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11. 实用新型

TW415641U 護環結構之銲墊磨平處理裝置失效
简体标题：护环结构之焊垫磨平处理设备
公开(公告)号：TW415641U
公开(公告)日：2000-12-11
申请号：TW088213267
申请日：1999-08-06
申请人：台灣積體電路製造股份有限公司
发明人：高宗恩 , 王明璁
IPC分类号： H01L
摘要：本創作為一護環結構之銲墊磨平處理裝置，主要係針對進行濺鍍沈積時，在回收處理護環結構流程時，由於使用酸洗處理將於護環結構上之沈積物除去的過程中，同時會腐蝕位於護環結構上之銲墊，而造成銲墊之不平整狀態，於再次使用時因其不平整狀態會直接接觸基板，而引起基板邊緣缺陷產生，本創作提出在回收處理過程中，多使用一銲墊磨平處理裝置，藉著銲墊與由矽化物與溶劑所組成的漿料摩擦，使經酸洗處理過之銲墊仍能保持表面平整現象，以解決習知回收處理技術中，所造成銲墊表面腐蝕之問題。
简体摘要：本创作为一护环结构之焊垫磨平处理设备，主要系针对进行溅镀沉积时，在回收处理护环结构流程时，由于使用酸洗处理将于护环结构上之沉积物除去的过程中，同时会腐蚀位于护环结构上之焊垫，而造成焊垫之不平整状态，于再次使用时因其不平整状态会直接接触基板，而引起基板边缘缺陷产生，本创作提出在回收处理过程中，多使用一焊垫磨平处理设备，借着焊垫与由硅化物与溶剂所组成的浆料摩擦，使经酸洗处理过之焊垫仍能保持表面平整现象，以解决习知回收处理技术中，所造成焊垫表面腐蚀之问题。

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