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    • 125. 发明申请
    • HALBLEITERBAUELEMENT
    • 半导体部件
    • WO2003096415A1
    • 2003-11-20
    • PCT/DE2003/000376
    • 2003-02-10
    • ROBERT BOSCH GMBHHAUENSTEIN, HenningTOPP, RainerSEIBOLD, JochenBALSZUNAT, DirkERNST, StephanFEILER, WolfgangKOESTER, ThomasHORNUNG, StefanSTREB, Dieter
    • HAUENSTEIN, HenningTOPP, RainerSEIBOLD, JochenBALSZUNAT, DirkERNST, StephanFEILER, WolfgangKOESTER, ThomasHORNUNG, StefanSTREB, Dieter
    • H01L23/373
    • H01L23/488H01L23/3735H01L23/482H01L25/072H01L2924/0002H01L2924/00
    • Die Erfindung betrifft ein einfach, schnell und dennoch sicher herstellbares Halbleiterbauelement, das insbesondere für Leistungsanwendungen verwend­bar ist und aufweist einen Halbleiter-Chip (2, 12), eine auf einer ersten Seite (2a) des Halbleiter-Chips (2, 12) ausgebildete unte­re erste auptelektrodenschicht (3, 13), eine auf der ersten Seite (2a) ausgebildete untere Steuerelektrodenschicht (4, 14), eine auf der ersten Seite (2a) zwischen der unteren ersten Hauptelektroden­schicht (3, 13) und der unteren Steuerelektrodenschicht (4, 14) ausgebildete Isolationsschicht (5, 15), die die untere erste Hauptelektrodenschicht-(3, 13) teilweise bedeckt, eine obere erste Hauptelektrodenschicht (6, 16), die auf der unteren ersten Hauptelektrodenschicht (3, 13) ausgebildet ist, eine obere Steuerelektrodenschicht (7, 17), die auf der unteren Steuerelektro­denschicht (4, 14) und der Isolationsschicht (5, 15) ausgebildet ist und sich auf der Isolationsschicht (5, 15) teilweise oberhalb der unteren ersteh Hauptelekt­rodenschicht (3, 13) erstreckt, und eine auf einer zweiten Seite (2b) des Halbleiter-Chips (2, 12) ausgebildete zweite Hauptelektrodenschicht (9, 19).
    • 本发明涉及一种简单,快速且还确保可生产半导体装置,其是用于功率应用中特别有用,并已形成在半导体芯片(2,12),在半导体芯片的第一侧面(2a)的(2,12)下 第一auptelektrodenschicht(3,13),一个在所述第一侧(2a)的形状的下部控制电极层(4,14),一个位于下侧的第一主电极层(3,13)和下控制电极层之间的第一侧(2a)的(4, 形成绝缘层(5,15)上14),所述下部第一Hauptelektrodenschicht-(3,13)部分地覆盖上部第一主电极层(6,16)(下侧的第一主电极层3,13)上形成,上 下部控制电极层(4,14)和所述绝缘层(5,15)上的控制电极层(7,17)和延伸的所述绝缘层(5,15)上部分之上的UNT 年长ersteh主电极层(3,13),和半导体芯片(2,12)形成的第二主电极层(9,19)的在第二侧(2b)的。
    • 128. 发明申请
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • WO2016047438A1
    • 2016-03-31
    • PCT/JP2015/075551
    • 2015-09-09
    • 三菱電機株式会社
    • 福井 裕香川 泰宏田口 健介藤原 伸夫菅原 勝俊田中 梨菜
    • H01L29/78H01L29/06H01L29/12H01L29/739
    • H01L29/7811H01L23/482H01L29/0607H01L29/0623H01L29/0661H01L29/1045H01L29/1608H01L29/407H01L29/4236H01L29/4238H01L29/66068H01L29/66734H01L29/7397H01L29/78H01L29/7813
    •  本発明は、外部トレンチを有するトレンチゲート型の半導体装置において、外部トレンチ開口端の角部における絶縁膜の信頼性を向上することを目的とする。本発明の半導体装置は、セル領域30内のn型のドリフト層3の内部まで達するゲートトレンチ6と、セル領域の外側に形成される外部トレンチ6aと、ゲートトレンチ6の内部にゲート絶縁膜7を介して形成されるゲート電極8と、外部トレンチ6aの内部に絶縁膜22を介して形成されるゲート配線20と、外部トレンチ6aのセル領域側の開口端の角部を覆うように、絶縁膜22を介して形成され、ゲート電極8とゲート配線とを電気的に接続するゲート配線引き出し部14とを備え、角部に接するドリフト層の表層に形成される第2の不純物領域は、p型であり、第2の不純物領域はウェル領域の一部であることを特徴とする。
    • 本发明的目的是提高具有外部沟槽的沟槽栅型半导体器件中的外部沟槽开口端的角部处的绝缘膜的可靠性。 该半导体器件的特征在于具有:在沟槽区域30内延伸至n型漂移层3的内部的栅沟槽6; 形成在电池区域的外侧的外部沟槽6a; 经由栅极绝缘膜7形成在栅极沟槽6内部的栅电极8; 通过绝缘膜22形成在外部沟槽6a内部的栅极布线20; 以及栅极布线引出部14,其经由绝缘膜22形成以覆盖外部沟槽6a的开口端的角部,所述开口端在电池区域侧,并且电连接栅极 电极8和栅极布线彼此。 所述半导体器件的特征还在于,形成在与所述拐角部分接触的所述漂移层的表面层上的第二杂质区域为p型,所述第二杂质区域为所述阱区域的一部分。