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    • 122. 发明专利
    • 半導體電熱膜及其製造方法
    • 半导体电热膜及其制造方法
    • TW200742769A
    • 2007-11-16
    • TW095115801
    • 2006-05-03
    • 林正平 LIN, CHENG PING
    • 林正平 LIN, CHENG PING
    • C23C
    • H01C17/065H01C17/0656H01L21/67115H01L21/6715H01L28/20Y10T29/49083
    • 一種半導體電熱膜及其製造方法,其步驟至少包含:以錫、釩之氯化物及矽化物為主體,而在調製的過程中加入鐵、銻、銦、鋅、鋯等之化合物為抗氧化摻雜劑,而以上述之材料作為具有抗氧化功能之半導體電熱膜之基礎;將上述之材料均勻混合,並依一定比例和溶劑介質混合;將上述原料混合均勻後,加入少許之氫氟無機酸當調整劑,以提高電熱膜之穩定性並使溶劑介質和主體產生氧化還原反應;以及,將一基板以超音波清洗後,再以純水清潔,將基板放入高溫爐中,依流水線之加熱方式,將基板緩慢加熱,當基板表面達雙態點溫度時,再將上述原則流經過以非鐵質且耐酸鹼材料所製作之噴頭,然後高溫霧化為霧狀之帶電粒子沉積於基板上。
    • 一种半导体电热膜及其制造方法,其步骤至少包含:以锡、钒之氯化物及硅化物为主体,而在调制的过程中加入铁、锑、铟、锌、锆等之化合物为抗氧化掺杂剂,而以上述之材料作为具有抗氧化功能之半导体电热膜之基础;将上述之材料均匀混合,并依一定比例和溶剂介质混合;将上述原料混合均匀后,加入少许之氢氟无机酸当调整剂,以提高电热膜之稳定性并使溶剂介质和主体产生氧化还原反应;以及,将一基板以超音波清洗后,再以纯水清洁,将基板放入高温炉中,依流水线之加热方式,将基板缓慢加热,当基板表面达双态点温度时,再将上述原则流经过以非铁质且耐酸碱材料所制作之喷头,然后高温雾化为雾状之带电粒子沉积于基板上。