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    • 115. 发明专利
    • 提供一氣體混合物的方法及設備
    • 提供一气体混合物的方法及设备
    • TW201411026A
    • 2014-03-16
    • TW102118118
    • 2013-05-22
    • 氣體產品及化學品股份公司AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
    • 道尼 奈爾 亞力山大DOWNIE, NEIL ALEXANDER李 湯瑪士 大衛 馬修LEE, THOMAS DAVID MATTHEW
    • F17C13/02F17C5/00
    • G05D11/02B01F3/028B01F15/0216B01F15/026B01F15/0425B01F15/0429G05B15/00G05D11/137G05D11/139
    • 本發明提供一種氣體混合器配置。該氣體混合器配置包含:第一氣體源,用於供應第一氣體;第二氣體源,用於供應與該第一氣體不同的第二氣體;第一及第二流量調節裝置,用於調節來自第一及第二氣體源的第一及第二氣體的流量;一混合器;及一出口。該混合器位於第一及第二流量調節裝置的下游,且配置成在使用時可混合第一與第二氣體,以提供該出口一混合氣體。該氣體混合器配置進一步含有一量計,其包含一可被操作以測量混合氣體的平均分子量的第一感測器組合及包括與混合氣體相接觸的高頻平面壓電晶體振盪器,一可被操作以決定第一及第二流量調節裝置中的一個的下游的氣體的壓力的第二感測器組合,及一控制器,其因應所測得該混合氣體的平均分子量及該氣體壓力而可被操作以自動控制該第一及第二流量調節裝置,以控制在該混合氣體中的第一與第二氣體的相對比率及從該出口出來的混合氣體的壓力或質量流率。
    • 本发明提供一种气体混合器配置。该气体混合器配置包含:第一气体源,用于供应第一气体;第二气体源,用于供应与该第一气体不同的第二气体;第一及第二流量调节设备,用于调节来自第一及第二气体源的第一及第二气体的流量;一混合器;及一出口。该混合器位于第一及第二流量调节设备的下游,且配置成在使用时可混合第一与第二气体,以提供该出口一混合气体。该气体混合器配置进一步含有一量计,其包含一可被操作以测量混合气体的平均分子量的第一传感器组合及包括与混合气体相接触的高频平面压晶体管振荡器,一可被操作以决定第一及第二流量调节设备中的一个的下游的气体的压力的第二传感器组合,及一控制器,其因应所测得该混合气体的平均分子量及该气体压力而可被操作以自动控制该第一及第二流量调节设备,以控制在该混合气体中的第一与第二气体的相对比率及从该出口出来的混合气体的压力或质量流率。