专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

11. 发明专利

JP2015108809A 感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体、化合物及びその製造方法审中-公开
标题翻译：辐射敏感性树脂组合物，形成耐药性图案的方法，聚合物，其化合物及其生产方法
公开(公告)号：JP2015108809A
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：JP2014209355
申请日：2014-10-10
申请人： JSR株式会社
发明人：生井準人 , 仁井啓之 , 大▲崎▼ 仁視
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/038 , C08F224/00 , C07D307/33 , C07D307/93 , C07D327/04 , C07D317/40 , C07D307/20 , C07D407/12 , C07C69/675 , C07C235/06 , C07C69/732 , C07C255/20 , C07C67/14 , C07C231/12 , C07C253/30 , G03F7/039
摘要：【課題】LWR性能、CD均一性、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度、露光余裕度及びMEEF性能に優れた感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】式(1)で表される構造単位を有する重合体、及び感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物。式(1)中、R 3 は、極性基を含む1価の有機基である。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：为了提供优异的LWR（线宽粗糙度）性能，CD（临界尺寸）均匀性，分辨率，截面形状的矩形性，焦深，曝光宽容度和MEEF（掩模误差增强因子）性能。解决方案：辐射敏感树脂组合物包含具有由式（1）表示的结构单元和辐射敏感性酸发生剂的聚合物。在式（1）中，R表示含有极性基团的一价有机基团。

13. 发明专利

JP5900117B2 フォトレジスト組成物及びレジストパターン形成方法有权
公开(公告)号：JP5900117B2
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：JP2012085054
申请日：2012-04-03
申请人： JSR株式会社
发明人：藤澤友久 , 仁井啓之 , 西野晃太 , 杉龍司
IPC分类号： C08F24/00 , G03F7/039

14. 发明专利

JP2015191216A 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法有权
标题翻译：辐射敏感性树脂组合物和形成耐火图案的方法
公开(公告)号：JP2015191216A
公开(公告)日：2015-11-02
申请号：JP2014070614
申请日：2014-03-28
申请人： JSR株式会社
发明人：生井準人 , 仁井啓之
IPC分类号： G03F7/039 , G03F7/038 , H01L21/027 , C08F220/26 , G03F7/004
摘要：【課題】良好な保存安定性を確保しつつ、LWR性能、CDU性能、EL性能、放射線感度及び現像欠陥抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。【解決手段】本発明は、酸解離性基を含む構造単位を有する第1重合体、感放射線性酸発生体、下記式(1)で表される酸拡散制御剤、及び溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物である。式(1)中、R 1 、R 2 及びR 3 は、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。nは、1〜5の整数である。nが2以上の場合、複数のR 2 はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、複数のR 3 もそれぞれ同一でも異なっていてもよい。X 1 及びX 2 は、それぞれ独立して、酸素原子又は硫黄原子である。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：提供在保持LWR（线宽粗糙度）性能，CDU（临界尺寸均匀性）性能，EL（曝光宽容度）性能，对辐射的敏感性以及显影缺陷抑制性能方面优异的辐射敏感性树脂组合物良好的储存稳定性。解决方案：辐射敏感性树脂组合物包括：具有含有酸解离基团的结构单元的第一聚合物; 辐射敏感酸发生器; 由下式（1）表示的酸扩散抑制剂; 和溶剂。在式（1）中，R，Rand Reach独立地表示氢原子或碳原子数1〜20的一价有机基团。 n表示1〜5的整数，当n为2以上时，多个R may可以相同或不同，多个R may可以相同也可以不同。 Xand Xeach独立地表示氧原子或硫原子。

15. 发明专利

JP2015102820A 感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物有权
标题翻译：辐射敏感性树脂组合物，耐蚀图案形成方法，聚合物和化合物
公开(公告)号：JP2015102820A
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：JP2013245499
申请日：2013-11-27
申请人： JSR株式会社
发明人：仁井啓之 , 生井準人 , 永井智樹
IPC分类号： G03F7/038 , H01L21/027 , C08F20/36 , G03F7/039
摘要：【課題】LWR性能、CDU性能、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度、露光余裕度及びMEEF性能に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】式(1)で表される基を含む第1構造単位を有する重合体、及び感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物。式(1)中、R 1 及びR 2 は、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜30の1価の有機基である。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：提供具有优异的LWR性能，CDU性能，分辨率，截面形状的矩形度，焦深，曝光余量和MEEF性能的辐射敏感性树脂组合物。解决方案：辐射敏感性树脂组合物包含具有包含由式（1）表示的基团的第一结构单元和辐射敏感的酸产生剂。在式（1）中，Rand Reach独立地表示氢原子或1-30C一价有机基团。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式