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    • 17. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON PARTIKELN IN EINEM ATMOSPHÄRENDRUCKPLASMA
    • 方法和设备粒子在大气等离子的生产
    • WO2015055711A1
    • 2015-04-23
    • PCT/EP2014/072106
    • 2014-10-15
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
    • IHDE, JörgWILKEN, RalphDEGENHARDT, JostSTEPANOV, Sergey
    • C23C14/22C23C14/32H01J37/32
    • C23C14/228C23C14/325H05H1/42H05H1/48H05H2240/10
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Partikeln (30) unter Verwendung eines Atmosphärendruckplasmas, bei dem das Plasma durch eine Entladung (15, 15') zwischen Elektroden (16, 16', 16"; 5, 32) in einem Prozessgas (18) erzeugt wird, und mindestens eine der Elektroden eine Opferelektrode (16, 16', 16") ist, von der durch die Entladung Material abgetragen wird, wobei es sich bei dem abgetragenen Material um Partikel handelt und/oder aus dem abgetragenen Material Partikel entstehen. Ein Abschnitt der Opferelektrode wird aktiv so gekühlt, dass die mittlere Temperatur der Opferelektrode in einem Bereich der Opferelektrode außerhalb des Entladungsbereichs (17, 17', 17") der Opferelektrode niedriger ist als innerhalb des Entladungsbereichs der Opferelektrode. Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Herstellung von Partikeln (30) unter Verwendung eines Atmosphärendruckplasmas, die umfasst: ein Gehäuse (5) mit einem Kanal (7, 7', 7"), mindestens zwei Elektroden (16, 16', 16"; 5, 32), die zumindest teilweise in dem Kanal angeordnet sind, und eine Spannungsquelle (22), die dafür eingerichtet ist, eine Spannung zwischen den mindestens zwei Elektroden anzulegen. Die mindestens zwei Elektroden sind dafür eingerichtet, das Plasma durch eine Entladung (15, 15') zwischen den Elektroden in einem Prozessgas (18) in dem Kanal zu erzeugen, und mindestens eine der Elektroden ist eine Opferelektrode (16, 16', 16"), von der durch die Entladung Material abgetragen wird, wobei es sich bei dem abgetragenen Material um Partikel handelt und/oder aus dem abgetragenen Material Partikel entstehen. Die Vorrichtung umfasst ferner eine Kühleinrichtung (2), die dafür eingerichtet ist, einen Abschnitt der Opferelektrode aktiv so zu kühlen, dass die mittlere Temperatur der Opferelektrode in einem Bereich der Opferelektrode außerhalb des Entladungsbereichs (17, 17', 17") der Opferelektrode niedriger ist als innerhalb des Entladungsbereichs der Opferelektrode.
    • 本发明涉及一种用于生产颗粒使用常压等离子体的方法(30),其中,所述等离子体由“电极之间(16,16上的排放口(15,15)”,16“; 5,32)的工艺气体(18 )被产生,并且电极中的至少一个,牺牲电极(16,16”,16“),它是从通过排出材料,除去其中它是在烧蚀材料,以从所述移除的材料所得的颗粒和/或颗粒 , 牺牲电极的一部分被积极地冷却,使得所述牺牲电极的在所述牺牲电极的放电区(17,17”,17“)的外侧的牺牲电极的面积的平均温度比所述牺牲电极的放电区域内的较低。本发明进一步涉及一种用于 使用大气压等离子体,其包括制备颗粒的(30):一个壳体(5)具有一个信道(7,7”,7“),至少两个电极(16,16' ,16" ; 5,32) 在本之间至少部分地设置在通道中,并且其适于施加在所述至少两个电极之间的电压的电压源(22)。所述至少两个电极适合于等离子体通过一个排放口(15,15“) 以形成在所述通道中的工艺气体(18)中的电极,和电极中的至少一个是牺牲电极(16,16”,16“),从材料通过排出除去 其中它是在烧蚀材料对颗粒和/或从所述去除的材料粒子产生。 该装置还包括适于冷却所述牺牲电极的一部分有源冷却装置(2),使得在放电区外侧的牺牲电极的面积牺牲电极的牺牲电极的平均温度(17,17”,17“)低 被认为是在牺牲电极的放电区域内。