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11. 发明授权

KR101773296B1 다중 검지가 가능한 색변환 센서 有权
标题翻译：多感应颜色转换传感器
公开(公告)号：KR101773296B1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：KR1020160057708
申请日：2016-05-11
申请人： 성균관대학교산학협력단
发明人： 이정헌 , 허준혁 , 이규성 , 이병상
IPC分类号： G01N21/78 , G01N21/63 , G01N27/12
CPC分类号： G01N21/78 , G01N21/63 , G01N27/127 , G01N2021/634
摘要： 본발명은다중검지가가능한색변환센서에관한것이다. 복수의나노입자를감산혼합방식으로혼합하여무채색을나타내는색변환감지부에의해색변환에의한다중검출물질의검지가가능하다. 본발명의일 실시예에따른다중검지가가능한색변환센서는, 감산혼합방식으로무채색을나타내도록둘 이상의나노입자를혼합하여포함하는색변환감지부를포함하고, 상기둘 이상의나노입자에는각각화학적또는생물학적분자가부착되어있으며, 상기화학적또는생물학적분자가검출물질과반응하는경우상기색변환감지부의색상변화를이용하여분석물질을검출한다.
摘要翻译：本发明涉及一种多检测色彩转换传感器。通过减法混合法混合多个纳米颗粒，并且通过指示无彩色的颜色转换感测单元执行颜色转换。颜色可能的检测根据本发明的一个实施例将传感器，包括：颜色变换检测包括两个或多个纳米颗粒的混合物，以表示通过减色混合方法无彩色，且在纳米颗粒或多个所述两个或每种化学物质或当化学或生物分子与检测物质反应时，使用颜色转换传感单元的颜色变化来检测分析物。

12. 发明公开

KR1020170058265A 이온 주입된 샘플의 특성을 평가하는 방법 审中-实审
标题翻译：表征离子注入样品的方法
公开(公告)号：KR1020170058265A
公开(公告)日：2017-05-26
申请号：KR1020160134896
申请日：2016-10-18
申请人： 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
发明人： 추앙쿠오셍 , 초우유후아
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/265 , G03F7/24
CPC分类号： G01N21/78 , G01N21/63 , G01N2021/634 , H01L21/265 , H01L21/268 , H01L21/31058 , H01L22/10 , H01L22/12
摘要： 워크피스의특성을평가하는방법은워크피스상에감광층을형성하는단계를포함한다. 그다음, 워크피스에대해이온주입이수행된다. 워크피스가방사되며, 워크피스상의감광재료의광 강도가계산된다. 광강도에따라이온주입패턴이형가된다. 감광재료의화학적구조는이온주입시변경된다. 워크피스는감광재료의화학적구조를뒤바꿈으로써또는화학물질에의해이온중단된감광재료를제거함으로써복구된다.
摘要翻译：评估工件特性的方法包括在工件上形成光敏层。然后，在工件上进行离子注入。对工件进行照射，并计算工件上的光敏材料的光强度。根据光强度释放离子注入图案。进入温州时感光材料的化学结构发生变化。通过反转感光材料的化学结构或通过去除已被化学品中断的感光材料来恢复工件。

13. 发明专利

TW201730548A 評估離子植佈加工件特性的方法及其測試加工件审中-公开
简体标题：评估离子植布加工件特性的方法及其测试加工件
公开(公告)号：TW201730548A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105125476
申请日：2016-08-10
申请人：台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：莊國勝 , CHUANG, KUO SHENG , 周友華 , CHOU, YOU HUA
IPC分类号： G01N21/78 , H01L21/265 , H01L21/268 , H01L21/3105 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/78 , G01N21/63 , G01N2021/634 , H01L21/265 , H01L21/268 , H01L21/31058 , H01L22/10 , H01L22/12
摘要：一種評估離子植佈加工件特性的方法包含在基材上形成一光感層，以形成一加工件，該光感層包含一光感材料。接著，在該加工件上進行離子植佈。對該加工件進行輻射。計算該加工件之一光學強度。離子植佈圖案由光學強度結果評估。光感材料之一化學結構在離子植佈時改變。加工件透過恢復光感材料的化學結構或是藉由化學物質移除離子干擾的光感材料。可加快分析離子植佈的時程，且容易觀察，加工件還可回收再利用。
简体摘要：一种评估离子植布加工件特性的方法包含在基材上形成一光感层，以形成一加工件，该光感层包含一光感材料。接着，在该加工件上进行离子植布。对该加工件进行辐射。计算该加工件之一光学强度。离子植布图案由光学强度结果评估。光感材料之一化学结构在离子植布时改变。加工件透过恢复光感材料的化学结构或是借由化学物质移除离子干扰的光感材料。可加快分析离子植布的时程，且容易观察，加工件还可回收再利用。

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