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    • 29. 发明申请
    • REGELUNGSANORDNUNG, REGELSYSTEM UND HOCHFREQUENZLEISTUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG
    • 控制设备,控制系统和高频发电装置
    • WO2015177075A1
    • 2015-11-26
    • PCT/EP2015/060853
    • 2015-05-18
    • TRUMPF HÜTTINGER GMBH + CO. KG
    • BOCK, Christian
    • G05B11/06H03H7/40
    • H01J37/32183G05B11/06H03H7/40H05H1/46
    • Eine Regelungsanordnung (6), insbesondere zur Leistungsregelung und/oder Impedanzanpassung der Ausgangsimpedanz eines Hochfrequenzleistungsgenerators an die Impedanz einer Last, insbesondere einer Plasmaentladung, weist auf: a. einen ersten Regler (13), dem ein erster Sollwert (14) und ein erster Istwert (12) sowie ein Korrekturwert (15) zugeführt sind, wobei der erste Regler (13) eingerichtet ist, unter Berücksichtigung des Korrekturwerts (15) einen ersten Stellwert (22) zu erzeugen, b. eine Korrekturwertermittlungsvorrichtung (16), der ein Kontrollwert (24) zugeführt ist, und die eingerichtet ist, unter Berücksichtigung des Kontrollwerts (24) und eines Vorgabewerts (17) den Korrekturwert (15) zu ermitteln, wobei c. die Korrekturwertermittlungsvorrichtung (16) und der erste Regler (13) derart ausgelegt sind, dass der Korrekturwert (15) bei Abweichung des Kontrollwerts (24) von dem Vorgabewert (17) den ersten Regler (6) so beeinflusst, dass der erste Istwert (12) von dem ersten Sollwert (14) im eingeregelten Zustand des ersten Reglers (6) abweicht.
    • 的控制装置(6),特别是用于功率控制和/或高频电力发生器到一个负载的阻抗的输出阻抗的阻抗匹配,特别是等离子放电,包括:a。 第一控制器(13),其中第一设定值(14)和第一实际值(12)和一个修正值(15)被供给,其中,所述第一控制器(13)适于考虑到修正值(15)具有第一控制值 生成(22)中,b。 其与控制值(24)提供,并且其中,校正值确定装置(16)是在考虑了控制值(24)和一组值(17),以确定校正值(15),其中,c的设置。 修正值确定装置(16)和所述第一控制器(13)被设计成使得从缺省值(17)的控制值(24)的偏差期间的校正值(15),从而影响第一调节器(6),所述第一实际值(12 )(第一目标值14)的偏离在所述第一调节器(6)的调整后的状态。