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    • 32. 发明专利
    • 流體裝置及製造其之方法
    • 流体设备及制造其之方法
    • TW201830163A
    • 2018-08-16
    • TW106143964
    • 2017-12-14
    • 美商伊路米納有限公司ILLUMINA, INC.
    • 伊爾尼 約翰 格哈特EARNEY, JOHN GERHARDT福樂特恩 賈斯汀FULLERTON, JUSTIN史密斯 凱勒伯SMITH, KALEB韋恩卡特斯恩 巴拉 穆拉尼KVENKATESAN, BALA MURALI K.
    • G03F7/20H01L21/00
    • 本發明提供一種實例方法,其包括提供工作堆疊,該工作堆疊具有第一基板層、第二基板層及安置於該第一基板層與該第二基板層之間的輻射吸收材料。該工作堆疊在其中包括具有指定液體的空腔。結合界面界定於該輻射吸收材料與該第一基板層或該第二基板層中之至少一者之間。該結合界面具有該指定液體之一膜。該方法亦包括將輻射引導至該結合界面上以形成周邊密封部。該周邊密封部分離該空腔與該結合界面的外部區域。該方法亦包括將該輻射引導至該結合界面之該外部區域上以將該第一基板層及該第二基板層緊固在一起。該周邊密封部在當該輻射被引導至該外部區域上時阻止氣泡自該外部區域進入至該空腔中。
    • 本发明提供一种实例方法,其包括提供工作堆栈,该工作堆栈具有第一基板层、第二基板层及安置于该第一基板层与该第二基板层之间的辐射吸收材料。该工作堆栈在其中包括具有指定液体的空腔。结合界面界定于该辐射吸收材料与该第一基板层或该第二基板层中之至少一者之间。该结合界面具有该指定液体之一膜。该方法亦包括将辐射引导至该结合界面上以形成周边密封部。该周边密封部分离该空腔与该结合界面的外部区域。该方法亦包括将该辐射引导至该结合界面之该外部区域上以将该第一基板层及该第二基板层紧固在一起。该周边密封部在当该辐射被引导至该外部区域上时阻止气泡自该外部区域进入至该空腔中。