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21. 发明授权

EP2013482B1 ROTOREN ODER STATOREN EINER TURBOMOLEKULARPUMPE 有权
标题翻译：转子或定子涡轮分子泵
公开(公告)号：EP2013482B1
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：EP07728626.8
申请日：2007-04-27
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH , Otto Fuchs KG
发明人： HÖLZER, Rainer , FROITZHEIM, Michael , ETSCHENBERG, Lars , ROTH, Ishan , FISCHER, Gernot , SAUER, Dieter , TERLINDE, Gregor
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/02 , C22C21/14 , C22F1/057
CPC分类号： F04D19/042 , C22C21/14 , F04D29/023 , F04D29/321 , F05D2300/173 , Y10T29/49325

22. 发明公开

EP2440789A1 VAKUUMPUMPE 审中-公开
公开(公告)号：EP2440789A1
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：EP10722707.6
申请日：2010-06-07
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
发明人： HENRY, Markus , HÖLZER, Rainer , SCHNACKE, Ernst
IPC分类号： F04D27/02 , F04D29/58 , F04D29/058 , F04D29/056 , F04D19/04
CPC分类号： F04D29/058 , F04D19/042 , F04D27/02 , F04D27/0292 , F04D29/056 , F04D29/584 , F16C32/0408 , F16C2360/45
摘要： The invention relates to a vacuum pump, such as a turbomolecular pump, comprising a pump element (14), which is carried by a shaft (12). The shaft (12) is supported in a pump housing (10) by means of a first bearing arrangement (24) and a second bearing arrangement (26). In order to compensate different thermal expansions of the shaft (12) and of the pump housing (10) occurring during operation, the first bearing arrangement (24) comprises a compensating element (32) for at least partially compensating axial movements.
摘要翻译：本发明涉及一种真空泵，例如涡轮分子泵，其包括由轴（12）承载的泵元件（14）。轴（12）通过第一轴承装置（24）和第二轴承装置（26）支承在泵壳体（10）中。为了补偿在运行期间出现的轴（12）和泵壳体（10）的不同热膨胀，第一轴承装置（24）包括用于至少部分地补偿轴向运动的补偿元件（32）。

23. 发明公开

EP2310632A1 VERWENDUNG EINES WÄLZLAGERS ZUR LAGERUNG ROTIERENDER BAUTEILE IN VAKUUMEINRICHTUNGEN SOWIE VAKUUMEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：使用滚动轴承旋转部件真空器件和真空设备存储
公开(公告)号：EP2310632A1
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：EP09780783.8
申请日：2009-07-17
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
发明人： ADAMIETZ, Ralf , HÖLZER, Rainer , HENRY, Markus
IPC分类号： F01C21/02 , F04C25/02 , F04D17/16 , F04D19/04 , F04D29/059
CPC分类号： F04D29/059 , F01C21/02 , F04C25/02 , F04D17/168 , F04D19/042 , F16C33/782 , F16C33/7846 , F16C33/80 , F16C2240/46 , F16C2300/62 , F16C2360/45
摘要： A rolling-element bearing for bearing rotating components in vacuum devices comprises a plurality of rolling elements (10) arranged between bearing elements (12, 14). A bearing compartment (26) is for example closed by sealing elements (22, 24) on both sides. Said sealing elements (22, 24) have a minor sealing gap (s). The rolling-elements bearing according to the invention are used in vacuum sections in which a pressure of less than 10
-3 mbar prevails.
摘要翻译：一种滚动元件轴承在真空设备的轴承的旋转部件包括支承元件（12,14）之间布置的滚动元件（10）的复数。轴承隔室（26）是例如通过双面密封元件（22，24）封闭。密封元件（22，24）有一个轻微的密封间隙（S）。所述滚动元件轴承在真空部分在其中不到10-3毫巴的压力下盛行使用。

24. 发明公开

EP2181265A1 TURBOMOLEKULARPUMPE 审中-公开
公开(公告)号：EP2181265A1
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：EP08803092.9
申请日：2008-08-19
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
发明人： HÖLZER, Rainer
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/66 , F04D29/059 , F04D29/056
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/0563 , F04D29/059 , F04D29/668 , F16C27/066 , F16C2360/45
摘要： The invention relates to a turbomolecular pump (10) having a rotor (18) which is mounted on a housing (12) by means of at least one rolling bearing (16). The rolling bearing (16) has a non-rotating bearing shell (20) and a rotating bearing shell (22). The non-rotating bearing shell (20) is mounted on the housing (12) by means of an elastic vibration ring (14). The vibration ring (14) is of anisotropic design, such that the spring stiffness is non-uniform over the periphery.
摘要翻译：本发明涉及一种涡轮分子泵（10），其具有通过至少一个滚动轴承（16）安装在壳体（12）上的转子（18）。滚动轴承（16）具有不旋转的轴承壳体（20）和旋转的轴承壳体（22）。非旋转轴承壳（20）通过弹性振动环（14）安装在壳体（12）上。振动环（14）具有各向异性设计，使得弹簧刚度在外围上不均匀。

25. 发明公开

EP2013483A2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ROTOREN ODER STATOREN EINER TURBOMOLEKULARPUMPE 有权
标题翻译：用于生产转子或定子涡轮分子泵
公开(公告)号：EP2013483A2
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：EP07728629.2
申请日：2007-04-27
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
发明人： HÖLZER, Rainer , FROITZHEIM, Michael , ETSCHENBERG, Lars , ROTH, Ishan
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/02 , C22C21/14 , C22F1/057
CPC分类号： F04D19/042 , C22C21/14 , F04D29/023 , F04D29/321 , F05D2300/173 , Y10T29/49325
摘要： The invention relates to a method for producing the rotors or stators of a turbomolecular pump having rotor blades that are produced from a special aluminum alloy.

26. 发明公开

EP3069026A1 ANTRIEBS- UND STEUEREINRICHTUNG FÜR EINE VAKUUMPUMPE, VAKUUMPUMPE SOWIE VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER STEUERPLATINE FÜR EINE VAKUUMPUMPE 有权转让
标题翻译：驱动和控制装置：用于生产管制局真空泵真空泵，真空泵和方法
公开(公告)号：EP3069026A1
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：EP14796105.6
申请日：2014-11-10
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
发明人： LIESSMANN, Markus , HÖLZER, Rainer , STOLLE, Robert , ANASTASSIADIS, Ioannis
IPC分类号： F04C18/02 , F04C23/00 , F04C25/02
CPC分类号： F04D25/0693 , F04C23/008 , F04C25/02 , F04C2240/803 , F04C2240/808 , F04D19/04 , F04D25/068 , F04D29/083 , F04D29/522 , F04D29/644
摘要： In a separating wall (16), which separates a vacuum region (18) from a region (20) under atmospheric pressure, pins (24) are provided as a current lead-through. The pins (24) are cast in, for example, glass (26). According to the invention, a plug-in contact (28) is arranged on a separate carrier plate (30) in order to prevent force or stresses, which can occur in particular because of tolerances, from being introduced into the glass. The carrier plate (30) is connected to the control device (12) by means of a flexible cable (32).

27. 发明公开

EP2556264A1 VAKUUMLAGERELEMENT 审中-公开
标题翻译：真空存储元件
公开(公告)号：EP2556264A1
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：EP11712849.6
申请日：2011-04-06
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
发明人： HÖLZER, Rainer , STÜBER, Hans-Günther , BEYER, Christian
IPC分类号： F16C33/38 , F16C33/66
CPC分类号： F16C33/6614 , F16C19/06 , F16C33/3837 , F16C33/3887 , F16C2300/62 , F16C2360/45
摘要： The service life of turbomolecular pumps comprising rotors that are mounted on mechanical rolling bearings, is frequently limited by the rolling bearings. In order to increase the service life of the rolling bearings, according to the invention a bearing cage (12) is provided, which, in addition to the openings (14) that are used to receive rolling elements, comprises recesses (18) for providing lubricant. The recesses are open at least partially in the direction of the rolling element opening.

28. 发明申请

WO2004077005A1 TESTGASLECKSUCHGERÄT 审中-公开
标题翻译：测试气体泄漏检测
公开(公告)号：WO2004077005A1
公开(公告)日：2004-09-10
申请号：PCT/EP2003/014589
申请日：2003-12-19
申请人： LEYBOLD VAKUUM GMBH , BEYER, Christian , BOY, Hermann , HÖLZER, Rainer , HOLSTEIN, Günter
发明人： BEYER, Christian , BOY, Hermann , HÖLZER, Rainer , HOLSTEIN, Günter
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/205 , F04D19/04 , F04D27/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Testgaslecksuchgerät (1) mit einem Anschluss (27) für einen Prüfling, einen Schnüffler oder eine Lecksuchkammer, mit einer Hochvakuumpumpe (2), mit einem saugseitig an die Hochvakuumpumpe angeschlossenen Testgasdetektor (5) und mit einer sich an den Anschluss (27) des Lecksuchgerätes anschliessenden Testgasleitung (28), die über Leitungsabschnitte (31, 32, 35) und Ventile (33, 34, 36) mit mindestens einer Zwischenstufe der Hochvakuumpumpe (2) sowie mit dem Vorvakuumbereich der Hochvakuumpumpe (2) in Verbindung steht; um den Aufbau zu vereinfachen und den Montageaufwand bei Anpassungen zu reduzieren, wird vorgeschlagen, dass Bestandteil des Lecksuchgerätes (1) ein Gehäuse (9) ist, in dem zumindest ein Teil der Leitungen und Ventile sowie die Hochvakuumpumpe (2) integriert sind, und dass Bestandteil der Hochvakuumpumpe ein demontierbarer Einschub (51) ist, der eine äussere Hüllkonstruktion (53) mit Durchbrechungen (58, 61) aufweist, und der sich im betriebsfertigen Zustand des Lecksuchgerätes (1) in einer im Gehäuse (9) vorgesehenen Aufnahmeöffnung (52) befindet.
摘要翻译：本发明涉及一种测试气体泄漏检测器（1）与被测试用于设备的连接（27），一个嗅探器或泄漏检测室用高真空泵（2），具有连接到高真空泵测试气体检测器的吸入侧（5）和（a到终端 27）的泄漏检测器随后的测试气体管线（28），其经由线部31，32，35）和阀（33连接（34，36）与高真空泵中的至少一个中间级（2），并用高真空泵的真空预备室（2） ; 以简化结构，并减少调整组件支出，所以建议的泄漏检测器的那部分（1）是一个壳体（9），其中至少所述管路和阀，并且在高真空泵的部分（2）被集成，并且高真空泵的一部分是可移动的刀片（51）具有外Hüllkonstruktion（53）具有开口（58，61），和在泄漏检测器的操作状态（1）设置在壳体（9）接收开口（52）定位。

29. 发明申请

WO2005019654A1 KOMBINIERTER ANTRIEB MIT LAGERUNG 审中-公开
标题翻译：利用结合驱动器存储
公开(公告)号：WO2005019654A1
公开(公告)日：2005-03-03
申请号：PCT/EP2004/008320
申请日：2004-07-24
申请人： LEYBOLD VACUUM GMBH , VOß, Gerhard , HÖLZER, Rainer
发明人： VOß, Gerhard , HÖLZER, Rainer
IPC分类号： F04D13/06
CPC分类号： F04D29/0563 , F04D19/042 , F04D25/0606 , F04D29/058 , F16C32/0493 , F16C2360/44 , F16C2360/45
摘要： Der Antrieb weist einen Stator (11) und einen Rotor (12) auf. Der Rotor enthält eine Umfassung (14), die einen von dem Stator (11) abstehenden Steg (26) umgreift. Permanentmagnete (18,19,20) des Rotors wirken mit Elektromagneten (28,29,30) des Stators (11) zusammen, um den Pumpenantrieb zu bewirken und gleichzeitig eine Magnetlagerung zu bilden.
摘要翻译：驱动具有定子（11）和转子（12）。该转子包括一个外壳（14）包围所述定子（11）网络（26）的伸出一个。转子的永久磁铁（18,19,20）与所述定子（11）的电磁体（28,29,30）配合以使所述泵齿轮，并在同一时间，以形成一个磁轴承。

30. 发明申请

WO2004106739A1 VAKUUM-KOLBENPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空活塞泵
公开(公告)号：WO2004106739A1
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：PCT/EP2004/005651
申请日：2004-05-26
申请人： LEYBOLD VAKUUM GMBH , LANGER, Peter , HÖLZER, Rainer
发明人： LANGER, Peter , HÖLZER, Rainer
IPC分类号： F04B25/02
CPC分类号： F04B25/005 , F04B25/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuum-Kolbenpumpe (10) mit einem einzigen Hubkörper (14), der an seinen beiden Längsenden jeweils einen Kolben (16,18) aufweist, der jeweils in einem Zylinder (20,22) oszilliert und mit diesen Zylindern (20,22) eine erste und eine zweite Kompressionsstufe (11,12) bildet. Die beiden Kompressionsstufen (11,12) sind durch eine Gas-Verbindungsleitung miteinander verbunden, wobei die erste Kompressionsstufe (11) der zweiten Kompressionsstufe (12) in Reihe vorgeschaltet ist. Der von dem Kolben (16) und dem Zylinder (20) der ersten Kompressionsstufe (11) gebildete Kompressionsraum (24) ist größer als der von dem Kolben (18) und dem Zylinder (22) der zweiten Kompressionsstufe (12) gebildete Kompressionsraum (26) der zweiten Kompressionsstufe (12). Hierdurch wird die Überkompression in der zweiten Kompressionsstufe beim Beginn der Evakuierung eines Rezipienten reduziert. Ferner wird die Querschnittsfläche des Spaltes zwischen dem Kolben (18) und dem Zylinder (22) der zweiten Kompressionsstufe reduziert, wodurch die Pumpwirkung der zweiten Kompressionsstufe verbessert wird.
摘要翻译：本发明涉及一种真空活塞泵（10）具有单个提升体（14），其每个都具有在其两个纵向端部的活塞（16,18），其中在每种情况下一个气缸（20,22），并与这些气缸振荡，（20,22）形成第一和第二压缩级（11,12）。在两个压缩级（11,12）是由一个气体连接线，其中所述第二压缩级（12）的所述第一压缩级（11）被连接在串联连接。在由活塞（16）和第一压缩级的气缸（20）（11）的压缩形成的腔室（24）是比活塞（18）和汽缸（22）中的第二压缩级（12）形成的压缩室的更大（26 ）所述第二压缩级（12）的。由此，过压缩在第二压缩级在接受者的排出开始减小。此外，所述活塞（18）和所述第二压缩级的气缸（22）之间的间隙的截面面积减小，从而使第二压缩级的泵送动作得到改善。

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