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    • 20. 发明专利
    • Wärmesenkenplatte
    • DE102020103983A1
    • 2020-09-17
    • DE102020103983
    • 2020-02-14
    • DOWA METALTECH CO LTDTHE GOODSYSTEM CORP
    • CHO MEOUNG-WHANKIM IL-HOLEE SEOG-WOOKIM YOUNG-SUKNARIEDA HIROTOAOYAMA TOMOTSUGU
    • H01L23/373C22C9/00
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Wärmesenkenplatte, die eine große Menge an Wärme aufnehmen kann, wie ein elektronisches Hochleistungselement oder ein optisches Element, und die dazu in der Lage ist, die Bindung an ein Element, das aus einem Keramikmaterial besteht, während eines Verpackungsprozesses aufrechtzuerhalten und die im Einsatz ausgezeichnete Bindungseigenschaften aufweist. Die Wärmesenkenplatte umfasst eine erste Schicht, die aus Kupfer (Cu) oder einer Kupferlegierung besteht, eine zweite Schicht, die auf der ersten Schicht ausgebildet ist und aus Molybdän (Mo) oder einer Legierung besteht, die Kupfer (Cu) und eine oder mehrere Komponenten beinhaltet, welche aus Molybdän (Mo), Wolfram (W), Kohlenstoff (C), Chrom (Cr), Titan (Ti) und Beryllium (Be) gewählt werden, eine dritte Schicht, die auf der zweiten Schicht ausgebildet ist und aus Kupfer (Cu) oder einer Kupferlegierung (Cu) besteht, eine vierte Schicht, die auf der dritten Schicht ausgebildet ist und aus Molybdän (Mo) oder einer Legierung besteht, welche Kupfer (Cu) und ein oder mehrere Komponenten beinhaltet, die aus Molybdän (Mo), Wolfram (W), Kohlenstoff (C), Chrom (Cr), Titan (Ti) und Beryllium (Be) gewählt werden, und eine fünfte Schicht, die auf der vierten Schicht ausgebildet ist und aus Kupfer (Cu) oder einer Kupferlegierung (Cu) besteht. Eine Cobaltdiffusionsschicht (Co) mit einer vorgegebenen