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    • 12. 发明申请
    • SENSOREINHEIT
    • 传感器单元
    • WO2007009277A1
    • 2007-01-25
    • PCT/CH2006/000354
    • 2006-07-04
    • KISTLER HOLDING AGVON BERG, JochenSONDEREGGER, ChristofCAVALLONI, ClaudioTANNER, RenéGNIELKA, Marco
    • VON BERG, JochenSONDEREGGER, ChristofCAVALLONI, ClaudioTANNER, RenéGNIELKA, Marco
    • G01L9/00G01L19/04
    • G01L23/18G01L19/0636
    • Die Erfindung betrifft eine Sensoreinheit (1) zur Messung einer Messgrösse, insbesondere in einem aggressiven Medium (2), umfassend einen in einer Sensorkapsel (3) angeordneten Sensor (4), mit einem an einem Grundkörper (5) angeordneten Sensorbereich (6). Zur Erfassung der Messgrösse im Sensorbereich (6) ist in der Sensorkapsel (3) eine Messöffnung (7) vorgesehen, welche erlaubt, dass das Medium (2) direkt bis zum Sensorbereich (6) vordringen kann. Der Sensorbereich (6) weist auf einer von der Messöffnung (7) abgewandten Seite eine mit einer Messelektronik (8) versehene Messfläche (9) auf, wobei zur Übertragung eines von der Messelektronik (8) generierten Sensorsignals am Sensor (4) eine elektrische Zuleitung (10) vorgesehen ist. Der Sensor (4) ist dabei an einer Dichtfläche (11) derart dichtend an der Sensorkapsel (3) angeordnet, dass die Messfläche (9) von dem Medium (2) isoliert ist. Dabei ist erfindungsgemäss ein Entkopplungsmittel (12) vorgesehen, mit welchem der Sensor (4) von thermisch und / oder mechanisch induzierten Veränderungen der Sensorkapsel (3) entkoppelbar ist. Die Erfindung betrifft weiter einen Messfühler mit einer Sensoreinheit (1), sowie eine Brennkraftmaschine, ein hydraulisches oder pneumatisches Werkzeug und ein Klimagerät mit einer erfindungsgemässen Sensoreinheit (1).
    • 本发明涉及的传感器单元(1)(2)中的侵蚀性介质测量测量变量,特别是布置在包括一个在一个传感器盒(3)传感器(4),布置成与在基体(5)传感器区域(6)。 为了检测在传感器胶囊(3)的测量孔口(7)设置,这允许介质(2)直接连接到所述传感器区域(6)能穿透在传感器区域(6)的测量变量。 传感器区域(6)对测量孔中的一个(7)侧从一个测量电子背向(8)设有测量表面(9),其中所述传输是测量电子中的一个(8)在所述传感器(4)的电导线产生的传感器信号 (10)设置。 所述传感器(4)是一个密封表面(11)上的传感器胶囊密封地设置(3),所述介质(2)的测量表面(9)是分离的。 在这种情况下,去耦装置与根据本发明的传感器(4)在所述传感器胶囊(3)可被去耦合热和/或机械诱导的变化提供(12)。 本发明还涉及一种具有传感器单元(1)和所述的内燃机,液压或气动工具,以及空调用本发明的传感器单元(1)的传感器。
    • 13. 发明申请
    • PIEZOELEKTRISCHES MESSELEMENT ZUR MESSUNG DES DYNAMISCHEN UND STATISCHEN DRUCKES UND/ODER DER TEMPERATUR
    • 压电式测量元件,以动态和静态压力和/或温度
    • WO2015139149A1
    • 2015-09-24
    • PCT/CH2015/000044
    • 2015-03-20
    • KISTLER HOLDING AG
    • SOMMER, RolandCAVALLONI, Claudio
    • G01L5/16G01G3/13G01L9/00G01L15/00G01L1/16H01L41/09H01L41/113
    • G01L15/00G01K11/26G01L1/16G01L5/167G01L9/0022G01L9/008H01L41/1132
    • Ein Messelement (2) zur Messung des dynamischen Druckes und zusätzlich zur Messung der Temperatur und/oder des statischen Druckes, umfassend einen Körper (20) aus einem piezoelektrischen Material, wobei der Körper (20) einander in einer Transversalrichtung (Ta) gegenüberliegend angeordnete Seitenflächen (21, 22) aufweist, an welchen jeweils Seitenflächenelektroden (210, 220) angeordnet sind soll einfacher, kostengünstiger unter Verwendung nur weniger Bauteile aufgebaut werden. Dies wird dadurch erreicht, dass das piezoelektrische Material des Körpers (20, 20') derart gewählt ist, dass ein Schubkoeffizient des piezoelektrischen e-Tensors ungleich Null ist, womit der inverse piezoelektrische Effekt ausnutzbar ist und ein Transversalkoeffizient des piezoelektrischen d-Tensors ungleich Null ist und/oder ein Longitudinalkoeffizient des piezoelektrischen d-Tensors ungleich Null ist, womit der transversale piezoelektrische Effekt in Transversalrichtung (Ta) und/oder der longitudinale piezoelektrische Effekt in Longitudinalrichtung (L) gleichzeitig mit dem inversen piezoelektrischen Effekt ausnutzbar ist.
    • 用于测量动态压力,并在除了测量温度和/或静压力,其包括由压电材料制成的主体(20)的测量元件(2),所述主体(20)彼此在横向方向上(Ta)的相对设置的侧表面 (21,22)到每个侧面电极(210,220)被布置成为该更简单,更经济有效的仅使用少量的部件构成。 这是这样实现的主体的压电材料(20,20“)被选择,使得压电Ë张量的推力系数为不等于零,由此逆压电效应是可利用的和Transversalkoeffizient所述的压电d张量非零 和/或一个Longitudinalkoeffizient所述的压电d张量是不等于零,从而在横向方向上(Ta)和/或在纵向方向(L)的纵向压电效应的横向压电效应,也通过逆压电效应利用。
    • 14. 发明申请
    • MESSWERTAUFNEHMER ZUM MESSEN EINER KRAFT
    • WO2018099635A1
    • 2018-06-07
    • PCT/EP2017/075312
    • 2017-10-05
    • KISTLER HOLDING AG
    • CAVALLONI, ClaudioPFLUGER, Kim
    • G01L5/16G01L1/16H01L41/053
    • Die Erfindung betrifft einen Messwertaufnehmer (1) zum Messen einer Kraft (F), mit einem Resonatorelement (20), welches zu mindestens einer Resonanzfrequenz anregbar ist; und mit mindestens einem Kraftangriffselement (30, 30'), an welchem die Kraft (F) angreift und welches die Kraft (F) zum Resonatorelement (20) weiterleitet; wobei das Kraftangriffselement (30, 30') ein Hohlkörper ist, welcher eine Deckfläche (31, 31'), eine Mantelfläche (32, 32') und einen Hohlraum (33, 33') aufweist, Deckfläche (31, 31') und Mantelfläche (32, 32') sind mechanisch miteinander verbunden und umschliessen den Hohlraum (33, 33'); wobei das Resonatorelement (20) im Hohlraum (33, 33') angeordnet ist; wobei das Resonatorelement (20) mit der Mantelfläche (32, 32') mechanisch verbunden ist; wobei die Kraft (F) an der Deckfläche (31, 31') angreift, welche die Kraft (F) in die Mantelfläche (32, 32') weiterleitet; wobei die Mantelfläche (32, 32') mindestens einen ausgesparten Bereich (34, 34') aufweist, welcher bis zum Hohlraum (33, 33') reicht und das Weiterleiten der Kraft (F) in der Mantelfläche (32, 32') verhindert; und wobei die Mantelfläche (32, 32') mindestens einen nichtausgesparten Bereich (35, 35') aufweist, nur der nichtausgesparte Bereich (35, 35') leitet die Kraft (F) weiter.
    • 16. 发明申请
    • ELEKTRONISCHE SCHALTUNG FÜR EINEN WEIGHT-IN-MOTION SENSOR
    • 电子电路对WEIGHT-IN-MOTION SENSOR
    • WO2013143013A1
    • 2013-10-03
    • PCT/CH2013/000051
    • 2013-03-26
    • KISTLER HOLDING AG
    • AMSTUTZ, LeoSTREBEL TSCHANNEN, RomanCAVALLONI, ClaudioHOFMANN, AdrianCORNU, David
    • G01G3/13G01G19/02G01L1/16
    • G05F5/00G01D3/036G01D18/004G01G3/13G01G19/024G01L1/16H03F3/347H03F3/70
    • Die Erfindung betrifft eine elektronische Schaltung zur Umwandlung eines Ladungssignals eines in einer Fahrbahn 6 eingebauten WIM-Sensors 3 (Weigh-in-Motion) mit einem Ladungssignalausgang und einem Ground-Ausgang in ein Spannungssignal, Sie umfasst einen Ladungsverstärker mit einem IC1 mit einem ersten und einem zweiten Eingang als Eingänge vom Sensor 3. Zudem umfasst sie einen integrierten Impedanzwandler (IEPE) am Ausgang zu einem zweiadrigen Kabel 5 mit einem Spannungssignalausgang „OUT" und einem Ground-Ausgang „GND". Erfindungsgemäss ist am ersten Eingang des IC1 des Ladungsverstärkers ein Kondensator Cc in Serie mit dem Ladungssignalausgang des Sensors 3 „In" geschaltet für die Entkopplung der internen Gleichspannung der Schaltung über dem Sensor 3. Zudem ist eine Zenerdiode D zwischen dem Ground-Ausgang des Sensors 3 „GND" und dem zweiten Eingang des IC1 angeordnet, welches durch einen Widerstand R1 zusammen mit einer ausgangsseitig angeordneten Stromversorgung 8 über das zweiadrige Kabel 5 gespeist werden kann, zum Anpassen des Potentials am zweiten Eingang des IC1. Insbesondere liegt der Ground-Ausgang des Sensors auf demselben Potential wie der Ground-Ausgang des zweiadrigen Kabels 5.
    • 本发明涉及一种电子电路,用于转换的电荷信号内置在道路6 WIM传感器3与电荷信号输出和接地输出转换为电压信号(称重的运动),它包括具有第一和IC1电荷放大器 从另外的传感器3作为输入的第二输入,它包括位于输出到双线电缆5与电压信号“OUT”输出和接地输出“GND”的综合阻抗转换器(IEPE)。 据在所述第一输入端的电荷放大器的IC1的发明中,与传感器3的电荷信号输出的串联的电容器Cc“添加”连接到电路的内部直流电压的去耦到传感器3。另外,传感器3的接地输出端之间的齐纳二极管D. “GND”和布置IC1的第二输入端,其可以通过电阻R1与输出侧电源8沿经由所述两线电缆5被供给,用于在IC1的第二输入调整所述电势。 特别地,所述传感器的接地输出处于相同的电位两线电缆的接地输出。5
    • 17. 发明申请
    • MEMS-CHIP, MESSELEMENT UND DRUCKSENSOR ZUM MESSEN EINES DRUCKS
    • MEMS芯片,测量元件和压力传感器,用于测量压力
    • WO2015048916A1
    • 2015-04-09
    • PCT/CH2014/000142
    • 2014-10-02
    • KISTLER HOLDING AGFRAUNHOFER-GESELLSCHAFT
    • KÜHNE, StéphaneCAVALLONI, ClaudioGOEHLICH, Andreas
    • G01L9/00G01L19/06G01L19/14
    • G01L19/147G01L9/0045G01L9/005G01L9/0054G01L19/0627
    • Micro-Electro-Mechanical System Chip (MEMS-Chip) zum Messen eines Druckes in einem Druckraum (D), umfassend ein MEMS- Substrat (30) und ein Trägersubstrat (31), die flächig aufeinander gebondet sind, wobei der MEMS-Chip (3) stabförmig ausgestaltet ist und einen messenden Bereich (4) mit elektromechanischen Messmitteln, anschliessend einen Durchführungsbereich (11) anschliessend einen über Leitungen (8) mit dem messenden Bereich (4) verbundenen Kontaktierungsbereich (6) mit Kontakten (16) aufweist, und wobei der MEMS-Chip (3) im Durchführungsbereich (11) geeignet ist zur druckdichten Anordnung in einer Durchführung. Erfindungsgemäss sind die elektromechanischen Messmittel derart ausgestaltet, indem das MEMS Substrat (30) eine ein Sackloch bildende Kavität (5) aufweist, dessen Rand eine Membran (7) im MEMS Substrat (30) ausbildet und eine Messbrücke (19) aus piezoresistiven Elementen (2) auf der der Kavität (5) abgewandten Seite dieser Membran (7) angeordnet ist. Das MEMS-Substrat (30) ist mit der Seite der Kavität (5) dem Trägersubstrat (31) zugewandt auf das Trägersubstrat (31) gebondet, sodass das Trägersubstrat (31) eine Bodenwand (50) der unter der Membrane (7) gebildeten Kavität (5) ausbildet.
    • 微机电系统芯片(MEMS)芯片,用于测量在压力室(D)的压力,包括MEMS基片(30)和载体基板(31),其被键合的平坦彼此之上,其特征在于,所述MEMS芯片( 3)是棒状和测量区(4)与电 - 机械测量装置,随后的馈通部(11),接着是(经由8)到测量区(4)连接到所述接触区域16线(6)具有触点(),并且其中 MEMS芯片(3)是在馈通部(11),适合于在一个实现压力密封的组件。 根据本发明的电 - 机械测量装置由MEMS基片(30),其配置有一个盲孔形成(5),其边缘形成膜腔(7)在该MEMS衬底(30)和由压阻元件的一个测量电桥(19)(2 )背向该膜片(7)上(的腔5的一侧)的位置。 MEMS衬底(30)被连接到面向所述载体衬底(31)与载体衬底的空腔(5)的侧部(31)结合,使得在支撑基板(31)的膜(7)腔下形成的一个底壁(50) (5)形成。