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101. 发明专利

DE112016006521T5 Ladungsträgerstrahlvorrichtung und Verfahren zum Einstellen der Ladungsträgerstrahlvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE112016006521T5
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：DE112016006521
申请日：2016-03-28
申请人： HITACHI HIGH TECH CORP
发明人： OGATA TOMOHIKO , HASEGAWA MASAKI , MURAKOSHI HISAYA , ONUKI KATSUNORI , KANEOKA NORIYUKI
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/29
摘要： Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht im Vorschlagen einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung, mit der eine Bildgebungsoptik und eine Bestrahlungsoptik mit hoher Genauigkeit eingestellt werden können. Zum Erfüllen dieser Aufgabe wird eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung bereitgestellt umfassend: eine erste Ladungsträgersäule, die als ein Strahlungsoptiksignal dient; einen Deflektor, der Ladungsträger ablenkt, die das Innere der ersten Ladungsträgersäule zu einem Objekt passiert haben; und eine erste Ladungsträgersäule, die als eine Bildgebungsoptik dient. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung ist ausgestattet mit: einer Lichtquelle, die Licht zum Objekt ausstrahlt; und einer Steuervorrichtung, die auf der Basis der erzeugten Erfassungsladungsträger gemäß der von der Lichtquelle ausgestrahlten Ausstrahlung von Licht eine Mehrzahl von Ablenkungssignalen erhält, die einen bestimmten Ablenkungszustand erzielen, und die von der Mehrzahl von Ablenkungssignalen oder von den von der Mehrzahl von Ablenkungssignalen erzeugten Beziehungsinformationen ein Ablenkungssignal wählt oder berechnet, das eine vorgegebene Bedingung erfüllt.

102. 发明专利

DE102013005173B4 Messvorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer Impulsverteilung geladener Teilchen 未知
公开(公告)号：DE102013005173B4
公开(公告)日：2015-06-18
申请号：DE102013005173
申请日：2013-03-25
申请人： JOHANNES GUTENBERG UNIVERSITÄT MAINZ , MAX PLANCK GES ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E V
发明人： TUSCHE CHRISTIAN , KRASYUK ALEXANDER , KIRSCHNER JÜRGEN , SCHÖNHENSE GERD
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/29 , H01J49/44
摘要： Messvorrichtung (100), die zur Erfassung einer Impulsverteilung eines Ensembles (1) geladener Teilchen eingerichtet ist, umfassend: – eine elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) mit einer elektronenoptischen Achse (OA), wobei die elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) eine Objektivlinseneinrichtung (11) aufweist, die zur Erzeugung eines Impulsbildes (3) der x- und y-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen senkrecht zur elektronenoptischen Achse (OA) eingerichtet ist, – einen Energieanalysator, der zur energieaufgelösten Abbildung des Ensembles (1) eingerichtet ist, und – eine Detektoreinrichtung (30), die zur Aufnahme des Impulsbildes des Ensembles (1) eingerichtet ist, wobei die x- und y-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen durch Koordinaten der Teilchen im Impulsbild erfassbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass – der Energieanalysator eine Drifteinrichtung (20) umfasst, die angeordnet ist, von den Teilchen des Ensembles (1) mit einer Flugzeit durchlaufen zu werden, die von der z-Komponente der Impulsvektoren der Teilchen parallel zur elektronenoptischen Achse (OA) abhängt, – die Detektoreinrichtung (30) zur zeitaufgelösten Aufnahme des Impulsbildes des Ensembles (1) eingerichtet ist, wobei die z-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen durch die Flugzeit in der Drifteinrichtung (20) erfassbar sind, und – die elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) des Weiteren umfasst: – eine erste Teleskopoptik (12), die zur Erzeugung eines ersten Realraumzwischenbildes (4) des Ensembles (1) der Teilchen mit einer räumlich festen Lage eingerichtet ist, – eine variable und senkrecht zur elektronenoptischen Achse (OA) justierbare erste Blende (13), die zur Definition eines Gesichtsfeldes der Messvorrichtung (100) eingerichtet ist, und – eine Retardierungsoptik (14), die zur Anpassung der Strahlenergie der Teilchen auf das Potential der Drifteinrichtung (20) eingerichtet ist.

103. 发明专利

DE112012004534T5 Ladungsteilchen-Strahlungsvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE112012004534T5
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：DE112012004534
申请日：2012-11-12
申请人： HITACHI HIGH TECH CORP
发明人： TOMITA SHINICHI , ITO SUKEHIRO , AOSHIMA TOSHIHIRO , EBINE YUTA
IPC分类号： H01J37/252 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29
摘要： Um eine Ladungsteilchen-Strahlungsvorrichtung bereitzustellen, die dazu in der Lage ist, die Analysenposition in einer der Röntgenanalyse zu unterwerfenden Probe in einem Stadium vor Durchführung der Röntgenelementaranalyse zu bewerten und zu unterscheiden, und die es einem Analytiker ermöglicht, innerhalb kurzer Zeit und ohne Nacharbeiten eine Analyse durchzuführen, deren hohe Zuverlässigkeit gewährleistet ist, wird erfindungsgemäß eine Ladungsteilchen-Strahlungsvorrichtung bereitgestellt, die mit einem Röntgendetektor versehen ist, wobei ein erster Rückstreuelektronendetektor (15) auf der gleichen Achse wie die Röntgennachweisoberfläche des Röntgendetektors (12 (25–30)) integral mit oder unabhängig vom Röntgendetektor (12) angeordnet ist, wobei ein Röntgensignal vom Röntgendetektor (12) gleichzeitig mit oder getrennt vom Nachweis eines Rückstreuelektronensignals durch den ersten Rückstreuelektronendetektor (15) erfasst wird.

104. 发明专利

DE50014031D1 未知
公开(公告)号：DE50014031D1
公开(公告)日：2007-03-22
申请号：DE50014031
申请日：2000-05-26
申请人： STAIB INSTR GMBH
发明人： STAIB PHILIPPE DR
IPC分类号： G01N23/20 , H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J37/29

105. 发明专利

DE10230929A1 未知
公开(公告)号：DE10230929A1
公开(公告)日：2004-01-29
申请号：DE10230929
申请日：2002-07-09
申请人： LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH
发明人： KIENZLE OLIVER , KNIPPELMEYER RAINER , MUELLER INGO
IPC分类号： G01N23/00 , G01N23/225 , H01L21/66 , G01Q20/00 , G01Q30/02 , G01Q30/04 , G21K7/00 , H01J37/05 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29
摘要： The method involves forming an image of secondary electrons from an object field on a position resolving detector with electron microscopy optics and directing primary energy beam from an illumination device onto at least one object field to release secondary electrodes from the semiconducting arrangement, which has a region with an upper surface of a first material and a surrounding opening of high aspect ratio with a floor of a second material. The method involves forming an image of secondary electrons emanating from an extended object field on a position resolving detector with electron microscopy optics (27) and directing primary energy beam (51,53) from an illumination device (55,59) onto at least one object field (37) to release secondary electrodes from the semiconducting arrangement (3), which has a region with an upper surface of a first material and a surrounding opening of high aspect ratio with a floor of a second material. AN Independent claim is also included for the following: (a) an electron microscopy system.

106. 发明专利

DE19647975C2 未知
公开(公告)号：DE19647975C2
公开(公告)日：2000-02-10
申请号：DE19647975
申请日：1996-11-20
申请人： FOCUS GMBH
发明人： GRZELAKOWSKI KRZYSTOP
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/29

107. 发明专利

AU8746998A Object observation device and object observation method 未知
公开(公告)号：AU8746998A
公开(公告)日：1999-03-08
申请号：AU8746998
申请日：1998-08-19
申请人： NIKON CORP
发明人： HAMASHIMA MUNEKI , WATANABE YOICHI , KOHAMA YOSHIAKI
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J37/22 , G01N23/20 , H01L21/66
摘要： This invention relates to an object observation apparatus and observation method. The object observation apparatus is characterized by including a drivable stage on which a sample is placed, an irradiation optical system which is arranged to face the sample on the stage, and emits an electron beam as a secondary beam, an electron detection device which is arranged to face the sample, causes to project, as a primary beam, at least one of a secondary electron, reflected electron, and back-scattering electron generated by the sample upon irradiation of the electron beam, and generates image information of the sample, a stage driving device which is adjacent to the stage to drive the stage, and a deflector arranged between the sample and the electron detection device to deflect the secondary beam, the electron detection device having a converter arranged on a detection surface to convert the secondary beam into light, an array image sensing unit which is adjacent to the converter, has pixels of a plurality of lines each including a plurality of pixels on the detection surface, sequentially transfers charges of pixels of each line generated upon reception of light of an optical image obtained via the converter to corresponding pixels of an adjacent line at a predetermined timing, adds, every transfer, charges generated upon reception of light after the transfer at the pixels which received the charges, and sequentially outputs charges added up to a line corresponding to an end, and a control unit connected to the array image sensing unit to output a transfer signal for sequentially transferring charges of pixels of each line to an adjacent line, and the control unit having a stage scanning mode in which the array image sensing unit is controlled in accordance with a variation in projection position of the secondary beam projected on the electron detection device that is generated by movement of the stage device, and a deflector operation mode in which the array image sensing unit is controlled in accordance with a variation in projection position of the secondary beam projected on the detection device by the deflector.

108. 发明专利

GB2230643A ELECTRON MICROSCOPE FOR INVESTIGATION OF SURFACES OF SOLID BODIES. 未知
公开(公告)号：GB2230643A
公开(公告)日：1990-10-24
申请号：GB9003080
申请日：1990-02-12
申请人： MAX PLANCK GESELLSCHAFT
发明人： LIEBL HELMUT , SENFTINGER BERTOLD
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/29
摘要： Electron microscope for investigation of surfaces of solid bodies with a primary beam path along which are arranged sequentially an electron beam source, an electron lens, an energy-selective electrostatic deflecting field, a magnetic deflecting field, a cathode lens, in whose object plane lies the test surface to be investigated, further with a secondary beam path, which passes in sequence through the cathode lens, the magnetic deflecting field, an energy filter, which includes a decelerating lens, a contrast stop, an electrical sector field, an energy stop and an accelerating lens, and two projection lenses, to a detector, such as a luminescent screen. The first-mentioned electrostatic deflecting field compensates for the energy dispersion of the magnetic deflecting field in the entrance side focal plane of the cathode lens. The energy filter limits the energy range of the electrons in the secondary beam path.

109. 发明专利

FR2644291A1 未知
公开(公告)号：FR2644291A1
公开(公告)日：1990-09-14
申请号：FR9001551
申请日：1990-02-09
申请人： MAX PLANCK GESELLSCHAFT
发明人： HELMUT LIEBL , BERTOLD SENFTINGER
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/29
摘要： Electron microscope for investigation of surfaces of solid bodies with a primary beam path along which are arranged sequentially an electron beam source, an electron lens, an energy-selective electrostatic deflecting field, a magnetic deflecting field, a cathode lens, in whose object plane lies the test surface to be investigated, further with a secondary beam path, which passes in sequence through the cathode lens, the magnetic deflecting field, an energy filter, which includes a decelerating lens, a contrast stop, an electrical sector field, an energy stop and an accelerating lens, and two projection lenses, to a detector, such as a luminescent screen. The first-mentioned electrostatic deflecting field compensates for the energy dispersion of the magnetic deflecting field in the entrance side focal plane of the cathode lens. The energy filter limits the energy range of the electrons in the secondary beam path.

110. 发明专利

GB9003080D0 ELECTRON MICROSCOPE FOR INVESTIGATION OF SURFACES OF SOLID BODIES 未知
公开(公告)号：GB9003080D0
公开(公告)日：1990-04-11
申请号：GB9003080
申请日：1990-02-12
申请人： MAX PLANCK GESELLSCHAFT
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/29
摘要： Electron microscope for investigation of surfaces of solid bodies with a primary beam path along which are arranged sequentially an electron beam source, an electron lens, an energy-selective electrostatic deflecting field, a magnetic deflecting field, a cathode lens, in whose object plane lies the test surface to be investigated, further with a secondary beam path, which passes in sequence through the cathode lens, the magnetic deflecting field, an energy filter, which includes a decelerating lens, a contrast stop, an electrical sector field, an energy stop and an accelerating lens, and two projection lenses, to a detector, such as a luminescent screen. The first-mentioned electrostatic deflecting field compensates for the energy dispersion of the magnetic deflecting field in the entrance side focal plane of the cathode lens. The energy filter limits the energy range of the electrons in the secondary beam path.

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