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    • 4. 发明公开
    • Verfahren zur Bestimmung der Stromausbeute bei galvanischen Bädern
    • 一种用于确定在电镀浴的当前产量的方法。
    • EP0045970A1
    • 1982-02-17
    • EP81106263.7
    • 1981-08-11
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    • Vangaever, Frank, Dr.Vanhumbeeck, Jacky, Dr.
    • C25D21/12
    • C25D21/12
    • Bei der Metallabscheidung in galvanischen Bädern führen Schwankungen in der Stromausbeute zu Schwankungen in der Schichtdicke, vor allem, wenn beim Abscheidungsprozess lediglich nach der Stromdichte und Expositionszeit (Amperestundenzahl) gearbeitet wird. Zur Bestimmung der Stromausbeute wird in einer Meßzelle (6) unter dem Einfluß einer negativen Gleichspannung bei konstantem Strom i k während einer vorgegebenen Zeit t k auf einer vorzugsweise rotierenden Elektrode (10) Metall abgeschieden und nachfolgend die abgeschiedene Schicht mit Hilfe einer geeigneten Elektrolytlösung unter Umpolung der Gleichspannung bei konstantem Strom i. und in einer zu ermittelnden Zeit t a anodisch abgetragen, wobei sich die Stromausbeute η k nach der Formel ergibt, worin η a die Stromausbeute des anodischen Abtragens bedeutet (Figur).
    • 当在电镀浴波动金属沉积在当前产量在层厚度的变化导致,特别是如果在沉积过程之后才电流密度和曝光时间(Ampèrestundenzahl)正在工作。 为了确定当前的产率是在负的直流电压的以恒定电流IK用于在优选旋转电极的预定时间tk的影响下一个测量单元(6)(10)金属通过合适的电解质溶液来沉积和随后沉积的层,以DC电压的极反转 阳极在恒定电流ia除去,并且在时间ta来确定,由此,电流效率根据下式ηk产生,其中ηA阳极消融装置的电流效率。