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    • 98. 发明公开
    • 레지스트 조성물 및 레지스트 패턴 형성 방법
    • 抗性组合物和形成抗体模式的方法
    • KR20180026334A
    • 2018-03-12
    • KR20170108804
    • 2017-08-28
    • TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
    • YAMADA TOMOTAKAKAMIZONO TAKASHIFUKUMURA YUKIFUJII TATSUYA
    • G03F7/038G03F7/004G03F7/039G03F7/20
    • G03F7/0392G03F7/0045G03F7/0046G03F7/0382G03F7/162G03F7/168G03F7/2037G03F7/322G03F7/38G03F7/40
    • 본원발명은, 노광에의해산을발생하고, 산의작용에의해현상액에대한용해성이변화하는레지스트조성물로서, 기재성분 (A) 를함유하고, 상기기재성분 (A) 는, 식 (a9-1) 로나타내는구성단위 (a91) 또는식 (a9-2) 로나타내는구성단위 (a92) 와, 식 (a10-1) 로나타내는구성단위 (a10) 을 30 몰% 이상과, 산의작용에의해극성이증대하는산 분해성기를포함하는구성단위 (a1) 을 45 몰% 이상을갖는공중합체 (A1) 을포함하는레지스트조성물, 및그것을사용한레지스트패턴형성방법을제공한다. 각식 중, R 은수소원자등;Ya및 Ya은단결합또는 2 가의연결기;R은탄소수 1 ∼ 20 의탄화수소기등;R는산소원자등;j 및 n은 1 ∼ 3 의정수;Wa은 (n+1) 가의방향족탄화수소기를나타낸다.
    • 本发明中,产生的曝光和,溶解作为抗蚀剂组合物,在通过酸的作用的显影剂的变化中的溶解度,将含有基材成分(A),其中,所述基材成分(A),式(A9-1 )由结构单元的极性(A91)或由下式表示的基团(A9-2)时,结构单元(A92)和式(A10-1),结构单元(A10)的超过30%(摩尔)的动作,和该酸通过由所表示的表示所表示 yijeung处理单元,其含有酸可分解基团(a1)中,以提供抗蚀剂组合物,和用于形成一个抗蚀剂方法使用相同的,其包括具有多于45摩尔%的共聚物(A1)的图案。 gaksik的,R隐士希望和椅子; Ya和雅eundan键或二价连接基团; R euntan这类烃基少量的1〜20; R是氧原子,CAN协议j和n为1〜3; Wa为(N 1)芳族烃基。