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    • 16. 发明专利
    • 光干涉裝置
    • 光干涉设备
    • TW201323854A
    • 2013-06-16
    • TW100144170
    • 2011-12-01
    • 財團法人工業技術研究院INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
    • 張銓仲CHANG, CHUAN CHUNG
    • G01N21/45
    • G01B9/02035G01B9/02091
    • 一種光干涉裝置,可對待測物進行檢測。此裝置包括光源、光耦合器、反射器、第一透鏡組及光感測單元。其中,光耦合器位於光源所發出之光束路徑中,且光耦合器可將光源所發出之光束分為量測子光束與參考子光束。反射器位於參考子光束傳遞路徑中並可反射參考子光束。第一透鏡組包括位於量測子光束傳遞路徑中之第一透鏡。量測子光束通過第一透鏡後傳遞至待測物。待測物將部分量測子光束藉由反射或散射返回至第一透鏡。第一透鏡可擴展第一透鏡組之景深。光感測單元位於參考子光束及量測子光束傳遞路徑,用以獲得參考子光束與量測子光束所形成之干涉訊號。
    • 一种光干涉设备,可对待测物进行检测。此设备包括光源、光耦合器、反射器、第一透镜组及光传感单元。其中,光耦合器位于光源所发出之光束路径中,且光耦合器可将光源所发出之光束分为量测子光束与参考子光束。反射器位于参考子光束传递路径中并可反射参考子光束。第一透镜组包括位于量测子光束传递路径中之第一透镜。量测子光束通过第一透镜后传递至待测物。待测物将部分量测子光束借由反射或散射返回至第一透镜。第一透镜可扩展第一透镜组之景深。光传感单元位于参考子光束及量测子光束传递路径,用以获得参考子光束与量测子光束所形成之干涉信号。