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91. 发明申请

WO2010122153A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EIN- UND AUSSCHLEUSEN VON SUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译：方法和装置向内和向外SUBSTRATES
公开(公告)号：WO2010122153A1
公开(公告)日：2010-10-28
申请号：PCT/EP2010/055455
申请日：2010-04-23
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , REISING, Michael , KEMPF, Stefan
发明人： REISING, Michael , KEMPF, Stefan
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/00 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67751 , H01L21/67126 , H01L21/6719 , H01L21/67201
摘要： Beschrieben wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen von Substraten. Über eine Transporteinrichtung (4) werden Substrate (5) in eine Schleuse (2) transportiert. In der Schleuse befindet sich unterhalb der Substrate (5) ein Auffangbehälter (3) mit dem mögliche Substratbruchstücke (19) aufgefangen werden. Die Substrate (5) werden nach dem Fluten der Schleuse (2) zusammen mit dem Auffangbehälter (3) und dem Schleusendeckel (18) ausgeschleust. Dabei bilden Schleusendeckel (18) und Auffangbehälter (3) eine nahezu geschlossene Box um die Substrate (5). Nach dem Wechseln der Substrate (5) und dem Leeren des Auffangbehälters (3) werden die neuen Substrate (5) zusammen mit dem Auffangbehälter eingeschleust. Für einen effektiven Produktionsprozess erfolgen alle Schritte im Maschinenzyklus.
摘要翻译：公开了一种用于引入和除去基板的方法和装置。基板被运送在锁（2）（5）通过一个输送装置（4）。在锁定一个收集容器（3）与所述衬底可能片段（19）是基片下面，以被收集（5）。基板（5）的锁驱后排出（2）与收集容器（3）和所述锁定盖（18）连接在一起。在该锁定盖形式（18）和收集所述基板围绕容器（3）一个几乎闭合箱（5）。改变底物（5）与收集容器（3）中，新的基板（5）与容器一起引入的排空之后。所有步骤都在机器周期做了有效的生产工艺。

92. 发明申请

WO2010004006A9 DEVICE AND METHOD FOR IMPRESSING STRUCTURES IN A SUBSTRATE, IN PARTICULAR IN OPTICAL DATA STORAGE MEDIA, SEMICONDUCTOR STRUCTURES AND MICROSTRUCTURES 审中-公开
标题翻译：装置和方法进行了硬币结构的基板，特别是在光学介质，半导体结构及微构造
公开(公告)号：WO2010004006A9
公开(公告)日：2010-06-03
申请号：PCT/EP2009058758
申请日：2009-07-09
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , REISING MICHAEL , KEMPF STEFAN
发明人： REISING MICHAEL , KEMPF STEFAN
IPC分类号： B29C59/00 , B29C43/02 , B29C43/04 , B29C43/36 , B29C59/02 , G03F7/00
CPC分类号： B29C59/002 , B29C43/021 , B29C43/56 , B29C59/022 , B29C2043/025 , B29C2043/3634 , B29C2043/561 , B29C2059/023 , B29L2017/005 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G11B7/263
摘要： In the manufacture of optical data storage media, data structures are impressed into the substrate (2) in a protective chamber under vacuum. The impression head (4) forms the chamber cover through a flexible seal (20, 21) between the impression head (4) and the support (1) holding the substrate (2) to be impressed. This enables the chamber volume to be reduced and thus low pumping and cycle times as well as good access by the impression head (4). In addition, a self-sealing coupling can be used in the supply canal (101 to 105) between the chamber and the working pressure generating device (100). This makes it possible to quickly exchange the stamper (3) attached to the impression head (4) as a result of the good accessibility of the chamber interior.
摘要翻译：在光学数据载体的生产中，数据结构在减压下在保护室中压印到衬底（2）中。通过用于接收所述材料在压花头（4）和载体（1）之间的柔性密封件（20，21）待压印衬底（2）压花的头部（4）形成所述腔室盖。结果，可以实现腔体容积的减小，并由此实现低泵送和循环时间以及压印头（4）的良好可达性。另外，可以使用腔室和工作压力产生装置（100）之间的供应通道（101至105）中的自密封联接器。由此，通过室内的良好的可接近性，允许快速改变附接到压模（3）的压花头（4）。

93. 发明申请

WO2010023221A1 BESCHICHTUNGSANLAGE 审中-公开
标题翻译：涂装线
公开(公告)号：WO2010023221A1
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：PCT/EP2009/060994
申请日：2009-08-26
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , HUBER, Marco , BECKER, Wolfgang , BINKOWSKA, Patrick , CORD, Bernhard , HOHN, Oliver , KEMPF, Stefan , REISING, Michael , ROOS, Björn , RÜTH, Edgar , SICHMANN, Eggo , WOHLFART, Peter
发明人： HUBER, Marco , BECKER, Wolfgang , BINKOWSKA, Patrick , CORD, Bernhard , HOHN, Oliver , KEMPF, Stefan , REISING, Michael , ROOS, Björn , RÜTH, Edgar , SICHMANN, Eggo , WOHLFART, Peter
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67213 , C23C16/54 , H01L21/67167
摘要： Durch die Erfindung wird eine Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten im Takt-Betrieb bereitgestellt. Die Prozessstationen der Beschichtungsanlage sind kreisförmig angeordnet. Eine Handhabung zum Überfuhren der Substrate zwischen den Prozessstationen wird bereitgestellt. Die Prozessstationen weisen eine Schleuse zum Be- bzw. Entladen der Substrate, mindestens zwei Beschichtungskammern jeweils mit einer Plasmaquelle zum stationären Beschichten der Substrate und vorzugsweise eine Heizstation auf.
摘要翻译：本发明提供了提供了一种用于在循环操作涂覆基材的涂层系统。所述涂覆设备的处理站被布置成圆形。为处理站之间传送基板的搬运车提供。处理站包括用于装载和基板的卸载锁，每个具有用于涂覆底物的静止等离子体源的至少两个涂布室，并优选在加热站。

94. 发明申请

WO2008040546A3 SURFACE TREATMENT SYSTEM AND COATING DEVICE WHICH CAN BE USED IN IT 审中-公开
标题翻译：表面处理系统及其适用上光
公开(公告)号：WO2008040546A3
公开(公告)日：2008-09-18
申请号：PCT/EP2007008623
申请日：2007-10-04
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , RUETH EDGAR , NOVAK MANFRED , RUNKEL STEFFEN , BOERGER MARCUS , SCHRAMM HOLGER
发明人： RUETH EDGAR , NOVAK MANFRED , RUNKEL STEFFEN , BOERGER MARCUS , SCHRAMM HOLGER
IPC分类号： B05B13/02 , B23Q7/04
CPC分类号： B05B15/1207 , B05B13/0242 , B05B15/045
摘要： The invention describes a system for treating or coating substrate surfaces in an in-line process, in particular for coating substrates (13) with a three-dimensional surface. The invention also relates to a coating device which can transport a number of substrates (13) simultaneously between corresponding treatment stations. Corresponding methods for coating substrate surfaces are also described. The invention makes efficient, low-cost surface coating of substrates possible.
摘要翻译：本发明描述了一种用于在在线工艺处理或基材表面的涂层，特别是用于具有三维表面涂覆基材（13）的系统。本发明还涉及一种喷涂设备，其可以同时各处理站之间携带多个衬底（13）。用于涂覆基材表面对应的方法进行说明。本发明允许基板的高效和成本Oberflächenbeschichtung。

95. 发明申请

WO2008098726A1 METHOD AND APPARATUS FOR DISPENSING A VISCOUS FLUID 审中-公开
标题翻译：用于分配粘度流体的方法和装置
公开(公告)号：WO2008098726A1
公开(公告)日：2008-08-21
申请号：PCT/EP2008/001020
申请日：2008-02-11
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , YAVASER, Cem , HEINZ, Bernd
发明人： YAVASER, Cem , HEINZ, Bernd
IPC分类号： B05D1/00 , B05D1/26
CPC分类号： B05D1/005 , B05D1/26 , G11B7/266
摘要： A method for dispensing a viscous liquid onto a rotating, disk-shaped substrate comprises the steps of Positioning the tip of a nozzle for dispensing said viscous liquid at a first distance relative to a surface of said substrate during start of the dispensing, thereby allowing the viscous liquid (4) to make a controlled first contact with the substrate. Then the gap between said nozzle and the surface of said substrate is increased to a second distance during dispensing. Accordingly, an apparatus for dispensing a viscous liquid comprises a nozzle with a tip for dispensing said viscous liquid and means for changing the distance between said nozzle and the surface of said substrate.
摘要翻译：用于将粘性液体分配到旋转的盘形基底上的方法包括以下步骤：在分配开始期间，相对于所述基底的表面在第一距离处定位用于分配所述粘性液体的喷嘴的尖端，从而允许粘性液体（4）以便与衬底进行受控的第一接触。然后，所述喷嘴和所述基板的表面之间的间隙在分配期间增加到第二距离。因此，用于分配粘性液体的装置包括具有用于分配所述粘性液体的末端的喷嘴和用于改变所述喷嘴和所述基板表面之间的距离的装置。

96. 发明申请

WO1998026413A1 DEVICE FOR GLUING TOGETHER SUBSTRATES OR COMPACT DISCS COMPOSED OF TWO PARTS 审中-公开
标题翻译：装置来粘合MADE两部分，或基板的光盘
公开(公告)号：WO1998026413A1
公开(公告)日：1998-06-18
申请号：PCT/EP1997006934
申请日：1997-12-11
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , SICHMANN, Eggo , GERIGK, Reinhard , KEMPF, Stefan
发明人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG
IPC分类号： G11B07/26
CPC分类号： B29C65/48 , B29C65/7847 , B29C66/1122 , B29C66/452 , B29C66/8161 , B29C66/8221 , B29C66/82661 , B29C66/8324 , B29L2017/005 , B32B37/0007 , B32B38/18 , B32B2309/06 , B32B2429/02 , G11B7/26
摘要： The invention relates to a device for gluing together substrates and/or disk-shaped substrates or compact discs (2) composed of two parts (2', 2") or halves, which can be placed on a substrate support (40) and driven or rotated by means of a drive mechanism (3). The substance or glue (5) to be applied is applied via a supply unit (6) to the upper surface of the substrate (2) or one half (2") of the substrate (2), whereby at least one part (2') of the substrate (2) or compact disc (2) can be tipped towards and/or against the other part (2") of the compact disc, at an angle to the second part (2") of the compact disc, by means of a carrier system (30). The glue (5) is applied by the supply unit (6) to one half (2") or between the two parts (2', 2") of the substrate (2), after which the first part (2') of the compact disc can be deposited on the second part (2") by the carrier system (30).
摘要翻译：本发明涉及一种用于两个部分（2“ 2' ”）或半组装后衬底或圆盘状基板或光盘（2）安装在基板承载器（40）被施加在与一驱动装置接合的装置（3）可被驱动，或者可以经由一个进料器（6）在基板的表面上的（2）或一个半（2“”）所述衬底（2）被应用于被设置成旋转运动，其中，要施加的介质或粘合剂（5），其中针对所述光盘位置的“（“至少一个部分（2）的基板（2）和袖珍盘或CD（2）通过在一个支撑装置（30）的方式相对于所述第二部分2）的倾斜的端” 另一部分（2“”）的CD是heranschwenkbar和/或施加粘合剂（5）上的一个半部（2由进给装置的装置（6）“”）或两个部分之间（2“ 2' ”）的衬底（2）被引入，然后所述第一部分（2“）通过该载送装置（30）到所述第二部分（2“”）的装置中的光盘可以被沉积。

97. 发明申请

WO2021191285A1 VERFAHREN UND ANLAGE ZUR HERSTELLUNG EINES AUSGANGSMATERIALS FÜR EINE SILIZIUMSOLARZELLE MIT PASSIVIERTEN KONTAKTEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2021191285A1
公开(公告)日：2021-09-30
申请号：PCT/EP2021/057582
申请日：2021-03-24
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人： MANDLMEIER, Benjamin , HÜBNER, Simon , WOHLFART, Peter
IPC分类号： H01L31/0747 , H01L31/0368 , H01L31/18 , H01L21/02 , C23C14/14 , C23C14/34 , C23C14/58 , H01L21/02381 , H01L21/0245 , H01L21/02488 , H01L21/02502 , H01L21/02532 , H01L21/02573 , H01L21/02592 , H01L21/02631 , H01L31/03682 , H01L31/1804 , H01L31/182
摘要： Die vorliegende Erfindung richtet sich auf ein Verfahren sowie auf eine Anlage zur Herstellung eines Ausgangsmaterials für eine Siliziumsolarzelle mit passivierten Kontakten.

98. 发明申请

WO2019145485A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG VON GEÄTZTEN OBERFLÄCHEN EINES HALBLEITERSUBSTRATS UNTER VERWENDUNG VON OZONHALTIGEM MEDIUM 审中-公开
公开(公告)号：WO2019145485A1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：PCT/EP2019/051873
申请日：2019-01-25
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人： IZAARYENE, Maher , CORDA, Mirza , WATTENBERG, Bianca , MENSCHICK, Martin Max , MANDLMEIER, Benjamin , ECKSTEIN, Jens
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0236 , H01L21/02 , H01L21/306 , H01L21/67
摘要： Ein Verfahren zum Behandeln einer Oberfläche eines texturierten Siliziumsubstrats umfasst ein ozonbasiertes Behandeln der Oberfläche des texturierten Siliziumsubstrats um ein Entfernen von porösem Silizium und/oder eine Metallreinigung und/oder eine Reinigung von organischen Verbindungen zu bewirken.

99. 发明申请

WO2019105985A1 VAKUUMSCHLEUSE UND VERFAHREN ZUM SCHLEUSEN EINES SUBSTRATTRÄGERS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019105985A1
公开(公告)日：2019-06-06
申请号：PCT/EP2018/082798
申请日：2018-11-28
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人： CORD, Bernhard , REISING, Michael , SCHERGER, Dieter
IPC分类号： C23C14/56 , C23C16/54
CPC分类号： C23C14/566 , C23C16/54
摘要： Eine Vakuumschleuse (10) für eine Vakuumbeschichtungsanlage weist eine Kammer (30) zur Aufnahme eines Substratträgers (20) auf, wobei die Kammer (30) eine erste und eine zweite Innenoberfläche (31, 32) aufweist. Eine Fördereinrichtung (40) ist zum Fördern des Substratträgers (20) konfiguriert. Die Vakuumschleuse (10) weist eine Strömungskanalanordnung (51, 52, 56, 57) zum Evakuieren und Fluten der Kammer (30) auf, die konfiguriert ist, eine Gasströmung sowohl zwischen der ersten Innenoberfläche (31) und einer der ersten Innenoberfläche (31) gegenüberliegenden ersten Substratträgeroberfläche (21) als auch zwischen der zweiten Innenoberfläche (32) und einer der zweiten Innenoberfläche (32) gegenüberliegenden zweiten Substratträgeroberfläche (22) hervorzurufen. Der Substratträger (20) ist so zwischen der ersten und der zweiten Innenoberfläche (31, 32) positionierbar, dass ein Verhältnis eines ersten Abstands zwischen der ersten Innenoberfläche (31) und der ersten Substratträgeroberfläche (21) zu einer Länge (L) des Substratträgers (20) kleiner als 0,1 ist, und ein Verhältnis eines zweitens Abstands zwischen der zweiten Innenoberfläche (32) und der zweiten Substratträgeroberfläche (22) zu einer Länge (L) des Substratträgers (20) kleiner als 0,1 ist.

100. 发明申请

WO2017216350A1 DEVICE AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATES USING A SUPPORT ROLLER HAVING A POROUS MATERIAL 审中-公开
标题翻译：使用具有多孔材料的支撑辊处理基板的装置和方法
公开(公告)号：WO2017216350A1
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：PCT/EP2017/064781
申请日：2017-06-16
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人： ECKSTEIN, Jens , REUSTLE, Peter , HOHLMAYER, Mathias , SEYHAN, Ümit , MANDLMEIER, Benjamin , REISING, Michael , KEMPF, Stefan , JACOBI, Jan-Christof
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67706 , B05C1/025 , H01L21/02041 , H01L21/30604 , H01L21/67057 , H01L21/67086 , H01L21/6715 , H01L21/6776
摘要： A device for treating substrates by a treating liquid comprises at least one rotatably supported support roller which a substrate to be treated rests on during operation. The support roller comprises a hollow cylinder comprising a porous rigid material which the substrate to be treated rests on during operation. The device is configured to deliver, during operation, treating liquid via the interior of the hollow cylinder of the at least one support roller through the porous rigid material to the external surface of the hollow cylinder in order to treat at least one surface of the substrate by the treating liquid. The device is configured to treat several substrates in the form of plate-shaped separate wafers arranged one behind the other and/or next to one another in the device, by the treating liquid and to transport the substrates in a transport plane during the treatment.
摘要翻译：用于通过处理液体处理基板的装置包括至少一个可旋转地支撑的支撑辊，待操作的基板在操作期间搁置在该支撑辊上。该支撑辊包括一个空心圆柱体，该空心圆柱体包括一个多孔刚性材料，该多孔刚性材料在操作过程中待处理的基底搁置在该圆柱体上。该装置构造成在操作期间将液体经由多孔刚性材料经由至少一个支撑辊的中空圆筒的内部处理至中空圆筒的外表面以处理基底的至少一个表面通过处理液。该装置被配置为在处理期间通过处理液体以一个处于另一个之上和/或彼此相邻地布置的板状分离的晶片的形式处理多个基板，并且在运送平面中传送基板。

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