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11. 发明专利

JP2020038901A 静電チャック装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020038901A
公开(公告)日：2020-03-12
申请号：JP2018165161
申请日：2018-09-04
申请人：株式会社アルバック
发明人：川久保大輔 , 藤田勝博 , 橘高朋子 , 大橋靖知 , 前平謙 , 不破耕 , 川口崇文
IPC分类号： H02N13/00 , G01B7/00 , G01D5/241 , G01D5/245 , H01L21/683
摘要：【課題】簡素な構成で基板の位置ずれを精度よく検出することができる静電チャック装置を提供する。【解決手段】本発明の一形態に係る静電チャック装置は、チャック本体と、電力供給部と、制御部とを具備する。チャック本体は、基板を載置可能な支持面と、支持面に対向して配置された第1の電極と、支持面に対向して配置され第1の電極を囲う環状の第2の電極とを有する。電力供給部は、第1の電極に対して第1の電力を供給することが可能な第1の電力供給ラインと、第2の電極に対して第2の電力を供給することが可能な第2の電力供給ラインとを有する。制御部は、第1の電極へ第1の電力を供給することで支持面上の基板を吸着する第1の制御モードと、第2の電極へ第2の電力を供給することで支持面上の基板の位置ずれを検出する第2の制御モードとを、選択的に又は同時に実行することが可能に電力供給部を制御する。【選択図】図2

12. 发明专利

JP6616116B2 非接触式の給電システム有权
公开(公告)号：JP6616116B2
公开(公告)日：2019-12-04
申请号：JP2015150369
申请日：2015-07-30
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博 , 川口崇文
IPC分类号： B25J19/00 , H01L21/677 , B65G49/07 , H02J50/05

13. 发明专利

JP2019041029A 真空装置、吸着電源审中-公开
公开(公告)号：JP2019041029A
公开(公告)日：2019-03-14
申请号：JP2017162819
申请日：2017-08-25
申请人：株式会社アルバック
发明人：大橋靖知 , 川久保大輔 , 藤田勝博 , 前平謙 , 橘高朋子 , 不破耕
IPC分类号： H01L21/683
摘要：【課題】基板の吸着状態を検出する。【解決手段】交流信号発生器16から逆位相の正電圧側測定信号と負電圧側測定信号とを吸着装置5に出力して流れる電流を測定すると基板電極間容量C S が求められ、基板6の吸着状態が分かる。同相の正電圧側測定信号と負電圧側測定信号とを出力するとプラズマの容量C P が求められ、プラズマの状態が分かる。【選択図】図1

14. 发明专利

JP6400188B2 吸着装置、真空処理装置有权
公开(公告)号：JP6400188B2
公开(公告)日：2018-10-03
申请号：JP2017512529
申请日：2016-04-11
申请人：株式会社アルバック
发明人：川久保大輔 , 前平謙 , 不破耕 , 鈴木傑之
IPC分类号： H02N13/00 , H01L21/683
CPC分类号： B65G49/00 , H01L21/683 , H02N13/00

15. 发明专利

JP6387294B2 吸着装置、真空処理装置、真空処理方法审中-公开
公开(公告)号：JP6387294B2
公开(公告)日：2018-09-05
申请号：JP2014251865
申请日：2014-12-12
申请人：株式会社アルバック
发明人：川久保大輔 , 前平謙 , 不破耕
IPC分类号： H01L21/683

16. 发明专利

JP6298933B2 基板搬送方法有权
公开(公告)号：JP6298933B2
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：JP2017526170
申请日：2016-06-23
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博
IPC分类号： H02J50/80 , H02J50/05
CPC分类号： B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/05

17. 发明专利

JP6182692B2 静電チャック付き搬送ロボットの制御システム有权
公开(公告)号：JP6182692B2
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：JP2017521682
申请日：2016-05-24
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博
IPC分类号： H02J50/90 , B25J15/00 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC分类号： B25J15/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/90

18. 发明专利

JP2017011819A 非接触式の給電システム审中-公开
标题翻译：非接触类型馈电系统
公开(公告)号：JP2017011819A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2015122946
申请日：2015-06-18
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博
IPC分类号： H01L21/677 , B25J19/00 , H02J50/00
摘要：【課題】搬送ロボットに複数の吸着用電極が設けられている場合でも、簡単な構成で各吸着用電極に給電できて低コストの非接触式の給電システムを提供する。【解決手段】給電回路ユニット2と、この給電回路ユニットに夫々接続される少なくとも2個のキャパシタ4とを備える。各キャパシタは、一対の電極間41,42で機械的に分離され、一方の電極を固定配置し、他方の電極を搬送ロボットの可動部分に設ける。一のキャパシタ4aを給電回路ユニットからの交流電圧を整流して直流電圧に変換する変換回路ユニット2に接続し、第2のキャパシタ4bを交流電力の入力で切り換わるスイッチング素子を有する第1の切換回路ユニットに接続し、変換回路ユニットが第1の切換回路ユニットを介して吸着用電極に接続する。【選択図】図2
摘要翻译：甲即使设置多个抽吸电极的输送机械手，以提供非接触型低成本可以在吸引电极以简单的结构来供电的供电系统。它设置有供电电路部2，和至少两个电容器4分别连接到电源电路单元。每个电容器被机械地通过一对电极分离41和42之间，固定地布置的一个电极，设置在另一方的电极，以传送机器人的可动部。一个由整流从连接到转换电路单元2，用于将所述直流电压的电源电路部的交流电压的电容器4a，具有切口的第一开关切换开关元件，并在输入的交流电源，第二电容器4b的连接到所述电路单元，转换器单元通过第一开关电路单元连接到所述抽吸电极。 .The

19. 发明专利

JP2016115758A 吸着装置、真空処理装置、真空処理方法审中-公开
标题翻译：吸收器，真空处理器和真空处理方法
公开(公告)号：JP2016115758A
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：JP2014251865
申请日：2014-12-12
申请人：株式会社アルバック
发明人：川久保大輔 , 前平謙 , 不破耕
IPC分类号： H01L21/683
摘要：【課題】処理対象物23の残留電荷を測定し、残留電荷を消滅させる。【解決手段】第一電極2が設けられた吸着板21に処理対象物23を配置し、第一開閉装置7を閉状態にして第一電極2を吸着電源24に接続し、処理対象物23を吸着しながら真空処理を行った後、第一開閉装置7を開状態にし、処理対象物23を導電性の帯電ガスで接地電位に接続し、第一電極2の電位を測定する。処理対象物23を吸着板21から剥離させる前に、残留電荷の値が分かるから、正確な逆電圧を第一電極2に印加して、残留電荷を小さくすることができる。逆電圧を印加した後の残留電荷を測定し測定結果から求めた逆電圧を印加する手順を繰り返し行って、逆電荷を消滅させることができる。【選択図】図1A
摘要翻译：要解决的问题：测量处理对象23的残余电荷并消除残余电荷。解决方案：真空处理方法包括以下步骤：将处理对象23设置在吸收板21上，在该吸收板21上，第一电极2 被提供; 在将第一电极2连接到吸收电源24之前使第一开关7处于闭合状态; 在使第一开关7处于打开状态之前，同时吸收处理对象23进行真空处理; 通过使用导电静电荷气体将处理对象23连接到地电位; 并测量第一电极2的电位。在从吸收板21剥离处理对象23之前识别残留电荷的值使得可以向第一电极2施加精确的反向电压以减少剩余电荷。反复施加反向电压后，反复进行测量残留电荷的步骤，并且从测量结果得到的反向电压，可以消除反向电荷。图1A

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