圓。
简体摘要：提供一种晶圆保持器,其包含具有夹盘台之保持器主体,所述夹盘台具有:环状晶圆座;以及多个固定部分,其将晶圆固定于所述晶圆座上以保持所述晶圆,且所述晶圆保持器包含载体,其在晶圆固定于所述晶圆座上之前自下方支撑所述晶圆。所述保持器主体包含载体支撑部分,其形成支撑面以支撑所述载体,且高度可自原始位置改变,且所述载体支撑部分将上面置放有晶圆之所述支撑面定位于传递位置。所述载体支撑部分借由将所述支撑面自所述传递位置降低,来使晶圆与载体分离,使得所述固定部分固定所述晶圆。

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