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    • 23. 发明授权
    • 연속적으로 패턴화된 구조를 가지는 3차원 다성분 나노구조체 및 그 제조방법
    • 具有连续图案化结构的三维多组分纳米结构及其制备方法
    • KR101356800B1
    • 2014-01-28
    • KR1020110121435
    • 2011-11-21
    • 한국과학기술원
    • 정희태전환진정현수
    • B82B3/00B82B1/00B82Y40/00
    • B81C1/00111B82Y40/00
    • 본 발명은 연속적으로 패턴화된 구조를 가지는 3차원 다성분 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 물리적 이온 식각공정을 통한 이온 봄바드먼트(ion bombardment) 현상을 이용하여 목적물질-고분자 복합구조체를 형성한 다음, 형성된 목적물질-고분자 복합구조체의 고분자만을 제거하는 일련의 과정을 반복적으로 수행함으로써 제조되는, 연속적으로 패턴화된 구조를 가지는 3차원 다성분 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
      본 발명에 따르면, 물리적 이온 식각을 통한 이온 봄바드먼트 현상을 적용하여 제조됨으로써 간단한 공정과 저렴한 비용으로 높은 종횡비와 균일성을 가지는 3차원 나노구조체를 제조할 수 있고, 고분자 구조체의 패턴 및 형상을 반복적으로 조절함으로써 연속적으로 패턴화된 다양한 형상의 구조를 가지는 구조체의 제조가 용이한 동시에 대면적으로 두께가 10nm 이하인 균일한 미세 나노구조를 형성할 수 있어 나노전자소자, 광학소자, 바이오소자, 에너지소자 등과 같은 미래의 나노소자의 높은 성능을 구현할 수 있는 효과가 있다.
    • 本发明涉及具有连续图案化结构的三维多组分纳米结构及其制备方法,更具体地涉及具有连续图案化结构的三维多组分纳米结构,其通过反复进行一系列以下步骤制备 :通过物理离子蚀刻使用离子轰击现象形成靶材料 - 聚合物复合结构; 并且仅除去所形成的靶材料 - 聚合物复合结构体的聚合物及其制备方法。
    • 24. 发明公开
    • 나노채널 구조체를 구비하는 센서 및 그 제조방법
    • 具有纳米通道结构的传感器及其制备方法
    • KR1020130066138A
    • 2013-06-20
    • KR1020110132845
    • 2011-12-12
    • 한국과학기술원
    • 정희태유해욱전환진
    • B81B1/00B81C1/00G01N33/53
    • PURPOSE: A sensor with a nanochannel structure and a manufacturing method thereof are provided to manufacture a channel for the sensor by applying an ion bombardment phenomenon caused by physical ion etching, thereby manufacturing the ultra-fine nanochannel structure having various line widths and shapes at low costs through a simple process simultaneously with a line width of a maximum 10nm level. CONSTITUTION: A manufacturing method of a sensor with a nanochannel structure is as follows. A target material layer and a polymer layer are successively formed on a substrate(10). A lithographic process is performed on the polymer layer so that a patterned polymer structure is formed. The target material layer is ion-etched so that a target material-polymer composite structure(25) in which the ion-etched target material is attached on the outer circumference of the polymer structure. A polymer of the target material-polymer composite structure is removed so that the nanochannel structure is manufactured on the substrate.
    • 目的:提供具有纳米通道结构的传感器及其制造方法,通过施加由物理离子蚀刻引起的离子轰击现象来制造用于传感器的通道,从而制造具有低线宽和形状的超细纳米通道结构 成本通过简单的过程同时线宽最大为10nm级。 构成:具有纳米通道结构的传感器的制造方法如下。 目标材料层和聚合物层依次形成在基板(10)上。 在聚合物层上进行平版印刷工艺,从而形成图案化的聚合物结构。 对靶材料层进行离子蚀刻,使得在聚合物结构的外周附着有离子蚀刻的目标材料的靶材料 - 聚合物复合结构(25)。 去除目标材料 - 聚合物复合结构的聚合物,使得在基底上制造纳米通道结构。
    • 25. 发明授权
    • 나노구조 패턴이 형성된 투명전극 및 그 제조방법
    • 透明电极形成纳米结构图案及其制备方法
    • KR101231898B1
    • 2013-02-08
    • KR1020110059506
    • 2011-06-20
    • 한국과학기술원
    • 정희태정현수전환진김윤호
    • H01B13/00H01B5/14
    • G02F1/13439B82Y30/00G02F1/13378G02F2202/36
    • 본 발명은 나노구조 패턴이 형성된 투명전극 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 물리적 이온 식각공정을 통한 이온 봄바드먼트(ion bombardment) 현상을 이용하여 투명전극상에 고 분해능(high resolution)과 고 종횡비(high aspcet ratio)를 가지는 나노구조 패턴을 형성시킴으로써, 투명전극의 전도성 및 광투과성의 저하 없이 우수한 액정 배향특성을 나타내는 나노구조 패턴이 형성된 투명전극 및 그 제조방법에 관한 것이다.
      본 발명에 따른 나노구조 패턴이 형성된 투명전극의 제조방법은 물리적 이온 식각을 통한 이온 봄바드먼트 현상을 적용하여 제조됨으로써 간단한 공정과 저렴한 비용으로 높은 다양한 종횡비와 균일성을 가지는 액정의 프리틸트가 형성된 투명전극을 제조할 수 있고, 투명전극으로 직접 액정을 배향시킴으로써 광 투과성이 높을 뿐만 아니라, 저항값 또한 낮아 액정 배향 특성 및 안정성을 향상시켜 제품 성능을 개선할 수 있을 뿐만 아니라, 본 발명에 따른 투명전극이 형성된 두 개의 기판의 배열로 액정의 배향을 원하는 방향으로 정밀하게 조절할 수 있어 다양한 디스플레이 소자에 응용할 수 있다.
    • 26. 发明公开
    • 나노구조 패턴이 형성된 투명전극 및 그 제조방법
    • 透明电极形成的纳米结构图案及其制备方法
    • KR1020120139948A
    • 2012-12-28
    • KR1020110059506
    • 2011-06-20
    • 한국과학기술원
    • 정희태정현수전환진김윤호
    • H01B13/00H01B5/14
    • G02F1/13439B82Y30/00G02F1/13378G02F2202/36
    • PURPOSE: A transparent electrode, on which a nanostructure pattern is formed, and a manufacturing method thereof are provided to improve optical permeability using an ion bombardment phenomenon through a physical ion etching process. CONSTITUTION: A transparent electrode layer is formed on a substrate. A polymer is coated on the transparent electrode layer and a polymer layer is formed. The patterned polymer structure is formed on the polymer layer. A polymer composite structure is formed by ion-etching the transparent electrode layer. A polymer material is removed from the polymer composite structure. [Reference numerals] (a) Pattern transfer from PDMS mold to PS; (AA) Mold; (b) Removal of PS on bottom by RIE; (BB) Polymer; (c) Attach ITO on PS wall by SSL; (CC) Transparent electrode forming material; (d) Removal of residual PS→ITO line pattern; (DD) Substrate; (e-1) Assemble ECB cell; (e-2) Assemble TN cell; (f) Introduce LC molecules to the cell
    • 目的:提供其上形成有纳米结构图案的透明电极及其制造方法,以通过物理离子蚀刻工艺使用离子轰击现象来提高光学透过性。 构成:在基板上形成透明电极层。 在透明电极层上涂布聚合物,形成聚合物层。 图案化的聚合物结构形成在聚合物层上。 通过离子蚀刻透明电极层形成聚合物复合结构。 聚合物材料从聚合物复合结构中除去。 (附图标记)(a)从PDMS模具到PS的图案转印; (AA)模具; (b)RIE底部移除PS; (BB)聚合物; (c)通过SSL将PS贴在PS墙上; (CC)透明电极形成材料; (d)去除残留的PS→ITO线图案; (DD)基材; (e-1)装配ECB电池; (e-2)组装TN细胞; (f)向细胞引入LC分子
    • 27. 发明授权
    • 형광 신호가 향상된 생체분자 어레이 및 그 제조방법
    • 具有增强荧光的生物分子微阵列及其制备方法
    • KR101068972B1
    • 2011-09-30
    • KR1020080135537
    • 2008-12-29
    • 한국과학기술원
    • 정희태정진미
    • G01N33/533G01N33/53G01N33/68
    • 본 발명은 형광 신호가 향상된 생체분자 어레이 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 가시광선 영역의 플라즈몬 공명 파장을 발생시키는 균일한 금속 나노패턴을 형성하여, 상기 균일한 금속 나노패턴상에 유기 및/또는 무기 나노구조 박막을 형성한 후, 생체분자를 어레이시키고, 상기 생체분자에 상기 플라즈몬 공명 파장과 근접 또는 중첩되는 영역에서 여기·발산 파장을 나타내는 형광 분자를 표지시키는 것을 특징으로 하는, 형광 신호가 향상된 생체분자 어레이의 제조방법에 관한 것이다.
      본 발명에 따르면, 균일한 금속패턴에서 발생하는 가시광선 영역의 플라즈몬 공명 파장 및 형광의 여기·발산 파장의 상호작용에 의하여 형광 신호가 향상된 생체분자 어레이를 제조할 수 있고, 금속 나노패턴의 균일성에 의해 향상된 형광 신호가 반복적으로 일정하게 나타내는 생체분자 어레이를 수득할 수 있다.
      생체분자 어레이, 형광신호, 고분자전해질, 적층 조립방법, LBL
    • 28. 发明公开
    • 탄소나노튜브 필름을 이용한 투명전극의 제조방법
    • 使用碳纳米管膜制造透明导电电极的方法
    • KR1020080001333A
    • 2008-01-03
    • KR1020060059702
    • 2006-06-29
    • 한국과학기술원
    • 정희태공병선
    • B82B3/00B82Y10/00C01B31/02
    • H01L31/022466B82Y10/00B82Y30/00H01B1/02H01B1/04H01L31/1884H01L51/444H01L51/5203H01L2224/13562H01L2924/12044H05B33/28Y02E10/50H01L2924/00C01B32/158C01B32/174C01B2202/28
    • A method for manufacturing a transparent conducting oxide is provided to improve visible ray transmittance and electric conductivity of the oxide, and therefore to make the oxide useful for displays, image sensors, touch panels, digital papers, electromagnetic wave shielding materials, etc. A method for manufacturing a transparent conducting oxide includes the steps of: (a) preparing a CNT dispersion by dispersing a CNT with a carboxyl group being exposed and adding at least one base selected from the group that consists of DCC or CDI coupler and HOBt, HOPy(2-hydroxypyridine), HONB, DIEA, and NMI; (b) reacting a substrate with an amine on the surface with the CNT dispersion to form a CNT single layer on the substrate surface; (c) reacting the CNT single layer with an amine based organic compound to form an organic amine layer on the CNT single layer, and reacting the organic amine with the CNT dispersion to laminate the CNT; (d) repeating the step (c) n times, making the CNT layers and the organic amine layers alternately laminated n times, to obtain a CNT film; and (e) impregnating the CNT film into a mixed solution of water, alcohol, and metallic salts to form metallic nanoparticles on the CNT surface.
    • 提供一种制造透明导电氧化物的方法,以改善氧化物的可见光线透射率和导电性,并因此使得氧化物可用于显示器,图像传感器,触摸面板,数字纸,电磁波屏蔽材料等。 用于制造透明导电氧化物的步骤包括以下步骤:(a)通过使具有被暴露的羧基的CNT分散并加入至少一种选自由DCC或CDI偶联剂组成的基团和HOBt,HOPy( 2-羟基吡啶),HONB,DIEA和NMI; (b)使基材与表面上的胺与CNT分散体反应,以在基材表面上形成CNT单层; (c)使CNT单层与胺基有机化合物反应以在CNT单层上形成有机胺层,并使有机胺与CNT分散体反应以层压CNT; (d)重复步骤(c)n次,使CNT层和有机胺层交替层叠n次,得到CNT膜; 和(e)将CNT膜浸入水,醇和金属盐的混合溶液中以在CNT表面上形成金属纳米颗粒。