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21. 发明授权

EP2898318B1 CAPTEUR DE FLUX THERMIQUE ET CAPTEUR DE GAZ COMPORTANT AU MOINS UN TEL CAPTEUR 有权
公开(公告)号：EP2898318B1
公开(公告)日：2020-07-22
申请号：EP13762520.8
申请日：2013-09-17
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： RUELLAN, Jérémie , DURAFFOURG, Laurent , ARCAMONE, Julien , ANDREUCCI, Philippe , COLINET, Eric
IPC分类号： G01N27/18 , G01N30/66 , G01L21/12 , G01N33/00

22. 发明公开

EP3647738A1 RÉSONATEUR OPTO-MÉCANIQUE À GUIDE D'ONDE SUB-LONGUEUR D'ONDE 有权
公开(公告)号：EP3647738A1
公开(公告)日：2020-05-06
申请号：EP19205247.0
申请日：2019-10-25
申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
发明人： TAUREL, Boris , DURAFFOURG, Laurent , LABEYE, Pierre
IPC分类号： G01D5/353 , B82Y20/00 , B82Y10/00 , G01P1/00 , G01C19/58 , G01D5/28 , G01P15/093
摘要： Résonateur opto-mécanique (100), comprenant :
- un guide d'onde (110), constitué d'une pluralité de premiers barreaux espacés les uns des autres ; et
- deux miroirs (120) disposés face à face, optiquement réfléchissants sur une partie au moins d'une plage de longueurs d'onde de guidage du guide d'onde ;
Le guide d'onde (110) s'étend entre les deux miroirs (120), et forme avec ces derniers une cavité optiquement résonante (160). Au moins une partie du guide d'onde (110) est maintenue suspendue au-dessus d'un substrat, par au moins un élément mécanique déformable.
Le résonateur opto-mécanique (100) selon l'invention offre des taux de couplage optique bien supérieurs à ceux des dispositifs de l'art antérieur.

23. 发明授权

EP3136068B1 CAPTEUR DE FLUX THERMIQUE METTANT EN OEUVRE AU MOINS UN RESONATEUR OPTIQUE, CAPTEUR DE GAZ ET JAUGE PIRANI COMPORTANT AU MOINS UN TEL CAPTEUR 有权
公开(公告)号：EP3136068B1
公开(公告)日：2019-07-17
申请号：EP16185772.7
申请日：2016-08-25
申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
发明人： DURAFFOURG, Laurent
IPC分类号： G01K11/00 , G01K17/00 , G01N21/77 , G02B6/293 , G01L9/00

24. 发明公开

EP3425344A1 CAPTEUR DE DEPLACEMENT AVEC MICRO-RÉSONATEUR EN ANNEAU SEGMENTÉ 有权
公开(公告)号：EP3425344A1
公开(公告)日：2019-01-09
申请号：EP18181241.3
申请日：2018-07-02
申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
发明人： TAUREL, Boris , BOUTAMI, Salim , DURAFFOURG, Laurent
IPC分类号： G01D5/353 , G02B6/293
摘要： L'invention concerne un capteur optique (1000) comportant :
- un dispositif optique (100) comprenant un micro-résonateur (120), agencé pour guider un faisceau lumineux selon un chemin optique en boucle fermée, et un guide d'onde d'injection et/ou extraction (110), couplé optiquement au micro-résonateur;
- un photo-détecteur (150), disposé en sortie du guide d'onde d'injection et/ou extraction ; et
- un dispositif d'analyse (160), recevant un signal fourni par le photo-détecteur, et en déduisant une information relative à un déplacement.
Selon l'invention, le micro-résonateur est constitué d'une pluralité de guides d'onde élémentaires (121) espacés les uns des autres, et disposés les uns à la suite des autres selon un agencement en forme de boucle.
Le capteur optique selon l'invention offre une sensibilité accrue à la mesure de déplacements nanométriques.

25. 发明公开

EP3424874A1 DISPOSITIF CAPTEUR A BASE DE NANOFILS AVEC MASSE MOBILE 有权
公开(公告)号：EP3424874A1
公开(公告)日：2019-01-09
申请号：EP18187837.2
申请日：2010-02-24
申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
发明人： DURAFFOURG, Laurent , ANDREUCCI, Philippe , ERNST, Thomas , HENTZ, Sébastien
IPC分类号： B81B3/00
摘要： L'invention concerne un dispositif capteur, de type à nanofil, comportant :
- au moins un nanofil (33, 33', 35, 35'), comportant une première zone (2), conductrice, et une deuxième zone (4, 4'), en matériau isolant, cette deuxième zone n'occupant pas toute l'épaisseur du nanofil, et un courant pouvant circuler dans ce dernier depuis l'une de ses extrémités à l'autre ;
- au moins une masse (30, 37) mobile fixée à l'une des extrémités du nanofil.

26. 发明公开

EP2898318A1 CAPTEUR DE FLUX THERMIQUE, CAPTEUR DE GAZ COMPORTANT AU MOINS UN TEL CAPTEUR ET JAUGE PIRANI COMPORTANT AU MOINS UN TEL CAPTEUR 有权
标题翻译：热流量传感器，具有至少一个这样的传感器和皮拉尼压力计与至少一个这样的传感器气体传感器
公开(公告)号：EP2898318A1
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：EP13762520.8
申请日：2013-09-17
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： RUELLAN, Jérémie , DURAFFOURG, Laurent , ARCAMONE, Julien , ANDREUCCI, Philippe , COLINET, Eric
IPC分类号： G01N27/18 , G01N30/66
摘要： A thermal flow sensor comprising at least one first suspended element (2) suspended relative to a support, said first suspended element (2) being made from an electrically conductive material, first polarisation means (6) of said suspended element (2) and first measuring means (8) for measuring the variation in electrical voltage at the terminals of the suspended element (2), said first suspended element (2) being formed by a nanowire and said first polarisation means (6) being formed from an alternating current source of which the intensity heats the first suspended element (2) by Joule effect. Said sensor can be in the form of a plurality of suspended nanowires and can be used as a gas sensor based on the principle of the thermal conductivity measurement of said gas.
摘要翻译：热式流量传感器，其包括至少一个第一元件（2）悬浮相对于一个支撑件，所述第一悬挂元件（2）是导电材料的，第一装置（6），用于偏置所述悬浮元件（2）和第一装置（8），用于测量所述电电压的变化在悬浮元件的端子（2），所述第一悬挂元件（2）由纳米线形成，所述第一偏压装置（6）通过在交流电源所形成的哪个的强度由焦耳效应提供所述第一悬挂元件（2）的加热。

27. 发明公开

EP2619533A1 BOLOMETRE A DETECTION FREQUENTIELLE 审中-公开
标题翻译：与频率检测辐射热测量计
公开(公告)号：EP2619533A1
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：EP11761354.7
申请日：2011-09-23
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： DURAFFOURG, Laurent , ANDREUCCI, Philippe
IPC分类号： G01J5/40 , G01J5/44 , G01J5/02
CPC分类号： G01J5/28 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/40 , G01J5/44 , H01L31/18
摘要： The invention relates to a bolometer (2) comprising at least one electromechanical microsystem or nanosystem, said microsystem or nanosystem comprising a mounting (8) and a movable body (4) suspended above the mounting (8) from beams (6), said movable body forming an optical flow (F) absorber, actuating electrodes (12) for vibrating the movable body (4), arranged laterally relative to the movable body, and electrodes (14) for detecting the variation in the frequency of the vibration of said movable body (4), arranged laterally relative to the movable body (4).

29. 发明公开

EP3486603A1 SYSTÈME DE TRANSDUCTION D'UN DÉPLACEMENT EN UN DÉPHASAGE OPTIQUE 有权
公开(公告)号：EP3486603A1
公开(公告)日：2019-05-22
申请号：EP18207033.4
申请日：2018-11-19
申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
发明人： TAUREL, Boris , DURAFFOURG, Laurent , LABEYE, Pierre
IPC分类号： G01B9/02 , G01D5/26 , G01D5/353 , G02F1/01 , G02B26/06
摘要： L'invention concerne un système opto-mécanique (100) comportant :
- une structure de guidage (10), pour guider un faisceau lumineux (F) ; et
- deux tronçons de guide d'onde (21).
Selon l'invention, chaque structure de guidage (10) comprend des poutres (11) formant ensemble deux peignes (11A, 11B) partiellement imbriqués l'un dans l'autre.
Au moins une poutre (11) est mobile en translation, selon un axe orthogonal à l'axe d'allongement de la structure de guidage.
L'invention permet de traduire un déplacement en un déphasage optique, tout en limitant des effets additionnels sur l'intensité.

30. 发明公开

EP3147673A1 CAPTEUR PHYSIQUE OPTO-MECANIQUE A SENSIBILITE AMELIOREE 有权
标题翻译：生物识别器PHYSIKALISCHER传感器MIT VERBESSERTER EMPFINDLICHKEIT
公开(公告)号：EP3147673A1
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：EP16190342.2
申请日：2016-09-23
申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
发明人： DURAFFOURG, Laurent
IPC分类号： G01P15/093 , G01D5/353 , G01L1/24 , G01H13/00
CPC分类号： G01P15/093 , G01D5/35306 , G01H9/00 , G01H13/00 , G01L1/242 , G01P15/0802
摘要： Capteur physique comportant un substrat (4), une masse mobile (8), ladite masse (8) étant apte à être mise en mouvement par une force extérieure, un premier résonateur optique (16.1), un guide d'onde lumineuse (18.1) de mesure et un guide d'onde lumineuse de détection, une plaque rigide (10) aptes à modifier la fréquence de résonance optique dudit résonateur optique (16.1) par rapprochement et éloignement de celui-ci, un bras de levier (6) articulé en rotation sur le substrat (4) par une liaison pivot (12) et la masse (8) étant solidaire en mouvement des moyens de transmission (6), la plaque rigide (10) étant disposée par rapport à la masse (8) et à la liaison pivot (12) de sorte que le bras de levier (6) transmette à la plaque rigide (10), de manière amplifiée, le déplacement de la masse (8).
摘要翻译：一种物理传感器，包括基板（4），可移动质量块（8），所述质量块（8）能够通过外力移动;第一光学谐振器（16.1），用于测量的光波导（18.1）用于检测的光波导，刚性板（10），其能够通过移动更近和更远的方式来改变所述光学谐振器（16.1）的光学共振频率;可旋转地铰接到基板（4）的杠杆臂（6））通过枢转连接（12）和所述质量块（8）与所述传递装置（6）可移动地整体，所述刚性板（10）相对于所述质量块（8）和所述枢转连接件（12）设置成使得杠杆臂（6）以放大的方式将物质（8）的位移传递到刚性板（10）。

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