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热词
    • 11. 发明申请
    • CONDUCTIVE CONTAMINATION RESISTANT INSULATOR
    • 导电性耐污染绝缘体
    • WO2010054193A2
    • 2010-05-14
    • PCT/US2009/063552
    • 2009-11-06
    • VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATESBECKER, KlausALVARADO, Daniel
    • BECKER, KlausALVARADO, Daniel
    • H01L21/265
    • H01J37/08H01J37/3171H01J2237/038
    • An apparatus that forms a source bushing, while comprehending the possible formation of electrically conductive films thereon, is disclosed. Such an apparatus may advantageously be used to isolate an ion source from other components within the ion im planter, as these components may be at different electrical potentials. In one embodiment, the source bushing is constructed from a material having a iower electrical resistance than is currently used. By constructing the bushing in this manner, the effects of the applied lower resistance films is reduced, as the change in effective resistance is reduced. In other embodiments, the source bushing is purposely lined with an electrically semiconducting material, so that the effects of the later applied lining are minimized. In either case, the electrical potential between the two devices that are being isolated by the bushing is more evenly applied across the bushing.
    • 公开了一种形成源极衬套的设备,同时理解其上可能形成导电膜。 这样的设备可以有利地用于将离子源与离子注入器内的其他部件隔离,因为这些部件可以处于不同的电势。 在一个实施例中,源极衬套由具有比当前使用的更低电阻的材料构造。 通过以这种方式构造套管,随着有效电阻的变化减小,所施加的较低电阻膜的作用降低。 在其他实施例中,源极衬套有目的地用半导体材料衬里,以便后来施加的衬里的效果被最小化。 无论哪种情况,通过套管隔离的两个装置之间的电势均匀地施加在套管上。
    • 12. 发明申请
    • BEDIENEINRICHTUNG FÜR DEN FOKUSSIERTRIEB EINES MIKROSKOPS
    • 控制装置显微镜的饥饿GROUND
    • WO2009040012A1
    • 2009-04-02
    • PCT/EP2008/007691
    • 2008-09-16
    • CARL ZEISS MICROLMAGING GMBHSCHADWINKEL, HaraldWAHL, HubertBECKER, KlausKNUPFER, KlausNOLTE, Frank
    • SCHADWINKEL, HaraldWAHL, HubertBECKER, KlausKNUPFER, KlausNOLTE, Frank
    • G02B21/24
    • G02B21/242
    • Die Erfindung bezieht sich auf eine Bedieneinrichtung (1) für den Fokussiertrieb eines Mikroskops, ausgestattet mit Drehknöpfen (3, 4), die eine Bewegung der Finger oder der Hand (7) eines Bedieners aufnehmen und über Getriebeglieder in eine Änderung der Fokusposition relativ zu einer zu beobachtenden Probe wandeln. Bei einer Bedieneinrichtung (1) dieser Art ist vorgesehen, daß - beide Drehknöpfe (3, 4) in bezug auf ihre Drehachse (5) koaxial und gegeneinander nicht verdrehbar auf einer gemeinsamen Welle angeordnet und über diese Welle mit einem Drehwinkelgeber verbunden sind, und - ein mit der Ansteuerschaltung in Verbindung stehender und durch Berühren oder Bewegen eines oder beider Drehknöpfe (3, 4) zu betätigender Umschalter vorgesehen ist, wobei die Ansteuerschaltung so ausgelegt ist, daß sie in Abhängigkeit von dem mit beiden Drehknöpfen (3, 4) vorgegebenen Drehwinkel und in Abhängigkeit von der Betätigung des Umschalters eine Grob- oder Feinverstellung der Fokusposition relativ zu der zu beobachtenden Probe generiert.
    • 本发明涉及一种操作装置(1),用于配备有旋钮显微镜的聚焦驱动器(3,4),其容纳所述手指或手腕的运动在相对于焦点位置的改变的操作者和传动部件,(7)一 转换样品被观测到。 在这种规定,控制装置(1) - 两个(3,4)相对于旋转(5)同轴且相互不可旋转地布置在共同的轴上,并且经由该轴被连接到一个旋转编码器,且其轴线 - 在组合所述驱动电路的站立和通过触摸或移动一个或两个旋钮(3,4)被提供给致动开关,其特征在于,所述驱动电路被设计成使得它们预定的两个旋钮的功能(3,4)旋转角度 并产生响应于被观察相对于试样中的焦点位置的粗调或微调开关的致动。
    • 16. 发明申请
    • SCHRÄGSCHEIBEN-SCHWENKLAGER
    • 斜盘SCHWENKLAGER
    • WO2006122613A2
    • 2006-11-23
    • PCT/EP2006/003185
    • 2006-04-07
    • SCHAEFFLER KGBECKER, KlausVORNEHM, HaraldLORZ, Andreas
    • BECKER, KlausVORNEHM, HaraldLORZ, Andreas
    • F16C19/50F16C33/34F16C33/46F04B1/20
    • F04B1/2085F16C19/502F16C33/306F16C33/34F16C33/46F16C2360/00
    • Die Erfindung betrifft ein Schrägscheiben-Schwenklager, bei dem zwischen einer hohlzylindrischen Lagerfläche (12) für eine Schrägscheibe (10) in einem Gehäuse (3) und einer zylindrischen Lagerfläche (11) an der Schrägscheibe (10) Wälzlager-Segmente (15) angeordnet sind, die in bogenförmigen Käfigen (17) gehalten sind, wobei Mittel zur Käfigsteuerung vorhanden sind, die verhindern, dass der Wälzkörper (16) aufnehmende Käfig (17) aus seiner im Schwenklager günstigsten Lage verrutscht. Nach der Erfindung ist die Käfigsteuerung in die Wälzlager-Segmente (15) derart integriert, dass wenigstens ein zylindrisch ausgebildeter Wälzkörper (23, 23.1, 23.2) mit der hohlzylindrischen (12) und der zylindrischen Lagerfläche (11) formschlüssig in Eingriff steht. Dadurch wird erreicht, dass unter der Einwirkung von Vibrationen das Wälzlager-Segment (15) aus dem Lagerspalt (22) nicht herauswandern kann.
    • 是本发明涉及一种旋转斜盘枢转轴承,在轴承段的中空筒形轴承表面(12),用于在壳体(3)和一个圆柱形轴承表面(11)上的旋转斜盘(10)的旋转斜板(10)(15)之间设置 这在保持弧形网箱(17),所述用于控制笼存在这防止滚动体(16)接收保持架(17)滑出的枢轴承其最佳位置的。 根据本发明,保持架控制集成到轴承段(15),使得至少形成为圆筒状的辊主体(23,23.1,23.2),以中空圆柱形(12)和所述圆柱形轴承表面(11)是在正接合。 由此实现不能振动的作用下,从所述轴承间隙(22)的滚动轴承段(15)下方移出。