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    • 23. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS MIT UNTERSCHIEDLICH STARK DOTIERTEN BEREICHEN
    • 方法用于生产具有不同的重掺杂区的半导体元件
    • WO2007082760A1
    • 2007-07-26
    • PCT/EP2007/000463
    • 2007-01-19
    • GP SOLAR GMBHFATH, PeterMELNYK, Ihor
    • FATH, PeterMELNYK, Ihor
    • H01L21/225H01L27/142H01L31/0224
    • H01L31/068H01L21/2255H01L31/1804Y02E10/547Y02P70/521
    • Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements (74; 140), insbesondere einer Solarzelle (140), mit unterschiedlich stark dotierten Bereichen (70, 72; 120, 122) aufweisend die Verfahrensschritte des Ausbildens (2; 14) einer die Diffusion eines Dotierstoffes hemmenden und für einen Dotierstoff durchdringbaren Schicht (58; 108) auf zumindest einem Teil (56; 106) der Oberfläche eines Halbleiterbauelementmaterials (50; 100), des wenigstens teilweises Entfernens (4;16a, 16b) der diffusionhemmenden Schicht (58; 108) in wenigstens einem Hochdotierungsbereich (62; 112a, 112b), des Ausbildens (6; 18) einer Dotierstoff quelle (66; 116) auf der diffusionhemmenden Schicht (58; 108) und in dem wenigstens einen Hochdotierungsbereich (62; 112a, 112b) und der Diffusion (8; 20) des Dotierstoffes aus der Dotierstoff quelle (66; 116) in das Halbleiterbauelementmaterial (50; 100) sowie dessen Ver wendung in integrierten Schaltungen, elektronischen Schaltungen, Solarzellenmodulen und zur Herstellung von Solarzellen (140) mit selektiver Emitterstruktur.
    • ,特别是具有不同的重掺杂区域的太阳能电池(140);包括在形成步骤(2; 14);用于制造半导体设备(140 74)的方法(70,72 120,122)的抑制掺杂物的扩散和 上的至少一部分;半导体器件材料的表面;掺杂剂可穿透层(108 58)(56 106)(50; 100),所述至少部分地去除(4; 16A,16B)的抑制扩散层(58; 108)的至少一个 的抑制扩散层(58; 108)上;一个掺杂剂源(116 66)的高掺杂区(62; 112A,112B),形成(18 6)和在所述至少一个高掺杂区(62; 112A,112B)和扩散( 8; 116)(在半导体装置材料50; 100)和在集成电路,电子电路及其应用版本,太阳能电池模块和Herstellun 20)从所述掺杂剂源(66中的掺杂剂的 克太阳能电池(140)具有选择性发射极结构的。
    • 30. 发明申请
    • A METHOD OF SELECTIVELY DOPING A SEMICONDUCTOR MATERIAL FOR FABRICATING A SOLAR CELL
    • 选择用于制造太阳能电池的半导体材料的方法
    • WO2009082780A1
    • 2009-07-09
    • PCT/AU2008/001912
    • 2008-12-24
    • BLUE HIMMEL SOLAR PTY LTDMCCANN, MichelleFATH, Peter
    • MCCANN, MichelleFATH, Peter
    • H01L31/042H01L31/18
    • H01L31/18H01L31/0236
    • The present disclosure provides a method of selectively doping a semiconductor material for fabricating a solar cell. The method comprises forming at least one angled groove in the semiconductor material and forming a diffusion barrier on the semiconductor material. The diffusion barrier comprises a diffusion barrier material that is selected so that diffusing of a dopant material through the diffusion barrier is reduced. The method also comprises doping the semiconductor material by exposing the semiconductor material to the dopant material in a manner such that a region of the semiconductor material that is covered by the diffusion barrier has a predetermined first dopant concentration. In addition, the method comprises forming an electrical contact within the at least one angled groove after exposing the semiconductor material to the dopant material. The method is conducted so that a surface area of the semiconductor material within the at least one groove is substantially free from diffusion barrier material and has a second dopant concentration that is higher than the first dopant concentration.
    • 本公开提供了选择性掺杂用于制造太阳能电池的半导体材料的方法。 该方法包括在半导体材料中形成至少一个成角度的沟槽并在半导体材料上形成扩散阻挡层。 扩散阻挡层包括扩散阻挡材料,其被选择为使得掺杂剂材料通过扩散阻挡层的扩散减小。 该方法还包括通过以使得被扩散阻挡层覆盖的半导体材料的区域具有预定的第一掺杂剂浓度的方式将半导体材料暴露于掺杂剂材料来掺杂半导体材料。 此外,该方法包括在将半导体材料暴露于掺杂剂材料之后,在至少一个成角度的凹槽内形成电接触。 进行该方法使得至少一个沟槽内的半导体材料的表面积基本上没有扩散阻挡材料,并且具有高于第一掺杂剂浓度的第二掺杂剂浓度。