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    • 15. 发明申请
    • SELF-ASSEMBLY STRUCTURES USED FOR FABRICATING PATTERNED MAGNETIC MEDIA
    • 用于制作图形磁介质的自组装结构
    • US20110215070A1
    • 2011-09-08
    • US13108515
    • 2011-05-16
    • Thomas R. AlbrechtXiao Z. WuHenry Hung Yang
    • Thomas R. AlbrechtXiao Z. WuHenry Hung Yang
    • B29C33/42B05D5/12
    • G11B5/855B82Y10/00G11B5/743G11B5/82G11B5/865
    • Methods of defining servo patterns and data patterns for forming patterned magnetic media are described. For one method, a lithographic process is performed to define a servo pattern in servo regions on a substrate. The lithographic process also defines a first data pattern in data regions of the substrate. The first data pattern is then transferred to (i.e., etched into) the data regions. Self-assembly structures are then formed on the data pattern in the data regions to define a second data pattern. The servo pattern is then transferred to the servo regions and the second data pattern is transferred to the data regions. Thus, the servo pattern is defined through lithographic processes while the data pattern is defined by a combination of lithographic processes and self-assembly.
    • 描述了定义用于形成图案化磁性介质的伺服图案和数据图案的方法。 对于一种方法,执行光刻处理以在衬底上的伺服区域中定义伺服图案。 光刻工艺还定义了衬底的数据区域中的第一数据模式。 然后将第一数据模式转移到(即蚀刻)数据区。 然后在数据区域中的数据模式上形成自组装结构以定义第二数据模式。 然后将伺服模式传送到伺服区域,并将第二数据模式传送到数据区域。 因此,通过光刻工艺定义伺服图案,同时通过光刻工艺和自组装的组合来定义数据图案。
    • 18. 发明申请
    • SELF-ASSEMBLY STRUCTURES USED FOR FABRICATING PATTERNED MAGNETIC MEDIA
    • 用于制作图形磁介质的自组装结构
    • US20090166321A1
    • 2009-07-02
    • US11964680
    • 2007-12-26
    • Thomas R. AlbrechtXiao Z. WuHenry Hung Yang
    • Thomas R. AlbrechtXiao Z. WuHenry Hung Yang
    • B44C1/22
    • G11B5/855B82Y10/00G11B5/743G11B5/82G11B5/865
    • Methods of defining servo patterns and data patterns for forming patterned magnetic media are described. For one method, a lithographic process is performed to define a servo pattern in servo regions on a substrate. The lithographic process also defines a first data pattern in data regions of the substrate. The first data pattern is then transferred to (i.e., etched into) the data regions. Self-assembly structures are then formed on the data pattern in the data regions to define a second data pattern. The servo pattern is then transferred to the servo regions and the second data pattern is transferred to the data regions. Thus, the servo pattern is defined through lithographic processes while the data pattern is defined by a combination of lithographic processes and self-assembly.
    • 描述了定义用于形成图案化磁性介质的伺服图案和数据图案的方法。 对于一种方法,执行光刻处理以在衬底上的伺服区域中定义伺服图案。 光刻工艺还定义了衬底的数据区域中的第一数据模式。 然后将第一数据模式转移到(即蚀刻)数据区。 然后在数据区域中的数据模式上形成自组装结构以定义第二数据模式。 然后将伺服模式传送到伺服区域,并将第二数据模式传送到数据区域。 因此,通过光刻工艺定义伺服图案,而数据图案由光刻工艺和自组装的组合来定义。