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11. 发明申请

WO2014178684A1 루테늄 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 审中-公开
标题翻译：钌前驱体，其制备方法及使用其形成薄膜的方法
公开(公告)号：WO2014178684A1
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：PCT/KR2014/003957
申请日：2014-05-02
申请人： 한국화학연구원
发明人： 박보근 , 정택모 , 김창균 , 전동주 , 정은애
IPC分类号： C23C16/06 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45553 , C07F15/0046 , C23C16/18 , C23C16/40
摘要： 본 발명은 화학식 1로 표시되는 루테늄 전구체에 관한 것으로, 상기 루테늄 전구체는 열적 안정성과 휘발성이 향상되고, 박막 증착 시 산소를 사용하지 않아도 되는 장점이 있어 양질의 루테늄 박막을 형성할 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及由化学式1表示的钌前体，钌前体具有改善的热稳定性和挥发性，并且在沉积薄膜时不必使用氧，因此能够形成高分子量优质钌薄膜。

12. 发明申请

WO2013165221A1 아미노싸이올레이트 리간드를 이용한 금속 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 审中-公开
标题翻译：使用氨基丁酸酯配位体的金属前驱体，其制备方法以及使用其制造薄膜的方法
公开(公告)号：WO2013165221A1
公开(公告)日：2013-11-07
申请号：PCT/KR2013/003879
申请日：2013-05-03
申请人： 한국화학연구원
发明人： 박보근 , 김창균 , 정택모 , 전동주 , 이영국 , 박주현 , 강성구 , 송정인 , 여소정 , 정윤장 , 공기정 , 정석종 , 김효숙
IPC分类号： C07F1/08 , C07F3/06 , C07F7/22 , C07F7/24 , C23C16/18
CPC分类号： C23C16/305 , C07F1/005 , C07F3/003 , C07F7/003 , C07F7/2284 , C07F9/902
摘要： 본 발명은 아미노싸이올레이트 리간드를 이용한 금속 전구체에 관한 것으로, 상기 금속 전구체는 황을 포함하고 있는 전구체로서 박막 제조 중에 별도의 황을 첨가시키지 않아도 되는 장점이 있고 열적 안정성과 휘발성이 향상되어 양질의 황화금속 박막을 형성할 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及使用氨基硫醇配体的金属前体，其中金属前体包含硫，并且具有在制造薄膜时不需要单独添加硫的优点，并且由于制备高质量的金属硫化物薄膜而形成增强的热稳定性和挥发性。

13. 发明申请

WO2023068629A1 3족 금속 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하는 박막의 제조방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2023068629A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2022/015345
申请日：2022-10-12
申请人： 한국화학연구원
发明人： 박보근 , 고용민 , 정택모 , 김건환 , 엄태용 , 류지연
IPC分类号： C23C16/40 , C23C16/455 , C07F5/00
摘要： 본 발명은 신규한 3족 금속 전구체, 이의 제조방법, 이를 이용하는 박막의 제조방법 및 이를 채용하여 제조되는 박막에 관한 것으로, 상기 3족 금속 전구체는 고유전상수 및 열역학적 안정성을 가지고 우수한 증기압을 나타내어, 우수한 순도의 박막을 제조할 수 있다.

14. 发明申请

WO2023013949A1 루테늄 유기금속화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2023013949A1
公开(公告)日：2023-02-09
申请号：PCT/KR2022/010925
申请日：2022-07-26
申请人： 한국화학연구원 , 주식회사 메카로
发明人： 정택모 , 류지연 , 엄태용 , 김창균 , 박보근 , 박찬우 , 김선아 , 황정민
IPC分类号： C07F15/00 , C07F17/00 , C23C16/18 , C23C16/40 , C23C16/455
摘要： 본 발명은 루테늄 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 화학기상증착 또는 용액공정을 통하여 박막을 제조함에 있어, 열적 안정성과 휘발성이 개선되고, 낮은 온도에서 쉽게 양질의 루테늄 박막 또는 루테늄 산화물 박막을 제조할 수 있는 루테늄 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.

15. 发明申请

WO2015060636A1 단원자 증착법을 이용한 복합 및 비대칭적인 복합박막 및 이의 제조방법 审中-公开
标题翻译：复合和不对称复合薄膜及其使用原子沉积法制备其的方法
公开(公告)号：WO2015060636A1
公开(公告)日：2015-04-30
申请号：PCT/KR2014/009938
申请日：2014-10-22
申请人： 한국화학연구원
发明人： 정윤장 , 이영국 , 최원진 , 이정오 , 정택모 , 김창균
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/06
CPC分类号： C23C16/40 , C23C16/45525
摘要： 본 발명은 단원자 증착(atomic layer deposition, ALD)법을 이용하여, 도핑영역층과 비도핑영역층을 구비하여 두께 방향으로 성분상에 있어서 복합 및 비대칭적인 복합박막 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복합박막은 박막 일부에 도판트 원자층을 포함하는 도핑영역층을 구비함으로써, 박막 두께 방향으로 성분상에 있어서 복합 및 비대칭적 특성을 갖게 되고, 이는 도핑영역층과 비도핑영역층간의 밴드 구조가 달라지게 됨으로써 박막의 층 영역별로 전자기적 특성이 달라지게 되고, 기능성이 향상되어 디스플레이, 메모리, 반도체 영역 전반에 걸쳐서 사용될 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种复合薄膜，其通过原子层沉积（ALD）设置有掺杂区域层和非掺杂区域层，因此在厚度方向上的分量方面是复杂的和不对称的，并且一种制备方法。根据本发明的复合薄膜在薄膜的一个区域上具有包括掺杂剂原子层的掺杂区域层，从而在薄膜的厚度方向上的成分方面具有复杂且不对称的性质，并且允许掺杂区域层和非掺杂区域层具有不同的带结构，从而对薄膜的每个层区域具有不同的电磁特性。因此，复合薄膜具有改进的功能，可用于显示器，存储器和半导体的所有领域。

16. 发明申请

WO2013168941A1 산화 마그네슘 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 审中-公开
标题翻译：氧化镁前驱体，其制造方法以及使用其形成薄膜的方法
公开(公告)号：WO2013168941A1
公开(公告)日：2013-11-14
申请号：PCT/KR2013/003910
申请日：2013-05-06
申请人： 한국화학연구원
发明人： 박보근 , 정택모 , 김창균 , 전동주 , 김효숙 , 이영국 , 안기석 , 이선숙 , 임종선
IPC分类号： C01F5/00 , C23C16/18
CPC分类号： C23C16/403
摘要： 본 발명은 β-다이케토네이트와 아미노알콕사이드 리간드를 갖는 산화 마그네슘 전구체에 관한 것으로, 상기 산화 마그네슘 전구체는 열적으로 안정하고 휘발성이 좋으므로 양질의 산화 마그네슘을 포함한 박막을 형성할 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及具有β-二酮酸盐和氨基 - 醇盐配体的氧化镁前体。氧化镁前体具有良好的热稳定性和挥发性，因此可以获得改善的含氧化镁薄膜。

17. 发明申请

WO2023080505A1 신규한 유기금속화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2023080505A1
公开(公告)日：2023-05-11
申请号：PCT/KR2022/016135
申请日：2022-10-21
申请人： 한국화학연구원
发明人： 정택모 , 류지연 , 박찬우 , 박보근 , 김창균 , 엄태용
IPC分类号： C07F3/00 , C23C16/18 , C23C16/40 , C23C16/455
摘要： 본 발명은 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 화학기상증착 또는 용액공정을 통하여 박막을 제조함에 있어, 열적 안정성과 휘발성이 개선되고, 낮은 온도에서 쉽게 양질의 금속 박막 또는 금속 산화물 박막을 제조할 수 있는 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.

18. 发明申请

WO2013165212A1 스트론튬 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 审中-公开
标题翻译：锶前体，其制备方法和使用它形成薄膜的方法
公开(公告)号：WO2013165212A1
公开(公告)日：2013-11-07
申请号：PCT/KR2013/003866
申请日：2013-05-03
申请人： 한국화학연구원
发明人： 박보근 , 정택모 , 김창균 , 조지쉐비메리 , 이영국 , 임종선 , 정석종 , 전동주 , 안기석 , 이선숙
IPC分类号： C07F3/00 , C23C16/18
CPC分类号： C07F3/003 , C07F3/00 , C23C16/18 , C23C16/409 , C23C16/44 , C23C16/45525
摘要： 본 발명은 베타디케톤네이트 화합물을 포함하는 신규의 스트론튬 전구체에 관한 것으로, 상기 스트론튬 전구체는 열적으로 안정하고 휘발성이 좋으므로 양질의 스트론튬 박막을 형성할 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及包含β-二酮化合物的新型锶前体，其中由于其热稳定性和高挥发性，锶前体可以形成高品质的锶薄膜。

19. 发明申请

WO2020116770A1 4족 전이금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여　박막을 형성하는 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2020116770A1
公开(公告)日：2020-06-11
申请号：PCT/KR2019/013698
申请日：2019-10-18
申请人： 한국화학연구원
发明人： 박보근 , 정택모 , 김건환 , 이선주 , 이가연 , 김창균 , 이영국
IPC分类号： C07F7/28 , C07F7/00 , C23C16/40 , C23C16/455 , H01L21/02 , H01L21/285
摘要： 본 발명은 4족 전이금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여　박막을 형성하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 4족 전이금속 화합물은 열적으로 안정하고 휘발성이 우수하고 저장안정성이 높아, 이를 전구체로 이용하여 고밀도 및 고순도의 4족 전이금속함유 박막 및 이의 제조방법을 제공할 수 있다.

20. 发明申请

WO2017082541A1 금속 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 审中-公开
标题翻译：金属前体，其制造方法及使用该方法形成薄膜的方法
公开(公告)号：WO2017082541A1
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：PCT/KR2016/011359
申请日：2016-10-11
申请人： 한국화학연구원
发明人： 박보근 , 정택모 , 전동주 , 한정환 , 남지현 , 김창균 , 정은애
IPC分类号： C07F7/22 , C23C16/06 , C23C16/455 , H01L21/205 , H01L21/02 , C07F5/00
CPC分类号： C07F5/00 , C07F7/22 , C23C16/06 , C23C16/455 , H01L21/02 , H01L21/205
摘要： 본 발명은 열적 안정성과 휘발성이 개선된 신규한 금속 전구체에 관한 것으로, 상기 금속 전구체를 이용하여 낮은 온도에서 우수한 성장 속도로, 쉽게 양질의 금속 산화물 박막을 제조하는 방법 및 이를 통해 제조된 박막을 제공할 수 있다.
摘要翻译：这
本发明涉及具有热稳定性和挥发性改进前体，使用金属前体来制备高的生长速度，在低温下容易质量金属氧化物薄膜的方法的新的金属而由此产生的薄膜。

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