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    • 152. 发明授权
    • 매우 높은 반복률의 협대역 가스방전 레이저 시스템
    • 非常高的重复率窄带带隙放电激光系统
    • KR101189525B1
    • 2012-10-16
    • KR1020067020183
    • 2005-03-03
    • 사이머 엘엘씨
    • 스테이거토마스디홀터웨이에드워드피무스만브라이언지라오라자세크하르엠
    • H01S3/22
    • H01S3/038H01S3/0057H01S3/07H01S3/097H01S3/09702H01S3/104H01S3/1305H01S3/2333
    • 매우 높은 반복률의 MOPA 구성의 가스방전 레이저 시스템을 제공하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 본 방법 및 장치는 매우 높은 펄스반복률로 오실레이터 레이저 출력광 펄스의 빔을 제공하는 마스터 오실레이터 가스방전 레이저 시스템; 및 이 마스터 오실레이터 가스방전 레이저 시스템으로부터 레이저 출력광 펄스를 수신하는 적어도 2개의 파워증폭 가스방전 레이저 시스템을 포함하고, 이 적어도 2개의 파워증폭 가스방전 레이저 시스템의 각각은 매우 높은 펄스반복률로 증폭된 출력 레이저 광 펄스 빔을 형성시키기 위해, 이 매우 높은 펄스반복률을 적어도 2개의 파워증폭 가스방전 레이저 시스템의 개수로 나눈 값과 동일한 펄스반복률로, 수신된 레이저 출력광 펄스의 일부를 증폭한다. 이 적어도 2개의 파워증폭 가스방전 레이저 시스템은 오실레이터 레이저 출력광 펄스 빔에 관하여 직렬로 배치된 2개의 파워증폭 가스방전 레이저 시스템으로 구성될 수 있다. 또한, 본 방법 및 장치는 파워증폭 레이저 시스템의 레이저 광 출력부와 연결되고, 파워증폭 레이저 시스템의 출력부와 광 이용툴의 입력부를 다이렉팅하고, 그리고 적어도 빔 포인팅 및 방향 제어를 제공하는 빔전달 유닛을 포함할 수 있다. 본 방법 및 장치는 2000Hz이상의 펄스반복률로 제1레이저 출력광 펄스 빔을 발생시키는 제1라인 내로우드 가스방전 레이저 시스템; 2000Hz이상의 펄스반복률로 제2레이저 출력광 펄스 빔을 발생시키는 제2라인 내로우드 가스방전 레이저 시스템; 및 4000Hz이상의 펄스반복률로 합성된 레이저 출력광 펄스 빔으로 제1 및 제2출력광 펄스 빔을 합성하는 빔 합 성기를 포함할 수 있는 매우 높은 반복률의 MOPO 구성의 가스방전 레이저 시스템일 수 있다. 본 방법 및 장치는 초당 x번으로 충전되는 압축헤드 전하저장 디바이스; 적어도 2세트의 가스방전 전극쌍을 포함하는 가스방전 챔버; 및 적어도 2개의 자성가포화 스위치를 포함하고, 이 자성가포화 스위치는 압축헤드 전하저장 디바이스와 적어도 2세트의 전극쌍 사이에 각각 연결되고, 제1바이어싱 권선에 대해 제1바이어싱 전류를 가지고 제2바이어싱 권선에 대해 제2바이어싱 전류를 가지는, 마주한 제1 및 제2바이어싱 권선을 포함하고, 적어도 2개의 스위치 중 하나는 x를 적어도 2세트의 전극쌍의 개수로 나눈 값과 동일한 반복률로 제1바이어싱 전류를 수신하고, 한편 적어도 2개의 자성가포화 스위치의 나머지 하나는 제2바이어싱 전류를 수신하도록, 제1바이어싱 전류로부터 제2바이어싱 전류로 바이어싱 전류를 스위칭하기 위한 스위칭 회로를 포함할 수 있다. 본 방법 및 장치는 리소그라피 툴로써 사용되거나, 또는 플라즈마 EUV 광으로 산출되는 레이저를 산출하기 위하여 사용될 수 있다.
      가스방전 레이저 시스템, 펄스반복률, 마스터 오실레이터 가스방전 시스템, 파워증폭 가스방전 레이저 시스템.