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    • 14. 发明申请
    • フッ素化されたアダマンタン誘導体
    • 氟化ADAMANTANE衍生物
    • WO2004052832A1
    • 2004-06-24
    • PCT/JP2003/015879
    • 2003-12-11
    • 旭硝子株式会社岡添 隆渡邉 邦夫伊藤 昌宏室谷 英介
    • 岡添 隆渡邉 邦夫伊藤 昌宏室谷 英介
    • C07C69/753
    • C07C69/753C07C35/52C07C69/708C07C2603/74
    • 本発明は、耐エッチング性に優れ、フォトリソグラフィー用材料等として有用なフッ素化されたアダマンタン誘導体の製造に有用な新規化合物を提供する。すなわち、本発明は、下式(3)で表わされる化合物および下式(4)で表わされる化合物を提供する。 A(−G−Q−R) n ・・・(3) A f (−G f −Q−R f ) n ・・・(4) ただし、式中の記号は以下の意味を示す。 A:アダマンタンの水素原子のn個が結合手となったn価の基であり、かつ結合手にならない該水素原子は、アルキル基で置換されていてもよい。 R:含フッ素1価有機基。 n:1以上4以下の整数。 G:−CH 2 −または単結合。 Q:−COO−または−OCO−。 A f :アダマンタンの炭素原子に結合する水素原子のn個が結合手となったn価の基であり、かつ結合手にならない該水素原子はアルキル基で置換されていてもよい基(A)中のC−H結合を形成する水素原子の少なくとも1つがフッ素原子に置換された基。 R f :含フッ素1価有機基。 G f :−CF 2 −または単結合。
    • 本发明提供了可用于生产耐腐蚀性优异并可用作光刻材料等的氟化金刚烷衍生物的新型化合物,即由通式(3)和(4)表示的化合物:A(-GQR) n(3)A(f)( - G f -QR f)n(4)其中A是通过去除残留氢原子的n个氢原子而衍生自金刚烷的n价基团 各自被烷基取代; R为含氟一价有机基团; n为1〜4的整数, G是-CH 2 - 或单键; Q是-COO-或-OCO-; A 是对A定义的n价基团,其中至少一个形成C-H键的氢原子被氟取代; R f是含氟一价有机基团; 且G f是-CF 2 - 或单键。