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    • 11. 发明申请
    • 電子部品用金属材料、電子部品、電子機器、金属材料の加工方法、電子部品の製造方法及び電子光学部品
    • 电子部件用金属材料,电子部件,电子设备,金属材料的制造方法,电子部件和电子部件的制造方法
    • WO2004022803A1
    • 2004-03-18
    • PCT/JP2003/011248
    • 2003-09-03
    • デプト株式会社上野 崇
    • 上野 崇
    • C22C9/00
    • C22C9/00H01L23/49866H01L23/53233H01L2924/0002H05K1/09H01L2924/00
    • 本発明は、電子部品および電子機器またはそれらの製品に使用される金属合金材料、電子および金属材料の加工方法及び電子光学部品に関し、例えば液晶表示素子、各種半導体製品あるいは部品、プリント配線基板、その他のICチップ部品等に適用して、従来に比して低抵抗率であり、更に製造工程中での優位性を保有した安定かつ加工性に優れた電子部品用金属合金材料、この金属材料を使用した電子部品、電子機器を提供する。本発明は、Cuを主成分とし、Moを0.1~3.0wt%含有し、Al、Au、Ag、Ti、Ni、Co、Siからなる群から選ばれた1又は複数の元素を合計で0.1~3.0wt%含有してなる合金を金属材料として適用する。この金属材料によれば、CuにMoを添加してCuの粒界にMoを均質に混入させることにより、Cu全体の耐候性を向上させることができる。
    • 电子零件; 电子设备; 用于此类产品的金属合金材料; 电子或金属材料的加工方法; 和电子光学部件。 例如,可用于液晶显示装置,各种半导体产品和部件,印刷线路板和其他材料如IC芯片部件的用于电子部件的金属合金材料还显示比常规物品低的电阻率,仍然 进一步确保了制造工艺的优势,安全可靠的加工性; 和电子零件和电子设备从金属合金材料。 主要由Cu组成的合金,含有0.1〜3.0重量%的Mo,总共含有0.1〜3.0重量%的选自Al,Au,Ag,Ti,Ni,Co中的一种或两种以上的元素 并且使用Si作为金属材料。 在这种金属材料中,将Mo添加到Cu中,以使Mo在Cu晶粒边界中均匀混合,从而可以提高全体Cu的耐候性。
    • 12. 发明申请
    • 回路基板及びその製造方法
    • 电路板及其制造方法
    • WO2005051058A1
    • 2005-06-02
    • PCT/JP2004/017069
    • 2004-11-17
    • デプト株式会社上野 崇望月 卓
    • 上野 崇望月 卓
    • H05K3/38
    • H05K3/388H05K3/108
    • 【課題】 基板とCu膜との密着性を十分に確保できる回路基板及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 本発明に係る回路基板は、基板1と、前記基板1上に形成されたCu合金薄膜2と、前記Cu合金薄膜2上に形成された膜厚が300nm以上30μm以下のCu鍍金膜3と、を具備し、前記Cu合金薄膜2は、Cuを主成分とし、Ti、Mo、Ni、Al及びAgからなる群から選ばれた少なくとも1種類の元素を合計で0.5~5.0wt%含有してなる合金からなり、膜厚が5nm以上1μm以下であることを特徴とする。これにより、基板とCu膜との密着性を十分に確保できる。
    • [问题]公开了一种电路板,其中可以充分确保衬底和Cu膜之间的粘附。 还公开了一种用于制造这种电路板的方法。 用于解决问题的手段一种电路板,包括基板(1),形成在基板(1)上的Cu合金薄膜(2)和厚度不小于300nm的Cu镀膜(3) 在Cu合金薄膜(2)上形成的不超过30μm的特征在于,Cu合金薄膜(2)由主要含有Cu的合金构成,并且还含有选自以下的至少一种元素: Ti,Mo,Ni,Al和Ag,其总量为0.5-5.0重量%,并且具有不小于5nm且不大于1μm的厚度。 通过这样的结构,能够充分确保基板与Cu膜的粘合性。
    • 16. 发明专利
    • Sputtering target, its production method, organic pigment-dispersed type thin film and its production method
    • 溅射目标,其生产方法,有机颜料分散型薄膜及其生产方法
    • JP2007321184A
    • 2007-12-13
    • JP2006151134
    • 2006-05-31
    • Dept Corpデプト株式会社
    • ODA NOBUHIRO
    • C23C14/34
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing an organic pigment dispersed type thin film having high adhesion to a substrate and solvent resistance without damaging the color development of organic pigment by dispersing the organic pigment into a metal oxide. SOLUTION: Metal powder with low hardness composed of metal comprising at least one selected from Sn, In, Al and Zn, and organic pigment powder are prepared, each powder is mixed, so as to form a powdery mixture, the powdery mixture is subjected to compacting by cold isostatic pressing or dry isostatic pressing, so as to produce a sputtering target, and, using the sputtering target, reaction sputtering of causing reaction with oxygen is performed by direct current discharge, thus an organic pigment dispersed type thin film is formed on a substrate. In the organic pigment dispersed type thin film, the organic pigment is dispersed into a metal oxide. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
    • 解决方案:提供一种生产有机颜料分散型薄膜的方法,该有机颜料分散型薄膜具有对基材的高粘附性和耐溶剂性,而不会通过将有机颜料分散在金属氧化物中而损害有机颜料的显色。 解决方案:制备由包含选自Sn,In,Al和Zn中的至少一种的金属组成的低硬度的金属粉末和有机颜料粉末,将各粉末混合以形成粉末混合物,将粉末混合物 通过冷等静压或干等静压进行压实,以制造溅射靶,并且使用溅射靶,通过直流放电进行与氧反应的反应溅射,因此有机颜料分散型薄膜 形成在基板上。 在有机颜料分散型薄膜中,有机颜料分散在金属氧化物中。 版权所有(C)2008,JPO&INPIT
    • 19. 发明专利
    • Sputtering target for thin film formation, dielectric thin film, optical disk, and method for producing the dielectric thin film
    • 用于薄膜形成的溅射靶,介质薄膜,光盘,以及用于生产电介质薄膜的方法
    • JP2006045666A
    • 2006-02-16
    • JP2005156967
    • 2005-05-30
    • Dept CorpPioneer Electronic Corpデプト株式会社パイオニア株式会社
    • HOSODA YASUOHIGUCHI TAKANOBUUENO TAKASHI
    • C23C14/34C23C14/08G11B7/254G11B7/257G11B7/26G11B11/105H01J11/22H01J11/34H01J11/38H01J11/40
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the diffusion of water and oxygen from a dielectric protective film by eliminating free oxygen from a thin oxide film without detriment to the characteristics of the film as a dielectric protective film. SOLUTION: A thin film of a mixed oxide comprising niobium oxide and silicon oxide or comprising niobium oxide and titanium oxide is used as a dielectric material for forming a dielectric protective film for an optical disk etc. In a desirable example, a target comprising niobium oxide as a main component and 1 to 30 wt.% of silicon oxide is used in the formation of an oxide thin film by sputtering. In this case, the oxide thin film is formed desirably in a nitrogen atmosphere. A nitrogen-containing oxide thin film is made by sputtering an oxygen-deficient target in the presence of a small amount of added nitrogen. By this way, it is possible to make a thin film having low reducibility and consequent high barrier properties as well as properties equivalent to those of a perfect oxide. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
    • 要解决的问题:通过从薄氧化膜中除去游离氧而不损害作为介电保护膜的特性的特性,防止水和氧从介电保护膜扩散。 解决方案:使用包含氧化铌和氧化硅或包含铌氧化物和氧化钛的混合氧化物的薄膜作为用于形成用于光盘的介电保护膜的电介质材料等。在期望的示例中,靶 以氧化铌作为主要成分,通过溅射形成氧化物薄膜,使用1〜30重量%的氧化硅。 在这种情况下,希望在氮气气氛中形成氧化物薄膜。 通过在少量添加的氮的存在下溅射缺氧靶来制造含氮氧化物薄膜。 通过这种方式,可以制备具有低还原性和随之而来的高阻隔性以及与完全氧化物相当的性质的薄膜。 版权所有(C)2006,JPO&NCIPI