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21. 发明公开

CN106006536A 集成悬臂开关有权
公开(公告)号：CN106006536A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201510599756.7
申请日：2015-09-18
申请人：意法半导体公司
发明人：柳青 , J·H·张
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/00 , B81B7/02 , B81C1/00
CPC分类号： H01L29/84 , B82B3/00 , H01H1/0094 , H01H49/00 , H01H50/005 , H01H59/0009 , H01H2001/0084 , H01L21/02532 , H01L21/30608
摘要：本公开涉及集成悬臂开关。一种纳米级机电开关形式的集成晶体管消除了CMOS电流泄露并且提高了开关速度。纳米级机电开关以从衬底的一部分延伸到腔中的半导悬臂为特征。悬臂响应于施加到晶体管栅极的电压而弯曲，因此在栅极下方形成导电沟道。当器件关断时，悬臂回到它的静止位置。这种悬臂的移动将电路断开，在栅极下方恢复不允许电流流动的空洞，因此解决了泄露的问题。纳米机电开关的制作与现有的CMOS晶体管制作流程兼容。通过掺杂悬臂并且使用背偏置和金属悬臂末端，可以进一步改进开关的灵敏度。纳米机电开关的面积可以小至0.1x0.1μm2。

22. 发明授权

CN103563057B 硅化物微机械设备及制造其的方法有权转让
公开(公告)号：CN103563057B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201280026268.1
申请日：2012-06-01
申请人：国际商业机器公司
发明人： M·A·吉罗恩 , E·A·约瑟夫 , 刘菲 , 章贞
IPC分类号： H01L21/31
CPC分类号： B81C1/00666 , B81C1/00952 , H01H1/0094 , H01H2001/0078
摘要：公开了一种制造例如MEMS或NEMS开关的机电设备的方法。该方法包括提供布置在绝缘层之上的硅层，绝缘层布置在硅衬底上；从绝缘层释放硅层的一部分，使得其至少部分地悬浮在绝缘层中的空腔之上；在至少硅层的释放部分的至少一个表面上沉积金属（例如，Pt），并且利用热工艺，利用沉积的金属完全硅化至少硅层的释放部分。该方法消除了硅化物引起的对释放Si构件的应力，因为整个Si构件都硅化了。此外，在形成完全硅化的材料之后，不使用常规的湿化学蚀刻，由此减少造成硅化物腐蚀和增加静摩擦的可能性。

23. 发明公开

CN105009293A 基于纳米线的机械开关器件失效
公开(公告)号：CN105009293A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380072798.4
申请日：2013-03-14
申请人：英特尔公司
发明人： C·帕瓦申 , R·金 , S·金 , K·库恩 , S·马尼帕特鲁尼 , R·里奥斯 , I·A·扬 , K·林 , A·乔杜里
IPC分类号： H01L29/00 , B81B7/00
CPC分类号： H01L29/84 , B82Y10/00 , H01H1/0094 , H01H9/0271 , H01H59/0009 , H01L29/045 , H01L29/0673 , H01L29/161
摘要：描述了基于纳米线的机械开关器件。例如，纳米线继电器包括设置在空隙中的纳米线，空隙被设置在衬底上方。纳米线具有锚定部分和悬浮部分。第一栅极电极被设置为邻近空隙并与纳米线间隔开。第一导电区被设置为邻近第一栅极电极并邻近空隙，并且与纳米线间隔开。

24. 发明公开

CN103631413A 触摸屏及触控显示装置无效
公开(公告)号：CN103631413A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210304607.X
申请日：2012-08-24
申请人：天津富纳源创科技有限公司
发明人：吴和虔
IPC分类号： G06F3/041
CPC分类号： H01H1/027 , B82Y15/00 , G06F3/041 , G06F2203/04113 , H01H1/0094
摘要：本发明涉及一种触摸屏及触控显示装置。该触摸屏包括第一触摸子屏及第二触摸子屏，该第一触摸子屏与该第二触摸子屏均包括碳纳米管导电层，其中该第一触摸子屏和该第二触摸子屏均设置于第一基底上且拼接成为一体，且该第一触摸子屏的碳纳米管导电层的碳纳米管的延伸方向与该第二触摸子屏的碳纳米管导电层的碳纳米管的延伸方向不同。该触摸屏的尺寸较大，满足人们对大尺寸触摸屏幕的需求。

25. 发明授权

CN1868002B 具有多个控件的基于纳米管的开关元件及由其制成的电路失效
公开(公告)号：CN1868002B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200480029801.5
申请日：2004-08-12
申请人：南泰若股份有限公司
发明人： C·L·伯丁 , T·吕克斯 , B·M·塞加尔
IPC分类号： G11C11/00 , G11C11/50 , G11C11/21 , G11C23/00 , H01L29/772 , B82B1/00 , B81B3/00
CPC分类号： H01L29/0665 , B82Y10/00 , G11C13/025 , G11C23/00 , G11C2213/16 , G11C2213/17 , H01H1/0094 , H01H1/027 , H01H2001/0005 , H01L27/28 , H01L29/0673 , H01L29/73 , H01L29/78 , H01L51/0048 , H01L51/0508 , Y10S977/762 , Y10S977/932 , Y10S977/94 , Y10T29/49002
摘要：本发明是关于具有多个控件的基于纳米管的开关元件以及由其制成的电路。开关元件包括一输入节点、一输出节点、以及具有至少一个导电纳米管的纳米管通道元件。一控制结构相对于该纳米管通道放置，以可控地在输入节点及输出节点之间形成与解除一导电通道。该输出节点被构建与安排为使该通道的形成实质上不受输出节点的电气状态的影响。该控制结构包括置于该纳米管通道元件的相对两侧的一个控制电极和一个释放电极。该控制与释放可用来形成一差动输入，或者如果该装置被适当构建，则以非易失性方式操作该电路。该开关元件可被安排在具有差动输入和/或取决于该构建的非易失性行为的逻辑电路和闩锁中。

26. 发明公开

CN1868002A 具有多个控件的基于纳米管的开关元件及由其制成的电路失效
公开(公告)号：CN1868002A
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200480029801.5
申请日：2004-08-12
申请人：南泰若股份有限公司
发明人： C·L·伯丁 , T·吕克斯 , B·M·塞加尔
IPC分类号： G11C11/00 , G11C11/50 , G11C11/21 , G11C23/00 , H01L29/772 , B82B1/00 , B81B3/00
CPC分类号： H01L29/0665 , B82Y10/00 , G11C13/025 , G11C23/00 , G11C2213/16 , G11C2213/17 , H01H1/0094 , H01H1/027 , H01H2001/0005 , H01L27/28 , H01L29/0673 , H01L29/73 , H01L29/78 , H01L51/0048 , H01L51/0508 , Y10S977/762 , Y10S977/932 , Y10S977/94 , Y10T29/49002
摘要：本发明是关于具有多个控件的基于纳米管的开关元件以及由其制成的电路。开关元件包括一输入节点、一输出节点、以及具有至少一个导电纳米管的纳米管通道元件。一控制结构相对于该纳米管通道放置，以可控地在输入节点及输出节点之间形成与解除一导电通道。该输出节点被构建与安排为使该通道的形成实质上不受输出节点的电气状态的影响。该控制结构包括置于该纳米管通道元件的相对两侧的一个控制电极和一个释放电极。该控制与释放可用来形成一差动输入，或者如果该装置被适当构建，则以非易失性方式操作该电路。该开关元件可被安排在具有差动输入和/或取决于该构建的非易失性行为的逻辑电路和闩锁中。

27. 发明公开

CN1556996A 纳米管膜和制品失效
公开(公告)号：CN1556996A
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN02818506.4
申请日：2002-07-25
申请人：南泰若股份有限公司
发明人： T·鲁基斯 , B·M·西加尔
IPC分类号： G11C11/00 , G01B5/28
CPC分类号： G11C23/00 , B82Y10/00 , G11C13/025 , G11C2213/16 , G11C2213/77 , G11C2213/81 , H01H1/0094 , H01L21/76838 , H01L27/10 , H01L27/1203 , H01L29/413 , H01L51/0048 , H01L51/444 , H01L2221/1094 , Y10S977/75 , Y10S977/778 , Y10S977/843 , Y10S977/857 , Y10S977/888
摘要：揭示了纳米管膜和制品及其制造方法。一种导电制品(1800)包括纳米管段的聚集，其中纳米管段(1802)和其它纳米管段(101)相互接触，形成沿着制品的许多导电通路。这些纳米管段(1802)可以是单壁的碳纳米管，也可以是多壁的碳纳米管。不同的段可以有不同的长度，同时其长度还可以短于制品的长度。如此形成的制品可沉积在基片上，并可在所述制品内部形成纳米管的导电网络。

28. 发明专利

JP2015164086A データストレージセル及びメモリ構成审中-公开
标题翻译：数据存储单元和存储器布置
公开(公告)号：JP2015164086A
公开(公告)日：2015-09-10
申请号：JP2014233717
申请日：2014-11-18
申请人：アイメック・ヴェーゼットウェー , IMEC VZW
发明人：ステファン・コーゼマンス
IPC分类号： B82Y10/00 , G11C11/50
CPC分类号： G11C23/00 , G11C11/54 , H01H1/0094
摘要：【課題】高速リードアクセスを伴うメモリ素子、それらメモリセルを含むメモリ構成、及び、それらメモリ素子を読み出し書き込むバイアススキームを提供する。【解決手段】データを格納するデータストレージセルは、第1のアンカーに固定された第1の移動自在ビーム101と、第1のコントロールゲート及び第2のコントロールゲートと、第1の移動自在ビームが対向して配置され得る第1のアウトプットノードとを含む、第1のナノ電気機械スイッチを含む。第2のアンカーに固定された第2の移動自在ビームと、第3のコントロールゲート及び第4のコントロールゲートとを含む。第2の移動自在ビームは第1のアウトプットノードに対向して配置される。第1のナノ電気機械スイッチ及び第2のナノ電気機械スイッチは、データストレージセルの第1の状態若しくは第2の状態を選択するように構成される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供具有快速读取访问的存储元件，包括这种存储单元的存储器装置以及用于读取和写入这种存储元件的偏置方案。解决方案：用于存储数据的数据存储单元包括第一纳米机电开关，其包括固定到第一锚，第一控制栅极和第二控制栅极的第一可移动梁101，第一可移动梁可定位在其上的第一输出节点。数据存储单元还包括第二纳米机电开关，其包括固定到第二锚定器，第三控制栅极和第四控制栅极的第二可移动梁。第二可移动光束被定位成抵靠第一输出节点。第一纳米机电开关和第二纳米机电开关被配置用于选择数据存储单元的第一或第二状态。

29. 发明专利

JP5068921B2 Nanotube film and the product 有权
公开(公告)号：JP5068921B2
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：JP2003526816
申请日：2002-07-25
申请人：ナンテロ,インク.
发明人：シーガル，ブレント，エム． , ルイクス，トーマス
IPC分类号： B82B1/00 , H01L21/768 , B81B3/00 , G11C13/02 , G11C23/00 , H01L21/3205 , H01L21/3213 , H01L23/52 , H01L27/10 , H01L27/12 , H01L27/24
CPC分类号： G11C23/00 , B82Y10/00 , G11C13/025 , G11C2213/16 , G11C2213/77 , G11C2213/81 , H01H1/0094 , H01L21/76838 , H01L27/10 , H01L27/1203 , H01L29/413 , H01L51/0048 , H01L51/444 , H01L2221/1094 , Y10S977/75 , Y10S977/778 , Y10S977/843 , Y10S977/857 , Y10S977/888
摘要： Nanotube films and articles and methods of making the same are disclosed. A conductive article includes an aggregate of nanotube segments in which the nanotube segments contact other nanotube segments to define a plurality of conductive pathways along the article. The nanotube segments may be single walled carbon nanotubes, or multi-walled carbon nanotubes. The various segments may have different lengths and may include segments having a length shorter than the length of the article. The articles so formed may be disposed on substrates, and may form an electrical network of nanotubes within the article itself. Conductive articles may be made on a substrate by forming a nanotube fabric on the substrate, and defining a pattern within the fabric in which the pattern corresponds to the conductive article. The nanotube fabric may be formed by growing the nanotube fabric on the substrate using a catalyst, for example, in which the catalyst is a gas phase catalyst, or in which the catalyst is a metallic gas phase catalyst. The nanotube fabric may be formed by depositing a solution of suspended nanotubes on the substrate. The deposited solution may be spun to create a spin-coating of the solution. The solution may be deposited by dipping the substrate into the solution. The nanotube fabric is formed by spraying an aerosol having nanotubes onto a surface of the substrate.

30. 发明专利

JP2005521196A Nanotube relay equipment 审中-公开
公开(公告)号：JP2005521196A
公开(公告)日：2005-07-14
申请号：JP2003576325
申请日：2002-05-02
申请人：シャルマーズ・インテレクチャル・プロパティ・ライツ・アーベー
发明人：ジャリー・キナレット , スザンヌ・ヴィフェルス , トーマス・ノード
IPC分类号： B82B1/00 , B81B3/00 , G11C11/56 , G11C13/02 , G11C23/00 , H01H59/00
CPC分类号： G11C13/025 , B82Y10/00 , B82Y15/00 , G11C11/56 , G11C23/00 , G11C2213/16 , G11C2213/17 , H01H1/0094 , Y10S977/742 , Y10S977/94
摘要：本発明は、長軸方向及び横方向エクステンションを有するナノチューブと、ナノチューブの少なくとも第１の部分を支持する構造と、横方向エクステンションによって規定される第１の法区及び／又はにおいてナノチューブに力を付与する第１の手段とを備えたナノチューブ装置（１００，６００）に関するものである。ナノチューブの少なくとも第２の部分が前記構造の支持を越えて突出するものであって、前記力があるレベルを超えるときに、ナノチューブの第２の部分が横方向エクステンションの方向に曲がり、それによって、第１の電気回路を閉じる。好適には、ナノチューブに前記力を付与する第１の手段が電気的手段であり、力がその手段に電圧を印加することによって形成される。

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