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    • 14. 发明专利
    • Si摻雜GaAs單結晶錠及其製造方法,暨由該Si摻雜GaAs單結晶錠所製造之Si摻雜GaAs單結晶晶圓
    • Si掺杂GaAs单结晶锭及其制造方法,暨由该Si掺杂GaAs单结晶锭所制造之Si掺杂GaAs单结晶晶圆
    • TW200722562A
    • 2007-06-16
    • TW095111439
    • 2006-03-31
    • 同和業股份有限公司 DOWA MINING CO., LTD.
    • 大鹿嘉和 YOSHIKAZU OSHIKA
    • C30B
    • C30B29/42C30B11/00C30B27/00Y10T428/24355Y10T428/268
    • 本發明提供一種利用每單位面積之蝕刻斑密度(EPD)所評價之結晶性値低且具有良好結晶性之Si摻雜GaAs單結晶錠,及其製造方法,暨由該Si摻雜GaAs單結晶錠之成長的後半部份所製造之Si摻雜GaAs單結晶晶圓。用其他合成爐(坩堝)合成GaAs化合物原料,於該原料中放入Si摻雜劑並製成為收納有Si摻雜劑之GaAs化合物原料31B。放入該Si摻雜劑之位置,係定為於熔融該GaAs化合物原料時低於其平均溫度之位置。當於單結晶成長裝置之坩堝插入籽晶之後,將收納有Si摻雜劑之GaAs化合物原料31B、液體密封劑32投入坩堝,裝設於單結晶成長裝置101且加熱熔融後,一邊攪拌該液體密封劑32,一邊藉由垂直型溫度傾斜法而固化熔液,使之結晶成長從而得到Si摻雜GaAs單結晶錠,由該錠之成長的後半部份製造Si摻雜GaAs單結晶晶圓。
    • 本发明提供一种利用每单位面积之蚀刻斑密度(EPD)所评价之结晶性値低且具有良好结晶性之Si掺杂GaAs单结晶锭,及其制造方法,暨由该Si掺杂GaAs单结晶锭之成长的后半部份所制造之Si掺杂GaAs单结晶晶圆。用其他合成炉(坩埚)合成GaAs化合物原料,于该原料中放入Si掺杂剂并制成为收纳有Si掺杂剂之GaAs化合物原料31B。放入该Si掺杂剂之位置,系定为于熔融该GaAs化合物原料时低于其平均温度之位置。当於单结晶成长设备之坩埚插入籽晶之后,将收纳有Si掺杂剂之GaAs化合物原料31B、液体密封剂32投入坩埚,装设於单结晶成长设备101且加热熔融后,一边搅拌该液体密封剂32,一边借由垂直型温度倾斜法而固化熔液,使之结晶成长从而得到Si掺杂GaAs单结晶锭,由该锭之成长的后半部份制造Si掺杂GaAs单结晶晶圆。