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11. 发明公开

CN108036881A 一种SiCN陶瓷无线无源压力传感器及其制备方法无效
公开(公告)号：CN108036881A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201711374477.6
申请日：2017-12-19
申请人：厦门大学
发明人：余煜玺 , 刘熠新 , 余洪哿
IPC分类号： G01L1/18
CPC分类号： G01L1/183
摘要：一种SiCN陶瓷无线无源压力传感器及其制备方法，SiCN陶瓷无线无源压力传感器设有圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件、谐振腔和耦合槽天线；圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件的表面包裹有金属层，金属层形成谐振腔，耦合槽天线设在谐振腔的上表面，谐振腔通过耦合槽天线与共面波导线进行耦合。制备圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件；对非晶态SiCN陶瓷压敏元件表面处理；在非晶态SiCN陶瓷压敏元件上，贴上与耦合槽天线尺寸一致的聚酰亚胺胶带后，再在非晶态SiCN陶瓷压敏元件表面涂上金属层形成谐振腔，去除聚酰亚胺胶带，得上表面带有耦合槽天线的谐振腔；完成金属浆料的金属化，得非晶态SiCN陶瓷无线无源压力传感器。

12. 发明公开

CN102362162A 物理量传感器失效
公开(公告)号：CN102362162A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201080013152.5
申请日：2010-03-08
申请人：松下电器产业株式会社
发明人：松浦昭 , 大越伟生 , 中西努 , 川井孝士
IPC分类号： G01L1/10
CPC分类号： G01L1/183
摘要：本发明提供一种物理量传感器，包括：起变形体，其根据应力而产生变形；振子，其以对应于该变形的频率或对应于该变形的振幅进行振动；以及处理电路，其对从振子输出的信号进行处理。振子配置在起变形体上，以便传递该变形。处理电路按照实质上不传递该变形的方式与起变形体结合。该物理量传感器能够稳定地检测作用于物体的变形或张力。

13. 发明授权

CN100408997C 诊断传感器失效
公开(公告)号：CN100408997C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN99810349.7
申请日：1999-07-06
申请人：海德拉运动有限公司
发明人：约翰·格拉德·咖拉佛
IPC分类号： G01N11/16 , G01N9/00 , G01L9/00 , G01N29/02
CPC分类号： G01N29/2437 , G01L1/183 , G01N9/002 , G01N11/16 , G01N29/036 , G01N29/12 , G01N2291/012 , G01N2291/014 , G01N2291/015 , G01N2291/02818 , G01N2291/0421
摘要：一种测量力或者流体的粘度或者其它属性的传感器，包括：一个机械谐振器(10)，该机械谐振器包括一个部件(11；18；123)，该部件的刚度至少部分地确定所述谐振器的谐振的模态形状；用于测量所述谐振的量度随着所述部件的刚度的变化而发生的变化的装置(21-23)。所述谐振器(10)可以包括两个梁(10a，10b，120，121)，这两个梁在一端或者接近一端处由一个轭(12；122)连接起来，在另一端或者接近另一端处由所述部件连接起来，所述轭在所述一端为所述谐振器提供固支条件。

14. 发明公开

CN1329243A 传感器失效
公开(公告)号：CN1329243A
公开(公告)日：2002-01-02
申请号：CN01121705.7
申请日：2001-06-18
申请人：森桑诺尔有限公司
发明人： T·克维斯特雷 , J·亨里克
IPC分类号： G01F1/34 , G01P15/10 , G01L1/18
CPC分类号： G01P21/00 , G01F1/28 , G01L1/183 , G01P15/097 , G01P2015/0828
摘要：一种由半导体材料构成的传感器。该装置包括支承框架、读出元件、以及以一般对应于第一谐振频率振动方式的频率来振动读出元件的装置。错误检测装置检测谐振频率振动方式,错误检测装置的输出表示存在或者不存在所述谐振频率振动方式对所述激励的预期的响应。检测读出元件变形的装置提供表示待检测的参数的输出信号,变形检测装置和错误检测装置由相同元件构成。

15. 发明公开

CN1316054A 诊断传感器失效
公开(公告)号：CN1316054A
公开(公告)日：2001-10-03
申请号：CN99810349.7
申请日：1999-07-06
申请人：海德拉运动有限公司
发明人：约翰·格拉德·咖拉佛
IPC分类号： G01N11/16 , G01N9/00 , G01L9/00 , G01N29/02
CPC分类号： G01N29/2437 , G01L1/183 , G01N9/002 , G01N11/16 , G01N29/036 , G01N29/12 , G01N2291/012 , G01N2291/014 , G01N2291/015 , G01N2291/02818 , G01N2291/0421
摘要：一种流体的力或者粘度或其它属性的传感器,包括一机械式谐振器(10),该谐振器(10)包括一其刚性至少部分地决定其谐振的模态形状的组元(11、18、123),和在所述组元的刚性改变时用来测量谐振的量度变化的机构(21－23)。该谐振器(10)可以包括在或接近于一端处由一提供谐振器固紧条件的轭(12、122)相连,且在或接近另一端处由所述组元相连的两个梁(10a、10b、120、121)。

16. 发明申请

WO2007127132A3 SENSOR INTERFACE 审中-公开
标题翻译：传感器接口
公开(公告)号：WO2007127132A3
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：PCT/US2007009624
申请日：2007-04-19
申请人： ASF KEYSTONE INC , LEFEBVRE WILLIAM , MCCANN MICHAEL J , BACKO III FRANK , MARTIN ANDREW H
发明人： LEFEBVRE WILLIAM , MCCANN MICHAEL J , BACKO III FRANK , MARTIN ANDREW H
IPC分类号： G01G3/12 , G01G3/13 , G01G19/12 , G01G19/414 , G01L1/04 , G01L1/14 , G01L1/18 , G01L1/22
CPC分类号： G01D21/02 , B61F5/305 , B61F5/32 , B61L15/0027 , B61L15/0081 , B61L27/0094 , F16C41/007 , F16C41/008 , F16C2326/10 , G01D11/245 , G01G19/12 , G01G23/3728 , G01L1/183 , G01L5/0085 , G01L5/107 , G01L5/243 , G01L5/28 , G01L9/0022
摘要： A sensor interface (10) is disclosed including a flexible substrate (12) within which are embedded sensors (22, 24, 26) for measuring physical parameters such as temperature, displacement, velocity, acceleration, stress, strain, pressure and force present between objects (18, 20) such as a railcar bearing (44) and a truck side frame (48) The substrate (12) is positioned between the objects ( 18, 20) of interest Electronic components such as a data processing unit (28), a data storage device (32), a communication device (34), and a power source (38) may also be embedded within the substrate The electronic devices (28, 32, 34, 38) communicate with one another and the sensors (22, 24, 26) to process signals generated by the sensors (22, 24, 26) indicative of the parameters being measured.
摘要翻译：公开了一种传感器接口（10），其包括柔性基底（12），其中嵌入有传感器（22,24,26），用于测量诸如温度，位移，速度，加速度，应力，应变，压力和力之间的物理参数诸如轨道车轴承（44）和卡车侧框架（48）的物体（18,20）。基板（12）位于感兴趣的物体（18,20）之间，诸如数据处理单元（28）的电子部件，数据存储装置（32），通信装置（34）和电源（38）也可以嵌入在基板内。电子装置（28,32,34,38）彼此通信，并且传感器 22,24,26）来处理由传感器（22,24,26）产生的指示所测量的参数的信号。

17. 发明申请

WO1995004265A2 DIELECTRICALLY ISOLATED RESONANT MICROSENSORS 审中-公开
标题翻译：电介质隔离型MICROSENSORS
公开(公告)号：WO1995004265A2
公开(公告)日：1995-02-09
申请号：PCT/US1994008258
申请日：1994-07-22
申请人： HONEYWELL INC.
发明人： HONEYWELL INC. , BURNS, David, W.
IPC分类号： G01N00/00
CPC分类号： H04R17/025 , G01L1/183 , G01L9/0019 , G01P15/0802 , G01P15/097 , G01P2015/0828
摘要： A resonant strain gauge includes a silicon substrate, a polysilicon flexure beam fixed at both ends relative to the substrate, and a polysilicon rigid cover cooperating with the substrate to enclose the flexure beam within a sealed vacuum chamber. An upper bias electrode is formed on the cover, and a lower bias electrode is formed at the bottom of a trough in the substrate directly beneath the flexure beam. A drive electrode and a piezoresistive element are supported by the beam, formed over a silicon nitride thin film layer deposited onto the top surface of the flexure beam. A second silicon nitride layer covers the drive electrode and piezoresistor, cooperating with the first silicon nitride layer to dielectrically encapsulate the drive electrode and piezoresistor. The silicon nitride further extends outwardly of the beam to a location between the polysilicon layer that contains the beam, and the cover, to isolate the cover from the flexure beam. A polysilicon film is applied over the upper silicon nitride layer as a passivation layer to protect the silicon nitride during gauge fabrication. The process for fabricating the gauge includes a sequence of applying the various polysilicon and silicon nitride layers by low pressure chemical vapor deposition, in combination with selective etching to define the flexure beam, electric circuit components and vacuum chamber.
摘要翻译：共振应变计包括硅衬底，相对于衬底的两端固定的多晶硅弯曲梁，以及与衬底配合的多晶硅刚性盖，以将挠曲梁封闭在密封的真空室内。在盖上形成上部偏置电极，并且在弯曲梁正下方的基板的底部的底部形成下部偏置电极。驱动电极和压阻元件由光束支撑，形成在沉积在挠曲束的顶表面上的氮化硅薄膜层上。第二氮化硅层覆盖驱动电极和压电电阻器，与第一氮化硅层配合以介电地封装驱动电极和压敏电阻器。氮化硅进一步从梁的外侧延伸到包含梁的多晶硅层与盖之间的位置，以将盖与弯曲梁隔离。将多晶硅膜施加在上部氮化硅层上作为钝化层，以在量规制造期间保护氮化硅。用于制造该量规的方法包括通过低压化学气相沉积施加各种多晶硅和氮化硅层的顺序，与选择性蚀刻结合以限定挠曲束，电路部件和真空室。

18. 发明申请

WO1994014035A1 COMBINED FORCE TRANSDUCER AND TEMPERATURE SENSOR 审中-公开
标题翻译：组合力传感器和温度传感器
公开(公告)号：WO1994014035A1
公开(公告)日：1994-06-23
申请号：PCT/US1993011889
申请日：1993-12-08
申请人： ALLIEDSIGNAL, INC.
发明人： ALLIEDSIGNAL, INC. , HULSING, Rand, H., II , LEE, Charles, K. , FOOTE, Steven, A.
IPC分类号： G01D21/02
CPC分类号： G01P15/097 , G01D21/02 , G01K7/32 , G01L1/183 , G01P2015/0817 , G01P2015/0828
摘要： A combined transducer that measures force or displacement and temperature utilizes a pair of vibrating tines to provide a simultaneous output representative of temperature and force or displacement whereby the sum or average of the vibrating frequencies of the two tines is representative of temperature and the difference is representative of force or displacement.
摘要翻译：测量力或位移和温度的组合传感器利用一对振动齿来提供代表温度和力或位移的同时输出，由此两个尖齿的振动频率的和或平均值代表温度，差异是代表性的的力量或位移。

19. 发明公开

KR1020120053754A 속도 및 차선의 변경을 고려한 주행 차량의 무게 측정 시스템 및 그 측정 방법 有权
标题翻译：一个重量测量系统及其在改变地面和改变驾驶速度的时候的方法
公开(公告)号：KR1020120053754A
公开(公告)日：2012-05-29
申请号：KR1020100115034
申请日：2010-11-18
申请人： 박제우 , 김영백
发明人： 박제우 , 김영백
IPC分类号： G01G19/03 , G01G19/02 , G08G1/052
CPC分类号： G01G19/03 , G01G3/165 , G01G19/62 , G01L1/183
摘要： PURPOSE: A system and a method for measuring weight of a traveling vehicle in consideration of change of speed and lanes are provided to accurately measure a weight of a vehicle even though the centroid of the vehicle is inclined toward the left side or right side because a weight value measured by a piezo-sensor is revised according to an acceleration value. CONSTITUTION: A system for measuring weight of a traveling vehicle in consideration of change of speed and lanes comprises three piezo sensor groups(P10,P20,P30) arranged lengthways side by side at constant intervals, a pair of loop sensor groups(L10,L20) arranged in the outer side around the piezo-sensor groups at constant intervals, a pair of the piezo sensor groups(P40,P50) arranged in the outer side of the loop sensor groups at constant intervals, a pair of the loop sensor groups(L30,L40) arranged in the outer side of the piezo sensor groups at constant intervals, and a server. The server receives information from loop sensor groups and calculates a weight of a vehicle by multiplying left and right bias correction coefficients by the weight of the left and right wheels.
摘要翻译：目的：提供考虑到速度和车道变化来测量行驶车辆的重量的系统和方法，以精确地测量车辆的重量，即使车辆的重心向左侧或右侧倾斜，因为由压电传感器测量的重量值根据加速度值进行修正。考虑到速度和车道变化来测量行驶车辆的重量的系统包括以恒定间隔并排布置的三个压电传感器组（P10，P20，P30），一对环路传感器组（L10，L20 ）以一定间隔布置在压电传感器组周围的外侧中，布置在环传感器外侧的一对压电传感器组（P40，P50）以恒定间隔组合，一对环传感器组 L30，L40）和服务器。服务器从环路传感器组接收信息，并通过将左右偏置校正系数乘以左右车轮的重量来计算车辆的重量。

20. 发明授权

KR101229432B1 센서 인터페이스 有权
标题翻译：传感器接口
公开(公告)号：KR101229432B1
公开(公告)日：2013-02-05
申请号：KR1020087025608
申请日：2007-04-19
申请人： 에이에스에프-키스톤, 인코포레이티드
发明人： 레페브레,윌리암 , 맥칸,미첼,제이. , 바코3세,프랑크 , 마틴,앤드류,에이치.
IPC分类号： G01D21/02 , G01L1/00 , G01G19/00
CPC分类号： G01D21/02 , B61F5/305 , B61F5/32 , B61L15/0027 , B61L15/0081 , B61L27/0094 , F16C41/007 , F16C41/008 , F16C2326/10 , G01D11/245 , G01G19/12 , G01G23/3728 , G01L1/183 , G01L5/0085 , G01L5/107 , G01L5/243 , G01L5/28 , G01L9/0022
摘要： 레일카 베어링과 트럭 측부 프레임 같은 대상물들 사이에 존재하는 온도, 변위, 속도, 가속도, 응력, 변형, 압력 및 힘 같은 물리적 파라미터를 측정하기 위해 센서가 내부에 매설되어 있는 가요성 기판을 포함하는 센서 인터페이스가 개시되어 있다. 기판은 관련 대상물 사이에 배치된다. 데이터 처리 유닛, 데이터 저장 장치, 통신 장치 및 전원 같은 전자 구성요소도 기판 내에 매설될 수 있다. 전자 장치는 측정된 파라미터를 나타내는 센서에 의해 발생된 신호를 처리하기 위해 서로간에, 그리고, 센서와 통신한다.
가요성 기판, 센서 인터페이스, 데이터 처리 유닛, 데이터 저장 장치, 통신 장치, 전자 구성요소
摘要翻译：公开了一种传感器接口，其包括柔性基板，其中嵌入有传感器，用于测量诸如轨道车轴承和卡车侧框架之类的物体之间的物理参数，例如温度，位移，速度，加速度，应力，应变，压力和力。衬底位于感兴趣的对象之间也可以嵌入在衬底内的电子部件，例如数据处理单元，数据存储设备，通信设备和电源。电子设备彼此通信，并且传感器处理由传感器产生的指示所测量的参数的信号。

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