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    • 13. 发明授权
    • Method for controlling heat treatment in process of fabricating high purity silica glass
    • 在制备高纯度二氧化硅玻璃的过程中控制热处理的方法
    • US06588229B2
    • 2003-07-08
    • US09749017
    • 2000-12-27
    • Won-Il JeongYoung-Min Baik
    • Won-Il JeongYoung-Min Baik
    • C03B800
    • C03B19/12C03B37/016Y10S65/90Y10S65/901
    • Disclosed is a method for controlling a heat treatment in the process of fabricating a high purity silica glass via a sol-gel process using a low temperature heater having an inhalation line and an exhaust line. Accordingly, the method includes the steps of (a) identifying whether or not the diameter of the exhaust line is varied; (b) controlling the mass flow of the process gas according to the changed diameter of the exhaust line in step (a); (c) measuring an exhaust gas velocity discharged through the exhaust line; (d) comparing the exhaust gas velocity measured in the step (c) with the exhaust gas velocity after the scale of the exhaust line is varied; and, (e) repeating steps (b)-(d) if the comparison result in step (d) is different.
    • 公开了一种在使用具有吸入管线和排气管线的低温加热器的溶胶 - 凝胶法制造高纯度二氧化硅玻璃的过程中控制热处理的方法。 因此,该方法包括以下步骤:(a)识别排气管线的直径是否变化; (b)根据步骤(a)中排气管线的直径改变来控制处理气体的质量流量; (c)测量通过排气管线排出的废气速度; (d)比较在步骤(c)中测得的废气速度与排气管线规模变化后的废气速度; 和(e)如果步骤(d)中的比较结果不同,则重复步骤(b) - (d)。